一种石墨烯光阴极及其制备方法

    公开(公告)号:CN104465264A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410610300.1

    申请日:2014-11-03

    Abstract: 本发明公开了一种石墨烯光阴极及其制备方法;该石墨烯光阴极由光阴极底座、衬底层、碘化铯薄膜、金膜组成;该石墨烯光阴极的制备方法具体包括如下步骤:S1:采用化学气相沉积法在一定厚度的镍片上生长石墨烯;S2:利用腐蚀液溶解制备石墨烯后的镍片,留下石墨烯;S3:将石墨烯平铺至光阴极底座;S4:利用真空蒸镀法向第3步得到的光阴极底座蒸镀一层碘化铯薄膜;S5:利用磁控溅射法向第4步得到的光阴极底座溅射一层金膜制得石墨烯光阴极。由于石墨烯具有优越的导电性、超高的透光率、良好的光电转换效应以及较强的机械强度,从而极大提高光阴极的透光性、稳定性、光电转换效率、导电性、结构强度、光阴极灵敏度以及宽频带响应平整度。

    一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的NEA电子源

    公开(公告)号:CN104752117A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510093090.8

    申请日:2015-03-03

    CPC classification number: H01J1/34 H01J9/12 H01J2201/34

    Abstract: 一种垂直发射AlGaAs/GaAs纳米线的NEA电子源,以p型GaAs作为衬底层,在GaAs衬底层上顺序生长Al组分由高到底呈线性递减至0的变带隙AlGaAs发射层及GaAs发射层,而后利用反应离子刻蚀技术得到变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层,再在超高真空系统中进行Cs/O激活以在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层上形成Cs-O激活层;且在变带隙AlGaAs/GaAs纳米线阵列发射层沿垂直方向形成有内建电场,通过内建电场控制纳米线中光电子定向漂移并发射,有效抑制侧面光电发射,从而扩展变带隙AlGaAs/GaAs材料应用;纳米线阵列结构提高光电发射效率。

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