公开(公告)号：CN114166293A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111014611.8

申请日：2021-08-31

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 堀口博史 ,  安田忠弘 ,  长井健太郎

IPC: G01F1/34 ,  G01F15/00 ,  G05D7/06

Abstract: 本发明提供压力式流量计和流体控制装置，压力式流量计具备：流体阻力元件(FR)，设在流体流动的流道(L)上，形成有与流道(L)连通的阻力流道(RL)；上游侧压力传感器(PS1)，检测流体阻力元件(FR)的上游侧压力；以及下游侧压力传感器(PS2)，检测流体阻力元件(FR)的下游侧压力，流体阻力元件(FR)被一对的夹持部件(41、42)夹持固定，在流体阻力元件(FR)与夹持部件(41、42)之间设有片状的密封部件(51、52)，在流体阻力元件(FR)和夹持部件(41、42)的至少一方形成有局部地按压密封部件(51、52)的突起部(61、62)。

公开(公告)号：CN111381609A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911180542.0

申请日：2019-11-27

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 堀口博史 ,  安田忠弘 ,  今井和也

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供流体控制装置，能够高精度地控制流道中流通的流体。流体控制装置包括：块件，内部具有供流体流通的流道；阻力件，设置在所述流道内，且所述流体流过所述阻力件；第一压力传感器，检测所述阻力件的上游侧的压力；第二压力传感器，检测所述阻力件的下游侧的压力；以及流体控制阀，根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的检测值控制所述流体。所述块件在内部还具有构成所述流道的一部分并收容所述阻力件的收容部，构成所述流道的比所述收容部更靠下游侧的下游侧流道的基端连接于所述收容部中的供流过所述阻力件之后的流体流通的下游侧区域，所述第二压力传感器连接于所述收容部的下游侧区域或所述下游侧流道的基端附近。