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公开(公告)号：CN111288199B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201911148057.5
申请日：2019-11-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K31/00
Abstract: 本发明提供一种压电致动器(100)和流体控制阀(200)，例如与以往相比能够效率良好地使液体材料气化，为此压电致动器(100)包括：压电堆(1)，交替层叠有压电陶瓷层和电极层；直流电压施加电路(2)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加直流电压而使其位移；以及振动电压施加电路(3)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加规定频率以上的电压而使其振动。
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公开(公告)号：CN116448673A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310042152.7
申请日：2023-01-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供光学测定用池、光学分析装置、窗形成部件及光学测定用池的制造方法。在通过原子扩散接合制造满足气密性和/或耐热性等所要求的各种性能的光学测定用池的基础上，为了防止窗体构件的破裂，光学测定用池(2)具有供光透过的透光窗(W1、W2)，且在内部被导入试样，该光学测定用池(2)具备形成透光窗(W1、W2)的窗体构件(221)、以及隔着金属薄膜(M)接合有窗体构件(221)的法兰部件(222)，法兰部件(222)的热膨胀系数与窗体构件(221)的热膨胀系数的比率为0.5倍以上且1.5倍以下。
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公开(公告)号：CN116293029A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211439500.6
申请日：2022-11-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、汽化系统和压电致动器，防止发生压电元件的裂纹并且降低对控制基板的热影响，所述流体控制装置具备：流体控制阀(3)，由压电致动器(32)驱动；流体传感器(4)，测量流体的压力或流量；控制基板(5)，根据由流体传感器(4)测量的测量值，控制流体控制阀(3)；以及放电用电阻(7)，设置在与控制基板(5)不同的部件。
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公开(公告)号：CN116164122A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211410688.1
申请日：2022-11-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制阀以及流体控制装置，能够实现大流量化并且能够提高响应性，具有阀座面(31s)的节流孔部件(31)具备：纵向流道部(VR(VR1))，在阀座面(31s)以及与阀座面(31s)相对的相对面(31t)开口；以及横向流道部(HR)，在阀座面(31s)与相对面(31t)之间的外侧周面(31o)开口，与纵向流道部(VR(VR1))交叉，纵向流道部(VR(VR1))的从与横向流道部(HR)的交叉部(X)起的相对面(31t)侧隔开间隔分支。
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公开(公告)号：CN116066737A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211252811.1
申请日：2022-10-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统和流体控制方法。流体控制装置包括：主体，在内部形成有流道；流体控制阀，安装于所述主体，控制流过所述流道的流体；以及外壳，以收容所述流体控制阀的方式安装于所述主体，在所述外壳中的作为朝向与所述主体相反侧的面的顶面，形成有朝向所述主体倾斜的倾斜面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115735100A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202080102428.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/696
Abstract: 为了提供相比以往能够精度更良好地校正由热虹吸现象引起的误差的热式流量计，使其包括：传感器流路(4)，供测定对象的流体流动；上游侧电阻组件(Ru)，设置于所述传感器流路(4)；下游侧电阻组件(Rd)，在所述传感器流路(4)中设置于较所述上游侧电阻组件(Ru)更靠下游侧；传感器输出生成器(5)，基于根据所述上游侧电阻组件(Ru)的变化而输出的上游侧电压(Vu)及根据所述下游侧电阻组件(Rd)的变化而输出的下游侧电压(Rd)，生成与测定对象的流体的流量相应的传感器输出；倾斜影响推断器(6)，至少基于测定对象的流体的普朗特数，对根据所述传感器流路(4)的姿势而在所述传感器输出中产生的倾斜影响进行推断；以及流量算出器(7)，根据所述传感器输出校正所述倾斜影响，算出测定对象的流体的流量。
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公开(公告)号：CN115279941A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180020221.3
申请日：2021-02-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 田口明広
IPC: C23C16/448 , H01L21/205
Abstract: 一种气化系统，其包括：气化装置，将液体材料气化，并具有导入所述液体材料的导入端口和导出所述液体材料气化而成的气化气体的导出端口；第一固定螺丝，将所述导入端口和所述导出端口的至少一方拧紧固定于基座；配管部件，与所述被固定的端口连通，供所述气化气体或者所述液体材料流通；以及第二固定螺丝，将所述配管部件隔着密封部件拧紧固定于所述被固定的端口。
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公开(公告)号：CN114764256A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202111654794.X
申请日：2021-12-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 德永和弥
IPC: G05D16/20
Abstract: 本发明提供一种压力控制系统，对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲边高速地进行控制，压力控制系统(100)在构成封闭空间的流道(200)上设置有流体阻力(10d)，通过控制设置在流体阻力(10d)的上游侧的上游侧阀(10b)来控制封闭空间的压力，具备：收敛压力计算部(40)，使用流道(200)中的流体阻力(10d)的上游侧压力(P1)和下游侧压力(P2)的至少一方，计算将上游侧阀(10b)完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力(PCONV)；以及阀控制部(30)，对计算出的收敛压力(PCONV)与规定的目标收敛压力(PT_CONV)进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀(10b)完全关闭。
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公开(公告)号：CN114545983A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111319208.6
申请日：2021-11-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能以基本不发生时间延迟且以噪声大幅降低的形式得到流过下游侧阀的流体的流量，而且比以往提高响应性。所述流量控制装置包括：下游侧阀流量测定器(VFS)，测定作为流过下游侧阀(V2)的流体的流量的下游侧阀流量；以及观测器(3)，包括根据改变所述下游侧阀(V2)的开度的输入参数来推定所述下游侧阀流量的下游侧阀流量推定模型(31)，所述下游侧阀流量测定器(VFS)输出的所述下游侧阀流量的测定值与所述下游侧阀流量推定模型输出的所述下游侧阀流量的推定值的偏差被反馈到所述观测器(3)。
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公开(公告)号：CN114166293A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111014611.8
申请日：2021-08-31
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供压力式流量计和流体控制装置，压力式流量计具备：流体阻力元件(FR)，设在流体流动的流道(L)上，形成有与流道(L)连通的阻力流道(RL)；上游侧压力传感器(PS1)，检测流体阻力元件(FR)的上游侧压力；以及下游侧压力传感器(PS2)，检测流体阻力元件(FR)的下游侧压力，流体阻力元件(FR)被一对的夹持部件(41、42)夹持固定，在流体阻力元件(FR)与夹持部件(41、42)之间设有片状的密封部件(51、52)，在流体阻力元件(FR)和夹持部件(41、42)的至少一方形成有局部地按压密封部件(51、52)的突起部(61、62)。
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