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公开(公告)号：CN114978096A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210161347.9
申请日：2022-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。提供能够抑制槽深度的偏差的振动元件的制造方法。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备具有第1面和第2面的石英基板；保护膜形成工序，在石英基板的第1面上，在除了形成槽的槽形成区域以及位于形成第1振动臂的第1振动臂形成区域与形成第2振动臂的第2振动臂形成区域之间的臂间区域之外形成保护膜；以及干蚀刻工序，隔着保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形。而且，在设干蚀刻工序中形成的槽的深度为Wa、外形的深度为Aa时，满足Wa/Aa
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公开(公告)号：CN114826183A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210099654.9
申请日：2022-01-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。提供槽深的偏差较少、可得到稳定振动特性的振动元件的制造方法。在振动元件的制造方法中，该振动元件的制造方法具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂，在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽，该制造方法包含：准备工序，准备石英基板；保护膜形成工序，在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜，所述槽区域是形成所述槽的区域；以及干蚀刻工序，隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽，设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。
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公开(公告)号：CN118590027A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410218913.4
申请日：2024-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度(T)满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥(t1+t2)/T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥Wb/T≥0.0326，振动臂的长度(L1)满足L1≥1000μm。
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公开(公告)号：CN118590007A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410218912.X
申请日：2024-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，其小型且基波模式的CI值比二次谐波模式的CI值小。振动器件具有：振动元件；以及基座，振动元件借助导电性粘接剂固定于该基座，其中，振动元件包含：基部；振动臂，其与基部连接，在第1方向上延伸；以及支承臂，其在和第1方向垂直的第2方向上与振动臂排列配置，在第1方向上延伸，并通过导电性粘接剂固定于基座，在设支承臂的第1方向上的支承臂的基端的位置为P0、导电性粘接剂的中心位置为Pa、P0与Pa之间的长度为Da时，满足0.2×L1≥Da≥0.4×L1。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118432565A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410119422.4
申请日：2024-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够减小连结部的残留部分。一种压电基板的制造方法包括：通过湿蚀刻来制造压电基板，该压电基板具有振动元件、框部以及将框部和振动元件连结的连结部；以及在连结部处折取振动元件，并从框部分离，在通过湿蚀刻来制造压电基板中，在连结部形成有第一槽部、第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部具有规定连结部的外形的第一外形边和规定与第一槽部的边界的第二外形边，第一外形边与第二外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小，所述第二突出部具有规定连结部的外形的第三外形边和规定与第一槽部的边界的第四外形边，所述第三外形边与所述第四外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小。
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公开(公告)号：CN116131789A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211418004.2
申请日：2022-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。能够抑制无用振动的产生和振动元件的破损。振动元件的制造方法包括：第1干蚀刻工序，从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第1槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形；第2干蚀刻工序，从第2面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第2槽和上述外形；湿蚀刻工序，形成连接底面和槽内侧面的倾斜面，在设第1槽和第2槽的深度为D、深度减去倾斜面的Z方向的长度后的值为D1时，满足D1/D≥0.80。
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公开(公告)号：CN115622521A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210798312.6
申请日：2022-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法，能够抑制无用振动的产生、振动元件的破损。振动元件的制造方法包括：第一干蚀刻工序，从第一面侧对具有第一面以及第二面的石英基板进行干蚀刻，形成第一槽和第一振动臂及第二振动臂的外形；第二干蚀刻工序，从第二面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第二槽和第一振动臂及第二振动臂的外形；以及之后对第一振动臂以及第二振动臂的侧面进行湿蚀刻的湿蚀刻工序。
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公开(公告)号：CN115483900A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210665167.4
申请日：2022-06-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 本发明提供振动元件、振动器件以及振动元件的制造方法，能够抑制毛刺等异物的形成。振动元件的振动臂具有第一面、在Z方向上与第一面相反的一侧的第二面、作为侧面的第一侧面和第二侧面、以及作为末端面的第三侧面。第一侧面、第二侧面及第三侧面中的至少一方包括相对于Z方向倾斜的第一侧面部以及相对于第一侧面部朝向第一面或第二面倾斜的第二侧面部。第一配重配置为：在从Z方向观察时，第一配重的外缘部处于比第一侧面部和第二侧面部中的最内侧部靠内侧或与最内侧部相同的位置。
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公开(公告)号：CN114978079A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210161338.X
申请日：2022-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。提供能够抑制槽深度的偏差的振动元件的制造方法。振动元件的制造方法包括：第1保护膜形成工序，在石英基板的第1面形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻并在第1面形成第1槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形；第2保护膜形成工序，在石英基板的第2面形成第2保护膜；以及第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜从第2面侧对石英基板进行干蚀刻，在第2面形成第2槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形，在设第1、第2干蚀刻工序中形成的第1、第2槽的深度为Wa、第1、第2干蚀刻工序中形成的外形的深度为Aa时，在第1、第2干蚀刻工序中的至少一个工序中满足Wa/Aa
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