阵列基板及其制作方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109148366A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811084408.6

    申请日:2018-09-18

    Inventor: 陈彩琴

    CPC classification number: H01L27/127 H01L27/1222

    Abstract: 本申请提出了一种阵列基板及其制作方法,所述制作方法为通过对所述有源层进行一次离子掺杂,利用特定工艺使经过掺杂的所述有源层形成第一掺杂区和第二掺杂区。本申请通过在现有工艺以及未增加光罩的基础上,在AMOLED中增加PMOS的LDD结构,有效的降低了面板阵列制造过程中的周期,节省了制作成本。

    薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板

    公开(公告)号:CN106384714B

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201610894758.3

    申请日:2016-10-13

    Inventor: 王珂 胡合合

    Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板,属于薄膜晶体管制备技术领域,可解决至少部分现有薄膜晶体管制备工艺复杂或接触电阻大的问题。该薄膜晶体管制备方法包括:形成半导体层和光刻胶层;对光刻胶层进行阶梯曝光后显影,形成光刻胶层完全去除的第一区域,光刻胶层部分保留的第二区域,和光刻胶层完全保留的第三区域;除去第一区域的半导体层,形成包括有源区的图形;减薄光刻胶层,将第二区域的光刻胶层完全除去,而第三区域保留部分光刻胶层;使第二区域的有源区导体化,形成欧姆接触层;剥离第三区域的光刻胶层;通过构图工艺至少在第三区域形成包括源极、漏极的图形。

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