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公开(公告)号：CN119594869A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411747886.6
申请日：2024-12-02
Applicant: 季华实验室
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种多通道膜厚检测装置及方法，涉及光谱检测技术领域，多通道膜厚检测装置包括光源组件、处理组件及测量组件，所述测量组件包括多个测量头，测量头的一端与光源组件连接，测量头的另一端与处理组件连接；测量头用于将光源组件的光源信号传输至预设位置上，并将从预设位置反射回的检测信号发送至处理组件，处理组件用于根据检测信号计算厚度信息。通过本发明的技术方案成本显著降低，避免因不同设备检测引入的误差。并且通过调整各个测量头的测量时序，能够进一步实现循环测量，提高检测效率。
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公开(公告)号：CN118282144B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410704246.0
申请日：2024-06-03
Applicant: 季华实验室
IPC: H02K15/03
Abstract: 本申请公开了一种阵列结构永磁体安装装置，属于磁浮电机技术领域，其包括：载物台、第一限位组件和第二限位组件。本申请提供的上述方案，当需要将永磁体放入到永磁阵列载体上时，只需要通过第一限位组件和第二限位组件的配合来限定一个位置，然后将永磁体放入到对应位置即可，随后在第一方向移动第一限位组件，在第二方向移动第二限位组件，以使得第一限位组件和第二限位组件重新限定出下一个位置，以此类推，就可以将多个永磁体放入到永磁阵列载体上。整体装置通过第一限位组件和第二限位组件的配合，有效降低了永磁体的贴装难度，提高了贴装效率。
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公开(公告)号：CN116209108A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310337362.9
申请日：2023-03-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。
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公开(公告)号：CN115593915A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211243844.X
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室(CN)
IPC: B65G47/80
Abstract: 本发明公开一种高精度转台，所述高精度转台包括承载台、转盘和曲柄滑块驱动机构；所述转盘沿其旋转中心转动安装在所述承载台；所述曲柄滑块驱动机构，设于所述承载台与所述转盘之间，用于驱使所述转盘转动，所述曲柄滑块驱动机构包括直线运动模块组件、旋转运动模块组件和连杆组件，所述连杆组件连接所述直线运动模块组件和所述旋转运动模块组件，所述直线运动模块组件与所述承载台连接，所述旋转运动模块组件与所述转盘连接。本发明提供的高精度转台转角范围小，精度要求高，承载能力强，转动力矩高，转动平稳，适合各种场合。
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公开(公告)号：CN115373433A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211306426.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115309196A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202211237952.6
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
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公开(公告)号：CN118362371A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410790923.5
申请日：2024-06-19
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及样品制造实验设备技术领域，本发明公开了一种压力控制热台及其控制方法，包括基座、设于基座上的施力机构、可竖向滑动地设于基座上的导向加压机构、设于基座上的对位机构、设于对位机构的输出端的加热台、以及控制器；施力机构包括升降组件、设于升降组件输出端的活动板、设于活动板上的压力传感器、以及设于活动板上的销轴；导向加压机构包括导向组件、设于导向组件上的下压组件、以及设于下压组件中部的载压板，下压组件与销轴滑动连接，并且销轴底部设有限位块；加热台包括均温板、以及温度传感器。本发明提供的压力控制热台及其控制方法，通过控温控压的方式来实现样品的制备，并且能够放置在显微镜下观察样品的微观反应过程。
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公开(公告)号：CN118282144A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410704246.0
申请日：2024-06-03
Applicant: 季华实验室
IPC: H02K15/03
Abstract: 本申请公开了一种阵列结构永磁体安装装置，属于磁浮电机技术领域，其包括：载物台、第一限位组件和第二限位组件。本申请提供的上述方案，当需要将永磁体放入到永磁阵列载体上时，只需要通过第一限位组件和第二限位组件的配合来限定一个位置，然后将永磁体放入到对应位置即可，随后在第一方向移动第一限位组件，在第二方向移动第二限位组件，以使得第一限位组件和第二限位组件重新限定出下一个位置，以此类推，就可以将多个永磁体放入到永磁阵列载体上。整体装置通过第一限位组件和第二限位组件的配合，有效降低了永磁体的贴装难度，提高了贴装效率。
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公开(公告)号：CN117245638A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311544430.5
申请日：2023-11-20
Applicant: 季华实验室
IPC: B25J9/10 , B25J9/00 , H02K41/03 , H02K41/035
Abstract: 本申请公开一种四自由度磁浮微动台及器件转移装置，涉及磁悬浮技术领域，其中，四自由度磁浮微动台包括动子，定子，且定子与动子平行设置；至少三个第一重力补偿件，三个第一重力补偿件呈三角形结构设置在动子和定子之间；至少两个第一旋转件，两个第一旋转件均设置在动子和定子之间，用于驱动微动台在Rz向的运动。本申请提供的上述方案，当给第一重力补偿件通电后就可以驱动微动台在Z、Rx和Ry向的运动；当给两个第一旋转件通电后，两个第一旋转件在磁场中产生的两个X轴向的洛伦茨力相反，此时，由于动子和定子在Z轴处于磁浮状态下，两个第一旋转件产生的力就能够带动动子或者定子在Rz向的运动，即实现驱动微动台在Rz向的运动。
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