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公开(公告)号：CN110323328B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910243170.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN111351479A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201911315901.9
申请日：2019-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747
Abstract: 提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够抑制因施重膜上的加工位置偏差而导致的频率变化量相对于加工量的变动而产生的调整精度的下降。施重膜设置于振动元件的驱动振动臂，具有沿振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，在施重膜形成有沿振动臂的厚度方向被减薄或去除而成的加工痕。加工痕具有在振动臂的延伸方向上排列的第1加工端部和第2加工端部，第1加工端部在振动臂的延伸方向上与施重膜的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，第1加工端部的宽度比第2加工端部的宽度小。
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公开(公告)号：CN111351479B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN201911315901.9
申请日：2019-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747
Abstract: 提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够抑制因施重膜上的加工位置偏差而导致的频率变化量相对于加工量的变动而产生的调整精度的下降。施重膜设置于振动元件的驱动振动臂，具有沿振动臂的延伸方向排列的一对施重膜端部，在施重膜形成有沿振动臂的厚度方向被减薄或去除而成的加工痕。加工痕具有在振动臂的延伸方向上排列的第1加工端部和第2加工端部，第1加工端部在振动臂的延伸方向上与施重膜的任意一方的施重膜端部在俯视时重叠，第1加工端部的宽度比第2加工端部的宽度小。
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公开(公告)号：CN113206641A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110125119.1
申请日：2021-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件的制造方法，使得浮渣不易附着。振动器件的制造方法包含如下工序：准备振动元件，该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部；以及对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分。此外，在所述去除的工序中，通过对所述施重部的一部分照射所述激光，在所述施重部上形成所述施重部的一部分被去除的去除区域和所述施重部未被去除的非去除区域，在所述去除区域内的所述非去除区域侧的区域中，使所述激光的照射量从所述非去除区域侧向所述去除区域侧逐渐增加。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119545697A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411209103.9
申请日：2024-08-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件以及物理量传感器，由驱动信号引起的噪声不易混入检测信号。传感器元件具有：基部；驱动振动部，其与基部连接；检测振动部，其与基部连接；驱动信号电极，其配置于所述驱动振动部，被施加驱动信号；检测信号电极，其配置于所述检测振动部，输出检测信号；驱动信号用电极焊盘，其配置于所述基部，与所述驱动信号电极电连接；以及检测信号用电极焊盘，其配置于所述基部，与所述检测信号电极电连接，所述驱动信号用电极焊盘和所述检测信号用电极焊盘中的至少一方的宽度为30μm以上且100μm以下。
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公开(公告)号：CN110323328A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910243170.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/113 , H01L41/04 , H01L41/253 , G01D21/02
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN116685190A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310878492.3
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件及其频率调整方法和制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备和移动体，该振动元件的频率调整方法的特征在于，该振动元件具有振动臂，该振动臂具有互相处于正反关系的第1主面和第2主面，该振动元件的频率调整方法具有如下的工序：通过对该振动元件照射能量线而将振动臂的所述第1主面侧的一部分去除，从而对所述振动元件的谐振频率进行调整，所述振动臂的所述第2主面侧被所述能量线激活的激活量比所述振动臂的所述第1主面侧被所述能量线激活的激活量小。
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公开(公告)号：CN110323326A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910241056.9
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/253 , G01C21/16 , G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，振动元件具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧并配置有电极膜的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，其配置在所述施重部上，所述振动臂具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述电极膜和所述施重膜配置在所述第1主面和所述第2主面上，配置在所述第1主面上的所述电极膜的厚度、配置在所述第1主面上的所述施重膜的厚度、配置在所述第2主面上的所述电极膜的厚度以及配置在所述第2主面上的所述施重膜的厚度分别为50nm以上且500nm以下。
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