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公开(公告)号：CN115679285B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202211258281.1
申请日：2022-10-13
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本申请涉及原子气室领域，具体公开了一种低渗透率长寿命碱金属原子气室及其制备方法。碱金属原子气室包括：透明外壳，围绕形成碱金属原子气室的主腔室；阻挡膜层，涂覆于透明外壳的内壁，阻挡膜层包括Al2O3膜或AlN膜。本申请提供的方案在不影响原子气室本身通光性能的前提下，可有效降低碱金属原子损耗及小分子气体渗透，从而延长原子气室使用寿命。同时，该方案可有效隔离惰性气体或碱金属原子和玻璃表面区域的顺磁杂质，降低顺磁杂质引起的弛豫。并降低因玻璃基底杂质离子与气态工作物质发生化学反应造成的不良影响，提高原子气室可靠性。此外，该方案可增加原子气室外壳的导热性能，提升其内部温度均匀性。
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公开(公告)号：CN115679285A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211258281.1
申请日：2022-10-13
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本申请涉及原子气室领域，具体公开了一种低渗透率长寿命碱金属原子气室及其制备方法。碱金属原子气室包括：透明外壳，围绕形成碱金属原子气室的主腔室；阻挡膜层，涂覆于透明外壳的内壁，阻挡膜层包括Al2O3膜或AlN膜。本申请提供的方案在不影响原子气室本身通光性能的前提下，可有效降低碱金属原子损耗及小分子气体渗透，从而延长原子气室使用寿命。同时，该方案可有效隔离惰性气体或碱金属原子和玻璃表面区域的顺磁杂质，降低顺磁杂质引起的弛豫。并降低因玻璃基底杂质离子与气态工作物质发生化学反应造成的不良影响，提高原子气室可靠性。此外，该方案可增加原子气室外壳的导热性能，提升其内部温度均匀性。
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公开(公告)号：CN112461225B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202011212201.X
申请日：2020-11-03
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/60 , G01R33/032 , G04F5/14
Abstract: 本发明提供了一种基于碱金属缓释的长寿命原子气室及其制备方法，应用于原子气室制备领域。本发明基于5A分子筛的吸附作用，在原子气室内设置一体成型缓释块，对气室内过量的碱金属进行吸附，一方面可有效提高气室的工作寿命，减少碱金属用量；另一方面可防止过量碱金属在气室通光面富集，避免了通光面的光透过率降低对仪表性能的损害。利用本发明制备的原子气室具有寿命长、碱金属用量少和性能稳定的优势。本发明利用5A分子筛对碱金属的缓释效应，可解决原子气室寿命受限于碱金属量和气室通光面碱金属富集导致原子气室光透过率降低的问题。
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公开(公告)号：CN112611624A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011210666.1
申请日：2020-11-03
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于低温制冷机的原子气室内壁碱金属迁移装置及方法，应用于原子气室制备及评估领域。本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种实现原子气室内壁碱金属迁移的高效装置和方法。本发明通过整体加热和局部制冷的方式，利用制冷机实现气室内碱金属富集位置的精准热控制，实现原子气室内壁碱金属的精准输运，其中，不同于现有火焰加热等方式进行气室内碱金属的驱赶迁移，本发明具有更高的碱金属富集率，更小的碱金属集中区域，操作简易，具有良好的可重复性。利用本发明能够实现原子气室内壁碱金属的高效输运，对于原子气室内壁碱金属的分布控制与原子气室内碱金属量的精确评估具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111964657A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010682490.3
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/58
Abstract: 一种用于原子陀螺仪的双层真空保温结构，包括：外层玻璃结构、内层玻璃结构、碱金属气室、无磁加热片和加热体。加热体、内层玻璃结构和外层玻璃结构由内至外依次套装；加热体内放置有碱金属气室，加热体外包裹无磁加热装置；内层玻璃结构和外层玻璃结构之间不接触，且抽真空处理；加热体和内层玻璃结构之间通过卡槽结构固定连接；加热体和内层玻璃结构之间除卡槽结构区域接触外，其余区域不接触。本发明采用一种双层玻璃真空结构，将原子气室和加热体部分密封于双层玻璃结构的内部，通过玻璃结构同时实现光学窗口及真空隔热效果。加热体部分与外界的热交换降低后，可有效提升原子气室内部的温度稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108731661A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810417615.2
