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公开(公告)号：CN101313206B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200680043688.5
申请日：2006-11-23
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 一种Y-形碳纳米管原子力显微镜探针针头和方法，包括杆部；从该杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，其中该杆部和一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，并且其中该化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的。优选地，每对成角度的臂包括至少200nm的长度和10到200nm之间的直径。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适应于待探测衬底材料之间的区别。另外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于允许氟气体流经化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于与待特征化的衬底表面进行化学反应。
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公开(公告)号：CN1599939B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN02824308.0
申请日：2002-11-21
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G11C23/00 , G01Q70/06 , G01Q70/12 , G01Q70/16 , G11B9/1409 , G11B9/1418 , G11C13/025 , G11C2213/81 , Y10S977/732 , Y10S977/733
Abstract: 本发明公开了一种用于形成微观结构的方法。该方法包括步骤：在一衬底上淀积一籽晶材料；由籽晶材料生长出一纳米管；在衬底上淀积微观结构材料，以便于将纳米管埋入到微观结构材料中；以及将衬底分离以释放所述微观结构。所形成的微观结构包括一主体部分和埋入到主体部分中的纳米管。
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公开(公告)号：CN101313206A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200680043688.5
申请日：2006-11-23
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 一种Y－形碳纳米管原子力显微镜探针针头和方法，包括杆部；从该杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，其中该杆部和一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，并且其中该化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的。优选地，每对成角度的臂包括至少200nm的长度和10到200nm之间的直径。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适应于待探测衬底材料之间的区别。另外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于允许氟气体流经化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。此外，化学修饰的碳纳米管优选地适合于与待特征化的衬底表面进行化学反应。
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公开(公告)号：CN1993609A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580025743.3
申请日：2005-07-01
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01N13/10
Abstract: 本发明涉及一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)的方法以及由其制造的纳米针探针，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造SPM纳米针探针的方法和由其制造的SPM纳米针探针，该探针能够容易地调整，以使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针具有期望的指向，且该探针能够容易被准直，使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针沿着期望的指向。而且，本发明涉及一种使用离子束制造临界尺寸SPM(CD－SPM)纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM，该探针能够精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造CD－SPM纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM纳米针探针，该探针能够通过将附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针末端的一部分向着并非附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针所延伸出去的初始方向的特定方向弯曲特定角度，来精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁。一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)纳米针探针的方法，包括：定位所述探针，使得其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端面向辐照所述离子束的方向；以及通过向其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端辐照所述离子束利用所述离子束平行地排列附着于所述探针的所述尖端上的所述纳米针。一种使用离子束制造临界尺寸扫描探针显微镜(CD－SPM)纳米针探针的方法，包括：使用掩模屏蔽附着于所述探针的尖端上的所述纳米针的特定部分；以及通过在暴露于所述掩模之外的所述纳米针的部分上辐照所述离子束来沿着所述辐照的离子束的方向弯曲暴露于所述掩模之外的所述纳米针的所述部分，以排列所述纳米针的所述部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103288033B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201210042273.3
申请日：2012-02-23
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: B81C1/0015 , B81B2201/12 , G01Q70/12 , H01J1/304 , H01J9/025 , H01J37/073 , H01J2201/30469 , Y10T156/1052 , Y10T156/1064 , Y10T156/1077 , Y10T156/1082
Abstract: 本发明提供一种碳纳米管微尖结构的制备方法，其包括：提供一碳纳米管膜结构及一绝缘基底，该绝缘基底具有一表面，该表面具有至少一带状凹部；将该碳纳米管膜结构覆盖于该绝缘基底的表面，并使部分该碳纳米管膜结构覆盖于所述带状凹部，并在该带状凹部处悬空设置；激光刻蚀该碳纳米管膜结构的悬空设置的部分，在该碳纳米管膜结构上形成一第一镂空图案，并形成与该第一镂空图案对应的图案化碳纳米管膜结构，该图案化碳纳米管膜结构包括两个条形臂，该两个条形臂在端部连接形成一尖端，该尖端在该带状凹部处悬空设置。
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公开(公告)号：CN105189821A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480021763.2
申请日：2014-04-09
CPC classification number: B81C1/00111 , B81B1/008 , B81B2201/12 , B81B2203/0361 , B81C2201/0132 , B81C2201/053 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , G01Q70/12 , H01L21/3065 , H01L21/31144 , H01L21/32134 , H01L21/32139
Abstract: 本发明提供了一种批量生产纳米级结构(如高纵横比的硅柱阵列)的方法。本发明还涉及使用改进的制造方法制造高纵横比硅柱阵列。硅柱阵列由低纵横比的金字塔形结构阵列制造而成。以批量处理的方式在各个金字塔形结构顶部形成硬质材料掩模(如金属掩模)。随后对金字塔形结构进行蚀刻，去除硬质掩模未保护的衬底材料，从而在金字塔形低纵横比的基础上形成一个高纵横比的柱或柱体，制造出高纵横比硅柱阵列。
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公开(公告)号：CN102253245A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110073723.0
申请日：2007-03-08
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 公开了一种扫描探针，其中通过从尖端的顶部部分生长外延纳米线来延伸微加工的锥体尖端。金属的颗粒例如金，可以终止所述纳米线以实现无孔径近场光学显微探针。
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公开(公告)号：CN1267931C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN03107652.1
申请日：2003-03-24
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: H01F1/0072 , C01B32/16 , C01B32/168 , C01B2202/02 , C01B2202/06 , C01B2202/20 , G01Q60/54 , G01Q70/12 , G11B5/127 , G11B5/1278 , G11B5/187 , G11B9/1409 , G11B2005/0002 , Y10S428/90 , Y10S977/742 , Y10S977/838 , Y10T428/2933 , Y10T428/2958 , Y10T428/2991 , Y10T428/30 , Y10T428/31
Abstract: 本发明提供一种磁性纳米管，其特征之一是在碳纳米管中掺杂作为价电子与碳不同的元素氮，在一侧端部带状地偏析出氮元素，由此可产生电子密度的差，使之呈现强磁性。由此，可以不一定安装磁性金属地得到强磁性，且具有高的热稳定性。
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公开(公告)号：CN1405546A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02143466.2
申请日：2002-06-26
Applicant: 北海道大学
CPC classification number: G01Q60/54 , G01Q70/12 , G01Q70/18 , Y10S977/838 , Y10S977/869 , Y10S977/876
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，其中在探针最前端形成具有椅型晶体结构或其最前端经改性分子进行化学改性的碳纳米管。
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