硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置

    公开(公告)号:CN1274582C

    公开(公告)日:2006-09-13

    申请号:CN200410037771.4

    申请日:2004-05-12

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置,将模板固定于架上,浸入电化学刻蚀溶液,以模板作为工作电极,另在容器中设辅助电极和参比电极,启动电化学系统,将模板逐步移向硅片,进行刻蚀,刻蚀完模板离开硅片表面。由于刻蚀剂寿命缩短而只能扩散很短距离,所以在模板表面形成的刻蚀剂层极薄,以极高的分辨率保持了模板本身的复杂三维立体图形加工于硅片上。可对硅材料进行各种复杂三维微结构(如半球面、锥面等)的批量复制加工。在适当的条件下,以此体系进行硅的加工可以达到每分钟约10微米深度的速度,分辨率达0.1微米以上。

    硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置

    公开(公告)号:CN1569610A

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN200410037771.4

    申请日:2004-05-12

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 硅表面复杂三维微结构的加工方法及其装置,将模板固定于架上,浸入电化学刻蚀溶液,以模板作为工作电极,另在容器中设辅助电极和参比电极,启动电化学系统,将模板逐步移向硅片,进行刻蚀,刻蚀完模板离开硅片表面。由于刻蚀剂寿命缩短而只能扩散很短距离,所以在模板表面形成的刻蚀剂层极薄,以极高的分辨率保持了模板本身的复杂三维立体图形加工于硅片上。可对硅材料进行各种复杂三维微结构(如半球面、锥面等)的批量复制加工。在适当的条件下,以此体系进行硅的加工可以达到每分钟约10微米深度的速度,分辨率达0.1微米以上。

    一种分离纳米材料吸收和散射信息的可见光分光光谱仪

    公开(公告)号:CN119985404A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510206615.8

    申请日:2025-02-25

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供一种分离纳米材料吸收和散射信息的可见光分光光谱仪,包括光源、光源聚焦镜、第一分束镜、样品池、第二分束镜、衰减片、狭缝前聚焦镜、狭缝、光谱仪准直镜、光栅、光谱仪聚焦镜和CMOS相机;光源输出发散光;第一分束镜的反射光作为参比光;第一分束镜的透射光激样品散射光;第二分束镜的反射光作为透射光;参比光、散射光及透射光聚焦在狭缝的不同位置,光栅进行分光聚焦在CMOS相机的不同位置上;CMOS相机设置分区域成像,同时读取三束光信号计算后得到消光光谱、吸收光谱、散射光谱;利用光学设计和面阵CMOS相机的优点,实现了样品的参比光、散射光和透射光信号的同时检测,得到消光光谱、吸收光谱和散射光谱,检测时间短,检测效率高。

    一种超薄金微纳米结构的中红外分子传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119715440A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411748388.3

    申请日:2024-12-02

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开一种超薄金微纳米结构的中红外分子传感器的制备方法,包括以下步骤:S1,将光刻胶旋涂在衬底上;S2,于光刻胶表面蒸镀金属膜;S3,对金属膜进行曝光,形成预设的结构图案,所述结构图案为单体型纳米棒阵列天线结构或二聚体型纳米棒阵列天线结构;S4,使用腐蚀液去除金属膜后,对结构图案执行低温显影和定影处理;S5,于结构图案上蒸镀厚度小于10nm的超薄金膜,随后剥离光刻胶及其上覆盖的金属层,从而得到所述超薄金微纳米结构的中红外分子传感器。该传感器可实现中红外宽波段响应的分子传感检测,检测灵敏度最高可达单层分子。

    一种过氧化氢生成方法
    165.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115636396B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202211273969.7

    申请日:2022-10-18

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本公开提供一种过氧化氢生成方法,涉及绿色能源技术领域。该过氧化氢生成方法包括:向水中加入添加剂,得到反应物,其中,所述添加剂包括无机盐、纳米材料、高分子聚合物和导电小分子中的一种或多种;将所述反应物输入微液滴生成装置,生成微液滴,以使所述微液滴的气‑液界面自发生成过氧化氢;其中,所述微液滴的直径小于10μm。该方法借助微液滴界面强电场的特性,通过加入添加剂调节微液滴气‑液界面介电双层厚度,有效剥离电子,提高生成羟基自由基效率,实现微液滴自发、高效生成过氧化氢。

