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公开(公告)号：CN101925977A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200980103302.9
申请日：2009-01-30
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F1/72
Abstract: 本发明公开了一种修复光掩模的方法。在所述方法中，修复用原子力显微镜的探针被定位在光掩模的缺陷部分，并且使所述修复用原子力显微镜的探针往复运动以去除光掩模的缺陷部分。通过电子显微镜，观察利用所述修复用原子力显微镜的探针进行的光掩模的修复过程，并且使用不同于所述修复用原子力显微镜的探针的成像用原子力显微镜的探针对修复的光掩模的形状进行原位检查。
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公开(公告)号：CN101925977B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200980103302.9
申请日：2009-01-30
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F1/72
Abstract: 本发明公开了一种修复光掩模的方法。在所述方法中，修复用原子力显微镜的探针被定位在光掩模的缺陷部分，并且使所述修复用原子力显微镜的探针往复运动以去除光掩模的缺陷部分。通过电子显微镜，观察利用所述修复用原子力显微镜的探针进行的光掩模的修复过程，并且使用不同于所述修复用原子力显微镜的探针的成像用原子力显微镜的探针对修复的光掩模的形状进行原位检查。
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公开(公告)号：CN1993609A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580025743.3
申请日：2005-07-01
Applicant: 韩国标准科学研究院
IPC: G01N13/10
Abstract: 本发明涉及一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)的方法以及由其制造的纳米针探针，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造SPM纳米针探针的方法和由其制造的SPM纳米针探针，该探针能够容易地调整，以使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针具有期望的指向，且该探针能够容易被准直，使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针沿着期望的指向。而且，本发明涉及一种使用离子束制造临界尺寸SPM(CD－SPM)纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM，该探针能够精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁，该离子束优选为聚焦的离子束。更具体而言，本发明涉及一种制造CD－SPM纳米针探针的方法和由其制造的CD－SPM纳米针探针，该探针能够通过将附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针末端的一部分向着并非附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针所延伸出去的初始方向的特定方向弯曲特定角度，来精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁。一种使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)纳米针探针的方法，包括：定位所述探针，使得其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端面向辐照所述离子束的方向；以及通过向其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端辐照所述离子束利用所述离子束平行地排列附着于所述探针的所述尖端上的所述纳米针。一种使用离子束制造临界尺寸扫描探针显微镜(CD－SPM)纳米针探针的方法，包括：使用掩模屏蔽附着于所述探针的尖端上的所述纳米针的特定部分；以及通过在暴露于所述掩模之外的所述纳米针的部分上辐照所述离子束来沿着所述辐照的离子束的方向弯曲暴露于所述掩模之外的所述纳米针的所述部分，以排列所述纳米针的所述部分。
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