一种GaAs纳米线阵列光电阴极及其制备方法

    公开(公告)号:CN103594302B

    公开(公告)日:2016-03-23

    申请号:CN201310580290.7

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种GaAs纳米线阵列光电阴极及其制备方法,该阴极由GaAs衬底层、GaAs纳米线阵列发射层以及Cs/O激活层组成;在一定厚度的GaAs衬底上,采用干法刻蚀技术制备GaAs纳米线阵列材料,在超高真空激活系统中制备GaAs纳米线阵列光电阴极,GaAs纳米线材料激活成光电阴极后,将在整个纳米线周围吸附一层Cs-O层,产生负电子亲和势,从而在GaAs纳米线上形成一个中间高,四周低的能带结构。纳米线阵列结构有利于光子吸收,而纳米线光电阴极能带结构则有利于光电子发射,从而提高材料的光子吸收和电子发射效率。

    一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的NEA电子源

    公开(公告)号:CN104752117A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510093090.8

    申请日:2015-03-03

    CPC classification number: H01J1/34 H01J9/12 H01J2201/34

    Abstract: 一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的NEA电子源,以p型GaAs作为衬底层,在GaAs衬底层上顺序生长Al组分由高到底呈线性递减至0的变带隙AlGaAs发射层及GaAs发射层,而后利用反应离子刻蚀技术得到变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层,再在超高真空系统中进行Cs/O激活以在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层上形成Cs-O激活层;且在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层沿垂直方向形成有内建电场,通过内建电场控制纳米线中光电子定向漂移并发射,有效抑制侧面光电发射,从而扩展变带隙AlGaAs/GaAs材料应用;纳米线阵列结构提高光电发射效率。

    一种GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源及其制备方法

    公开(公告)号:CN108766857A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810427948.3

    申请日:2018-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源,属于光电阴极技术领域,结构由下至上依次包括P型半导体衬底、纳米光学共振发射层有源区和表面激活层。利用纳米光学共振结构与入射光作用产生的光学共振效应,将光场和电荷局限于有源区,大幅度提升入射光的吸收率,降低光电子输运距离,还可以降低表面光反射导致的有害光电发射对电子束品质的影响,从而有效提升量子效率和电子束的品质。GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源可以采用纳米压印刻蚀、自组装纳米球刻蚀、电子束光刻、聚焦离子束刻蚀等工艺进行制备,工艺技术成熟,稳定性好,可应用于大型电子加速器、微光夜视、扫描电镜等领域。

    一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的NEA电子源

    公开(公告)号:CN104752117B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201510093090.8

    申请日:2015-03-03

    Abstract: 一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的负电子亲和势电子源,以p型GaAs作为衬底层,在GaAs衬底层上顺序生长Al组分由高到底呈线性递减至0的变带隙AlGaAs发射层及GaAs发射层,而后利用反应离子刻蚀技术得到变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层,再在超高真空系统中进行Cs/O激活以在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层上形成Cs‑O激活层;且在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层沿垂直方向形成有内建电场,通过内建电场控制纳米线中光电子定向漂移并发射,有效抑制侧面光电发射,提高光电发射效率,从而有利于扩展纳米线负电子亲和势电子源的应用范围。

    一种GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源及其制备方法

    公开(公告)号:CN108766857B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201810427948.3

    申请日:2018-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源,属于光电阴极技术领域,结构由下至上依次包括P型半导体衬底、纳米光学共振发射层有源区和表面激活层。利用纳米光学共振结构与入射光作用产生的光学共振效应,将光场和电荷局限于有源区,大幅度提升入射光的吸收率,降低光电子输运距离,还可以降低表面光反射导致的有害光电发射对电子束品质的影响,从而有效提升量子效率和电子束的品质。GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源可以采用纳米压印刻蚀、自组装纳米球刻蚀、电子束光刻、聚焦离子束刻蚀等工艺进行制备,工艺技术成熟,稳定性好,可应用于大型电子加速器、微光夜视、扫描电镜等领域。

    一种GaAs纳米线阵列光阴极及其制备方法

    公开(公告)号:CN103594302A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201310580290.7

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种GaAs纳米线阵列光阴极及其制备方法,该阴极由GaAs衬底层、GaAs纳米线阵列发射层以及Cs/O激活层组成;在一定厚度的GaAs衬底上,采用干法刻蚀技术制备GaAs纳米线阵列材料,在超高真空激活系统中制备GaAs纳米线阵列光阴极,GaAs纳米线材料激活成光阴极后,将在整个纳米线周围吸附一层Cs-O层,产生负电子亲和势,从而在GaAs纳米线上形成一个中间高,四周低的能带结构。纳米线阵列结构有利于光子吸收,而纳米线光阴极能带结构则有利于光电子发射,从而提高材料的光子吸收和电子发射效率。

    一种基于FPGA与数字电路的通用实验口袋机

    公开(公告)号:CN215298598U

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202121098469.5

    申请日:2021-05-21

    Abstract: 一种基于FPGA与数字电路的通用实验口袋机,其中,所述箱体内上层设置有缓冲层,所述箱体内下层设置有载板,所述载板一端布置有载板开关与直流稳压电源,所述FPGA核心板布置在载板开关下方,所述扩展模块布置在FPGA核心板下方,所述载板另一端上部布置有面包板,所述面包板下方布置有导线放置区;并在FPGA核心板上设置有与FPGA芯片连接的复位电路、CLOCK时钟电路、配置芯片模块、存储器模块、接口模块、流水灯模块、独立按键模块、LED数码管显示模块、蜂鸣器模块、串口通信模块及DC电源模块;本实用新型体积小、重量轻、便于携带、硬件模块全面、结构简单、设计合理,便于FPGA与数字电路实验操作,维护方便。

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