    一种金属纳米颗粒的制备方法

    公开(公告)号:CN115464149B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202211273355.9

    申请日:2022-10-18

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本公开提供一种金属纳米颗粒的制备方法,涉及纳米材料技术领域。该制备方法包括:向水中加入金属盐,得到反应物;将所述反应物输入微液滴生成装置,生成微液滴,以所述微液滴为微反应器;其中,所述微液滴的直径小于10μm;以所述微反应器的气‑液界面的水作为还原剂,使所述金属盐自发还原为金属纳米颗粒。该方法获得金属纳米颗粒为多金属团簇结构,尺寸均一、分散均匀产品纯度高,不存在表面配体。实现了常温常压下自发制备金属纳米颗粒。

    一种动态表面增强拉曼光谱检测方法

    公开(公告)号:CN114184593B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202111408802.2

    申请日:2021-11-24

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种动态表面增强拉曼光谱检测方法,包括如下步骤:(1)使用种子生长法合成尺寸均匀的Ag纳米粒子;(2)以上述Ag纳米粒子为原料,采用油/水界面组装方法获得单层致密Ag纳米薄膜,并将该单层致密Ag纳米薄膜转移至硅片上,然后将待测分子溶液滴加于该单层致密Ag纳米薄膜上,形成D‑SERS基底;(3)使用拉曼光谱仪检测上述D‑SERS基底,记录拉曼光谱特征峰的位置和峰强,实现对待测分子的定性和定量检测。本发明具有全时间检测窗口、检测过程简单快速、检测成本低廉、检测灵敏度高等优势。

    物镜、光学成像设备、光学系统以及光学系统检测方法

    公开(公告)号:CN114200636B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202010879955.4

    申请日:2020-08-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种物镜、光学成像设备、光学系统以及光学系统检测方法,涉及光学检测领域,用以优化物镜的结构。物镜包括壳体以及光学聚焦组件。壳体具有内腔,内腔具有第一开口和第二开口。光学聚焦组件,安装于内腔中,光学聚焦组件的焦点位于第二开口处,光学聚焦组件被构造为使得经由第一开口进入到壳体内的光线聚焦于焦点处。上述技术方案提供的物镜,其具有壳体和光学聚焦组件,光学聚焦组件基于反射原理、折射原理中的一种实现光线聚焦,激发角度的范围可以很大,以满足不同需求样品的激发需求。

    一种基于超微电极测定酸性镀铜液中添加剂浓度的方法、装置、设备及介质

    公开(公告)号:CN116297782A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310268801.5

    申请日:2023-03-20

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明涉及电化学分析技术领域,特别涉及一种基于超微电极测定酸性镀铜液中添加剂浓度的方法、装置、设备及介质。本发明提供的测定方法采用以超微电极为工作电极的三电极体系进行循环伏安扫描,根据沉积铜阳极溶出电量与添加剂浓度的对应关系,以及对影响因子的精准调控,实现待测镀液样品中加速剂、整平剂和抑制剂浓度的精确测定。使用本发明方法可以对酸性镀铜溶液中加速剂、整平剂和抑制剂三种添加剂浓度进行测定,并忽略其它两种添加剂对浓度测定的干扰,并可以实现三种添加剂的快捷检测。

    响应数据全色锐化方法和装置
    170.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116091324A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202111281935.8

    申请日:2021-11-01

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本公开提出一种响应数据全色锐化方法和装置,涉及图像处理技术领域。获取具有第一空间分辨率的第一响应数据和具有第二空间分辨率的响应分布数据,配对构建响应分布数据的子图像块与子图像块的中心像素点对应的第二响应数据之间的数据映射关系,调用该数据映射关系,遍历响应分布数据的所有子图像块,输出所有子图像块的中心像素点对应的第二响应数据,按照各个子图像块在响应分布数据的空间位置关系,对所有子图像块的中心像素点对应的第二响应数据与响应分布数据进行空间配准,并重构出具有第二空间分辨率的第三响应数据。从而,在不牺牲图像空间分辨率和图像真实性的前提下,提高响应数据(如高光谱数据)的采集速度。

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