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公开(公告)号:CN1487978A
公开(公告)日:2004-04-07
申请号:CN01822241.2
申请日:2001-12-28
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: C23C18/204 , C23C18/2086 , C23C18/30
Abstract: 在聚酰亚胺基材上使含有钯化合物的聚酰亚胺树脂前体溶液涂覆·干燥,形成聚酰亚胺树脂前体层,接着在氢给予体的存在下照射紫外线,形成镀覆基底核后,通过非电解镀覆处理形成镀覆基底金属层,再在形成表面镀层后或形成前将上述聚酰亚胺树脂前体层加热酰亚胺化,作成聚酰亚胺树脂层,由此制造电子部件用基材。而且本发明能够提供,与金属层的粘着性非常高、且基材不丧失本来特性、绝缘性高的电子部件用基材、以及用于制造电子部件用基材的聚酰亚胺树脂前体溶液。
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公开(公告)号:CN101449186B
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN200780017956.0
申请日:2007-05-10
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G02B5/20
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , G02B5/22 , G02F1/1303 , G02F1/133516
Abstract: 本发明提供一种滤色器制造方法及其装置,与画面尺寸无关并与玻璃基板的大型化无关地将从喷墨嘴排出的彩色材料涂敷在像素区域的中央部。将与喷墨头横梁(5)的长度方向平行的方向设定为像素的长度方向,将喷墨头横梁(5)的相对移动方向设定为与像素的长度方向正交的方向。
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公开(公告)号:CN101669046B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200880005831.0
申请日:2008-02-22
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , B41M3/003 , G02B5/223 , G02F1/133516
Abstract: 本发明的课题是提供一种能够抑制油墨干燥速度的滤色器用油墨,其特征在于使油墨中含有50~88重量%的在20℃下具有2~200Pa的饱和蒸汽压的溶剂。
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公开(公告)号:CN1834789A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610065501.3
申请日:2006-03-20
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和曝光方法,通过设置:光源装置(5);放置基板K的平台(3);可对平台以匀速度进行相对移动来设置,且在平台的上部,被配置成俯视图为对相对移动的方向(X)形成格外倾斜的列,被构成为用激光将由各DMD(72)形成的标记显示(72M)照射在基板上的多个曝光单元(7);以及平台与曝光单元每相对移动从相邻的曝光单元中的一个曝光单元的曝光结束位置(P0)至另一曝光单元的曝光开始位置(P1)的距离(D1),按照从最初通过基板上的曝光单元(7A)朝向最后通过基板上的曝光单元(7C)的顺序,转换各曝光单元照射在基板上的激光的转换装置(65、75),以短节拍时间和低成本的装置构成实现品质优良的曝光像。
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公开(公告)号:CN1239622C
公开(公告)日:2006-02-01
申请号:CN01822241.2
申请日:2001-12-28
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: C23C18/204 , C23C18/2086 , C23C18/30
Abstract: 在聚酰亚胺基材上使含有钯化合物的聚酰亚胺树脂前体溶液涂覆·干燥,形成聚酰亚胺树脂前体层,接着在氢给予体的存在下照射紫外线,形成镀覆基底核后,通过非电解镀覆处理形成镀覆基底金属层,再在形成表面镀层后或形成前将上述聚酰亚胺树脂前体层加热酰亚胺化,作成聚酰亚胺树脂层,由此制造电子部件用基材。而且本发明能够提供,与金属层的粘着性非常高、且基材不丧失本来特性、绝缘性高的电子部件用基材、以及用于制造电子部件用基材的聚酰亚胺树脂前体溶液。
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公开(公告)号:CN101443682B
公开(公告)日:2011-03-09
申请号:CN200780017184.0
申请日:2007-05-10
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02F1/133516 , B41J2/2142 , B41J2202/09 , G02F1/1303 , G02F2203/69
Abstract: 本发明提供一种滤色器制造方法及其装置,在迅速检测排出不良的同时,确定是哪个喷墨嘴的排出异常。在玻璃基板(2)上,形成与LCD面板画面相当的黑矩阵以及被黑矩阵包围、并由涂敷了染色剂的像素构成的滤色器(CF),并且,在上述玻璃基板(2)的与上述LCD面板相当的黑矩阵的外侧的预定位置形成测试图案(TP)。
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公开(公告)号:CN101669046A
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200880005831.0
申请日:2008-02-22
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , B41M3/003 , G02B5/223 , G02F1/133516
Abstract: 本发明的课题是提供一种能够抑制油墨干燥速度的滤色器用油墨,其特征在于使油墨中含有50~88重量%的在20℃下具有2200Pa的饱和蒸汽压的溶剂。
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公开(公告)号:CN100517076C
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200610065501.3
申请日:2006-03-20
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和曝光方法,通过设置:光源装置(5);放置基板K的平台(3);可对平台以匀速度进行相对移动来设置,且在平台的上部,被配置成俯视图为对相对移动的方向(X)形成格外倾斜的列,被构成为用激光将由各DMD(72)形成的标记显示(72M)照射在基板上的多个曝光单元(7);以及平台与曝光单元每相对移动从相邻的曝光单元中的一个曝光单元的曝光结束位置(P0)至另一曝光单元的曝光开始位置(P1)的距离(D1),按照从最初通过基板上的曝光单元(7A)朝向最后通过基板上的曝光单元(7C)的顺序,转换各曝光单元照射在基板上的激光的转换装置(65、75),以短节拍时间和低成本的装置构成实现品质优良的曝光像。
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公开(公告)号:CN101449186A
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200780017956.0
申请日:2007-05-10
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G02B5/20
CPC classification number: G02B5/201 , B41J2202/09 , G02B5/22 , G02F1/1303 , G02F1/133516
Abstract: 本发明提供一种滤色器制造方法及其装置,与画面尺寸无关并与玻璃基板的大型化无关地将从喷墨嘴排出的彩色材料涂敷在像素区域的中央部。将与喷墨头横梁(5)的长度方向平行的方向设定为像素的长度方向,将喷墨头横梁(5)的相对移动方向设定为与像素的长度方向正交的方向。
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公开(公告)号:CN101443682A
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200780017184.0
申请日:2007-05-10
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: G02F1/133516 , B41J2/2142 , B41J2202/09 , G02F1/1303 , G02F2203/69
Abstract: 本发明提供一种滤色器制造方法及其装置,在迅速检测排出不良的同时,确定是哪个喷墨嘴的排出异常。在玻璃基板(2)上,形成与LCD面板画面相当的黑矩阵以及被黑矩阵包围、并由涂敷了染色剂的像素构成的滤色器(CF),并且,在上述玻璃基板(2)的与上述LCD面板相当的黑矩阵的外侧的预定位置形成测试图案(TP)。
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