硅系薄膜和硅系薄膜的形成方法

    公开(公告)号:CN101473064B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN200780022462.1

    申请日:2007-05-30

    CPC classification number: C23C16/30 C23C16/401 H01L51/5256

    Abstract: 本发明提供硅系薄膜和硅系薄膜的形成方法,该硅系薄膜和该硅系薄膜的形成方法不会对形成于基板上的电子器件造成损害且装置构成不会变得庞大,并且能够改善硅系薄膜在基板上的密合性,不易生成裂纹和剥离。本发明的硅系薄膜的形成方法是通过CVD法在基板(K)上形成具有绝缘功能或阻隔功能的硅系薄膜的硅系薄膜形成方法,该方法包括如下步骤:使用含有氢元素的气体和含有硅元素的气体在所述基板(K)上通过等离子体CVD法形成第1薄膜(11)的步骤;使用含有氮元素的气体和含有硅元素的气体通过等离子体CVD法形成第2薄膜(12)的步骤;和使用含有氧元素的气体和含有硅元素的气体通过等离子体CVD法形成第3薄膜(13)的步骤。

    硅系薄膜和硅系薄膜的形成方法

    公开(公告)号:CN101473064A

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200780022462.1

    申请日:2007-05-30

    CPC classification number: C23C16/30 C23C16/401 H01L51/5256

    Abstract: 本发明提供硅系薄膜和硅系薄膜的形成方法,该硅系薄膜和该硅系薄膜的形成方法不会对形成于基板上的电子器件造成损害且装置构成不会变得庞大,并且能够改善硅系薄膜在基板上的密合性,不易生成裂纹和剥离。本发明的硅系薄膜的形成方法是通过CVD法在基板(K)上形成具有绝缘功能或阻隔功能的硅系薄膜的硅系薄膜形成方法,该方法包括如下步骤:使用含有氢元素的气体和含有硅元素的气体在所述基板(K)上通过等离子体CVD法形成第1薄膜(11)的步骤;使用含有氮元素的气体和含有硅元素的气体通过等离子体CVD法形成第2薄膜(12)的步骤;和使用含有氧元素的气体和含有硅元素的气体通过等离子体CVD法形成第3薄膜(13)的步骤。

    熔融纺丝卷取装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1236115C

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN01800632.9

    申请日:2001-03-26

    CPC classification number: D01D5/092

    Abstract: 本发明的熔融纺丝卷取装置是把由喷丝头熔融纺丝了的纺出丝条冷却并加以卷取的卷取装置,配置在喷丝头下方的冷却装置由冷却风导入部、空气喷射器部和气流导引管构成,冷却风导入部围在纺出丝条周围,空气喷射器部连接在冷却风导入部的下部并将压缩气流喷射到纺出丝条周围,气流导引管连接在空气喷射器部的下部;空气喷射器部按照以下方式构成,内侧配设有内管,在内管外侧同心配设有外管,在内管和外管之间形成用于喷射压缩空气的喷射口,该喷射口的喷射方向平行于内管轴向;从该喷射口喷出的压缩气流的速度比从该内管中流出的气流的速度高,从而使纺出丝条向这两个气流的交界层弯曲位移并使构成的纤丝彼此间的距离扩大,由此促进冷却。

    涂布装置和涂布方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101903810B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880122291.4

    申请日:2008-12-17

    CPC classification number: G02B5/201 B41J3/28 B41J3/407

    Abstract: 本发明提供能够实现了装置的小型化且便于维护的涂布装置。涂布装置(1)构成为:该涂布装置(1)构成有喷头单元(52),通过该喷头单元(50)在基板(K)上,沿扫描方向(X)扫描S次,对该基板(K)涂布涂料,其中,S为2以上的整数,所述喷头单元(52)配置有多个喷头模块(52),该喷头模块由排出相同颜色的涂料的多个涂料喷头(51)构成,在该涂布装置(1)中,在与扫描方向(X)垂直的扫描垂直方向(Y)上,以规定的排列间距(P),配置有一列喷头模块(52),构成单色的喷头单元(50),涂布装置(1)具有喷头单元移动部件(45),该喷头单元移动部件(45)在喷头单元(50)的每一次扫描结束时,使喷头单元(50)沿扫描垂直方向(Y)移动规定量P/S。

    聚酯纤维的制造方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1250784C

    公开(公告)日:2006-04-12

    申请号:CN01802946.9

    申请日:2001-09-28

    CPC classification number: D01D10/02 D01F6/62

    Abstract: 本发明提供一种与以往条件相比,即使拉伸假捻加工条件高度化且高张力化,也能得到残余伸长高的膨松丝的作为拉伸假捻加工用原丝的聚酯纤维的制造方法。根据本发明的聚酯纤维的制造方法,一边用牵引辊将从喷丝头熔融纺出的聚酯丝束以3000m/min以上的速度牵引,一边用冷却风冷却到玻化温度以下,接着,在从所述牵引辊至用卷取装置卷绕成卷装期间,加热到温度高于玻化温度的温度,使其物性值成为双折射Δn为0.07以下、断裂伸长率为80%以上、比重为1.35g/cm3以上。

    用来检测纱线张力的装置

    公开(公告)号:CN1168647C

    公开(公告)日:2004-09-29

    申请号:CN00117655.2

    申请日:2000-05-26

    Abstract: 纱线张力检测装置包括在一个缠绕器中的顶点导向器与横动装置之间一个纱线位置传感器、一个布置在横动装置附近的导纱器位置传感器。根据从由横动装置产生横波的时刻至由纱线位置传感器检测到横波的时刻的时间周期,测量横波的视在传播速度,并且根据视在传播速度计算横波的真实传播速度,以计算纱线张力。纱线位置传感器布置在一个由2H/3<h<5H/6定义的位置处。一个反射型纱线传感器包括布置在一行中的多对发光元件和光接收元件。

    转台式纱线绕线机
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1068296C

    公开(公告)日:2001-07-11

    申请号:CN95107628.0

    申请日:1995-06-27

    CPC classification number: B65H67/048 B65H2701/31

    Abstract: 纱线切换操作时通过减少卷绕张力变化以提高切换成功率,为此提供一转台式纱线绕线机,其特点是:设置有上纱线切换机构8和下纱线切换机构9。当锭子4的空纱筒50由于转台件2的旋转朝由8,9各自的纱线路径制约导引件支持的纱线60移动时,50的周面按一接触角与纱线进入接触,该负随转台旋转而增大。安装于转台上的凸起部30使下纱线切换机构9的纱线搜索导引件25随转台同步旋转,而用于形成纱线锚定卷绕的导引板31使纱线沿50的轴线方向移动。

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