制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN1917220B

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN200610139856.2

    申请日:2002-02-28

    Abstract: 制造半导体器件的方法,通过使用很少数目的光掩膜,得到对于象素部分的驱动条件和驱动电路最佳的TFT(薄膜晶体管)结构。在第一绝缘薄膜上形成第一到第三半导体薄膜。在第一到第三半导体薄膜上形成第一形状的第一、第二、第三电极。在第一掺杂处理中,使用第一形状的第一、第二、第三电极作为掩膜,在第一到第三半导体薄膜中形成一种导电类型的第一浓度杂质区域。从第一形状的第一、第二、第三电极形成第二形状的第一、第二、和第三电极。在第二掺杂处理中,在第二半导体薄膜中形成与第二形状的第二电极相重叠的、一种导电类型的第二浓度杂质区域。在第二掺杂处理中,还在第一和第二半导体薄膜中形成一种导电类型的第三浓度杂质区域。在第三掺杂处理中,在第三半导体薄膜中形成具有与一种导电类型相反的另一种导电类型的、第四和第五浓度杂质区域。

    制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN1917220A

    公开(公告)日:2007-02-21

    申请号:CN200610139856.2

    申请日:2002-02-28

    Abstract: 通过使用很少数目的光掩膜,得到对于象素部分的驱动条件和驱动电路最佳的TFT(薄膜晶体管)结构。在第一绝缘薄膜上形成第一到第三半导体薄膜。在第一到第三半导体薄膜上形成第一形状的第一、第二、第三电极。在第一掺杂处理中,使用第一形状的第一、第二、第三电极作为掩膜,在第一到第三半导体薄膜中形成一种导电类型的第一浓度杂质区域。从第一形状的第一、第二、第三电极形成第二形状的第一、第二、和第三电极。在第二掺杂处理中,在第二半导体薄膜中形成与第二形状的第二电极相重叠的、一种导电类型的第二浓度杂质区域。在第二掺杂处理中,还在第一和第二半导体薄膜中形成一种导电类型的第三浓度杂质区域。在第三掺杂处理中,在第三半导体薄膜中形成具有与一种导电类型相反的另一种导电类型的、第四和第五浓度杂质区域。

    显示设备的制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1477676A

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN03132897.0

    申请日:2003-07-25

    Inventor: 浜田崇

    CPC classification number: H01L51/56 H01L27/3244 H01L51/0021

    Abstract: 采用电子束蒸发法在其上形成薄膜晶体管的衬底上形成薄膜的过程中,提供了一种形成所需的薄膜而不引起薄膜晶体管特性异常的技术。该技术的特征在于,用电子束蒸发法在电连接薄膜晶体管的电极上形成薄膜的过程中,对电子的加速电压进行控制,使得当用于形成薄膜的蒸发材料受到电子束照射时,辐射线基本上不从蒸发材料中辐射出来。辐射线基本上不辐射出来表示为:对电子的加速电压进行控制,使得薄膜晶体管不会因从蒸发材料中辐射出的辐射线而受到损坏。

    显示装置
    7.
    发明公开
    显示装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117397367A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202280038334.0

    申请日:2022-06-03

    Abstract: 提供一种高清晰的显示装置。提供一种实现高颜色再现性的显示装置。提供一种高亮度的显示装置。提供一种可靠性高的显示装置。显示装置包括第一绝缘层、设置在第一绝缘层的开口内部的第一导电层、第一导电层及第一绝缘层上的第一EL层、与第一EL层的侧面及第一绝缘层的顶面接触的第二绝缘层以及第一EL层及第二绝缘层上的第二导电层。

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