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公开(公告)号：CN104601135A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410586752.0
申请日：2014-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K5/066 , B23K1/0016 , B23K11/06 , B23K26/244 , B23K28/02 , B23K2101/40 , G01C19/5783 , H01L2224/16225 , H01L2924/16195 , H03H9/0552 , H03H9/1014 , H03H9/1071 , H05K5/0239
Abstract: 提供电子器件及其制造方法、电子设备、移动体以及盖体，能够容易地进行腔体内的脱气和密封。电子器件在由底座(91)和作为盖体的盖(92)设置而成的内部空间(14)中收纳作为电子部件的陀螺仪元件(2)，其制造方法包含以下工序：准备盖(92)的工序，在盖(92)的与底座(91)焊接一侧的反面(92b)上设置有槽(94)，对于槽(94)的开口面积，内部空间(14)侧的开口面积比盖(92)的外周侧的开口面积大；第1焊接工序，对底座(91)与盖(92)的焊接预定部位中的、除了包含槽(94)的至少一部分的未焊接部位以外的部位的底座(91)和盖(92)进行焊接；以及第2焊接工序，对未焊接部位的底座(91)和盖(92)进行焊接，从而封闭槽(94)。
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公开(公告)号：CN1841019A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066976.4
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 川内修
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种防止从陀螺振动片的外部施加的、例如跌落等冲击引起的驱动部或者检测部的破坏，提高了耐冲击性的陀螺振动片及其制造方法，以及陀螺传感器。本发明的陀螺振动片(10)形成：构成支撑部(11)的基部(12)及连结臂(13、14)、2个检测臂(16A、16B)、与连结臂(13、14)的前端连接的驱动臂(15A、15B、15C、15D)。在该驱动臂或者检测臂与其他部分连续地连接的连接部(22、22′)的侧面，形成多级形状的连接面。在该连接面上，在多级形状内的连接部的最内侧，具有配备了与驱动臂或者检测臂的表面连续地连接的略呈圆弧状的壁面(R1、R2)和规定深度的底面的第一级部(20、20′)。
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公开(公告)号：CN118432565A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410119422.4
申请日：2024-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够减小连结部的残留部分。一种压电基板的制造方法包括：通过湿蚀刻来制造压电基板，该压电基板具有振动元件、框部以及将框部和振动元件连结的连结部；以及在连结部处折取振动元件，并从框部分离，在通过湿蚀刻来制造压电基板中，在连结部形成有第一槽部、第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部具有规定连结部的外形的第一外形边和规定与第一槽部的边界的第二外形边，第一外形边与第二外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小，所述第二突出部具有规定连结部的外形的第三外形边和规定与第一槽部的边界的第四外形边，所述第三外形边与所述第四外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小。
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公开(公告)号：CN117811536A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311273130.8
申请日：2023-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 川内修
Abstract: 振动元件。振动元件具有：振动基板，其呈板状，具备处于正反关系的第一面以及第二面，并且具有振动部、支承部、以及连结部，该连结部将振动部与支承部连结且具有厚度比支承部小的部分；电极层，其具有：第一激励电极，其配置于振动部的第一面；第二激励电极，其配置于振动部的第二面；第一焊盘电极，其配置于支承部；第二焊盘电极，其配置于支承部；第一连接电极，其配置于连结部，将第一激励电极与第一焊盘电极连接；以及第二连接电极，其配置于连结部，将第二激励电极与第二焊盘电极连接；第一金属膜，其配置于位于连结部的第一连接电极的上层，厚度比电极层大；以及第二金属膜，其配置于位于连结部的第二连接电极的上层，厚度比电极层大。
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公开(公告)号：CN115483900A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210665167.4
申请日：2022-06-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 本发明提供振动元件、振动器件以及振动元件的制造方法，能够抑制毛刺等异物的形成。振动元件的振动臂具有第一面、在Z方向上与第一面相反的一侧的第二面、作为侧面的第一侧面和第二侧面、以及作为末端面的第三侧面。第一侧面、第二侧面及第三侧面中的至少一方包括相对于Z方向倾斜的第一侧面部以及相对于第一侧面部朝向第一面或第二面倾斜的第二侧面部。第一配重配置为：在从Z方向观察时，第一配重的外缘部处于比第一侧面部和第二侧面部中的最内侧部靠内侧或与最内侧部相同的位置。
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公开(公告)号：CN118590027A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410218913.4
申请日：2024-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度(T)满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥(t1+t2)/T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥Wb/T≥0.0326，振动臂的长度(L1)满足L1≥1000μm。
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公开(公告)号：CN102200439A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110070704.2
申请日：2005-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5628 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
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公开(公告)号：CN1841019B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610066976.4
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 川内修
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种防止从陀螺振动片的外部施加的、例如跌落等冲击引起的驱动部或者检测部的破坏，提高了耐冲击性的陀螺振动片及其制造方法，以及陀螺传感器。本发明的陀螺振动片(10)形成：构成支撑部(11)的基部(12)及连结臂(13、14)、2个检测臂(16A、16B)、与连结臂(13、14)的前端连接的驱动臂(15A、15B、15C、15D)。在该驱动臂或者检测臂与其他部分连续地连接的连接部(22、22′)的侧面，形成多级形状的连接面。在该连接面上，在多级形状内的连接部的最内侧，具有配备了与驱动臂或者检测臂的表面连续地连接的略呈圆弧状的壁面(R1、R2)和规定深度的底面的第一级部(20、20′)。
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