申请日：2018-05-04
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/60
Abstract: 本发明一种用于微型核磁共振陀螺仪的气室加热集成单元结构，该结构包括真空室体、气室压盖、气室、加热体、加热片、温度传感器、底座和真空室盖。其中，加热片和温度传感器构成加热温控小单元，通过加热体给气室加热，气室压盖和底座均采用无磁、耐高温的聚酰亚胺材料，作为中心加热单元与外界的温度隔离，底座与真空室盖通过高温真空胶粘合在一起。真空室体与真空室盖利用玻璃熔融的方式粘合，形成整体后对腔室内抽真空就得到了其实加热集成单元结构。本发明与现有技术相比保温和抗扰动性能更好，结构更为紧凑，工艺性好，易于安装和使用。
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公开(公告)号：CN108645397A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810291497.5
申请日：2018-04-03
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5769
Abstract: 本发明公开了一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，包括如下步骤：刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；对刻蚀完成的碳化硅晶圆和石英玻璃进行键合；以高于石英玻璃软化点的温度对晶圆键合结构进行加热，直至石英玻璃均匀灌入碳化硅晶圆的刻蚀槽内，停止加热；对灌入石英玻璃的碳化硅晶圆进行减薄抛光，去除刻蚀槽以外石英玻璃；采用干法刻蚀工艺去除碳化硅，完成石英盘式谐振子结构释放。本发明解决了石英盘式微结构制造工艺难度大的问题，实现了石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的高精度批量制造。
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公开(公告)号：CN108411253A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201711420607.5
申请日：2017-12-25
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
CPC classification number: C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C14/545
Abstract: 一种碱金属定量填充的原子气室制备方法包括充排气系统、N个原子气室、碱金属分装容器、温箱、TEC控温系统、碱金属发生器、用于连接充排气系统和碱金属分装容器的真空阀1、用于连接碱金属分装容器和碱金属发生器的真空阀2、用于连接碱金属分装容器和1号原子气室的真空阀3。本发明通过主动精确控制碱金属分装容器内温度分布，从而实现碱金属的定向沉积。利用某一原子气室进行沉积速率的标定进而实现碱金属的定量填充。本发明在上述碱金属定量填充过程中采用主动控温实现碱金属定向、定量填充，与传统填充方式相比，不仅实现了所填充碱金属的量化控制，同时提高了填充的一致性，更为原子气室的批量生产提供了可行方案。
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公开(公告)号：CN116425406B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202310353021.0
申请日：2023-04-04
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: C03B23/20 , C03B23/207
Abstract: 本发明公开了一种基于可编程五自由度机器人的玻璃熔接装置及方法，应用于原子气室制备领域。该装置包括五自由度机器人、火焰喷灯、气路系统。所述火焰喷灯用于熔接原子气室玻壳，安装在五自由度机器人上；所述五自由度机器人为可编程五轴运动机构，按照设定程序带动火焰喷灯运动；所述气路系统为所述火焰喷灯提供燃烧气体，通过程序控制氢气和氧气供气流量大小来改变火焰状态。利用本发明可以实现原子气室玻壳熔接过程的全自动化，能够改善气室玻壳熔接效果和批次一致性、提升生产过程效率，同时避免了对操作人员苛刻的技艺要求，减少了操作人员烧烫伤的安全风险。
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公开(公告)号：CN111060088B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201911277266.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/58
Abstract: 一种高压原子气室制造系统及方法，包括：真空控制系统、气室分装器、原子气室及连接细管、填充气体系统、碱金属反应系统、承压容器、高能激光器。其中承压容器可以控制原子气室外部的气体压强，使外部压强始终高于气室内部，以实现气室的负压熔封；其中，高能激光器采用二氧化碳激光器，可实现对原子气室的非接触高效率熔封。采用本装置制备的高压原子气室压强更高且可控(数个至十几个大气压)稳定，气室内组分可精确控制，为高压原子气室获得更优性能奠定基础。
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