公开(公告)号：CN109087842A

公开(公告)日：2018-12-25

申请号：CN201810600372.6

申请日：2018-06-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 沈承辅 ,  姜南俊 ,  罗世权 ,  禹济宪 ,  林承奎 ,  任志洙

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了一种等离子体处理设备和一种用于利用其制造半导体装置的方法。所述等离子体处理设备包括：卡盘台，其被构造为在其上支承晶圆；电介质环，其被构造为围绕卡盘台的外围，电介质环包括顺电材料；以及介电常数控制器，其被构造为控制电介质环的介电常数。

公开(公告)号：CN107979909A

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201710993086.6

申请日：2017-10-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东协 ,  成德镛 ,  禹济宪 ,  金俸奭 ,  李柱昊 ,  全允珖 ,  赵贞贤

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/32119 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32183 ,  H01L21/67069 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4645 ,  H05H2001/4682

Abstract: 本发明构思的实施例提供天线、等离子体产生电路、等离子体处理装置以及用于使用其制造半导体器件的方法。电路包括产生射频功率的射频功率源、接收射频功率以产生等离子体并具有第一互感的天线、以及将天线分别连接到射频功率源的电感器。电感器具有减小和/或消除第一互感的第二互感。

公开(公告)号：CN106920734A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201611204971.3

申请日：2016-12-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴世真 ,  禹济宪 ,  赵忠镐 ,  成德镛 ,  梁章奎 ,  郑在哲

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32146 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32963 ,  H01J37/3299 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67069 ,  H01J37/32 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32137

Abstract: 一种等离子体系统，包括：源电极、RF源功率生成单元、RF源功率输出单元以及源功率输出管理单元。源功率输出管理单元基于关于连续波RF源功率的幅度的信息来确定脉冲RF源功率的幅度和占空比。

公开(公告)号：CN105097404B

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201510230610.5

申请日：2015-05-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金茂珍 ,  金俸奭 ,  具德滋 ,  禹济宪 ,  李彦柱

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32715 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32706

Abstract: 本发明提供了一种等离子体设备，该等离子体设备包括：处理室，其具有内空间；吸盘，其设置在处理室中，并具有其上装载衬底的顶表面；气体供应单元，其将处理气体供应至处理室中；等离子体产生单元，其在吸盘上方产生等离子体；以及直流功率发生器，其将直流脉冲信号施加至吸盘。直流脉冲信号的周期可包括：在其中施加负脉冲的负脉冲持续时间；在其中施加正脉冲的正脉冲持续时间；以及其中负脉冲和正脉冲均截止的无脉冲持续时间。正脉冲持续时间在负脉冲持续时间与无脉冲持续时间之间。无脉冲持续时间可包括其幅值低于正脉冲的电压的幅值的电压，诸如地电压。

公开(公告)号：CN107979909B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201710993086.6

申请日：2017-10-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东协 ,  成德镛 ,  禹济宪 ,  金俸奭 ,  李柱昊 ,  全允珖 ,  赵贞贤

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明构思的实施例提供天线、等离子体产生电路、等离子体处理装置以及用于使用其制造半导体器件的方法。电路包括产生射频功率的射频功率源、接收射频功率以产生等离子体并具有第一互感的天线、以及将天线分别连接到射频功率源的电感器。电感器具有减小和/或消除第一互感的第二互感。

公开(公告)号：CN105097404A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510230610.5

申请日：2015-05-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金茂珍 ,  金俸奭 ,  具德滋 ,  禹济宪 ,  李彦柱

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32715 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32706

Abstract: 本发明提供了一种等离子体设备，该等离子体设备包括：处理室，其具有内空间；吸盘，其设置在处理室中，并具有其上装载衬底的顶表面；气体供应单元，其将处理气体供应至处理室中；等离子体产生单元，其在吸盘上方产生等离子体；以及直流功率发生器，其将直流脉冲信号施加至吸盘。直流脉冲信号的周期可包括：在其中施加负脉冲的负脉冲持续时间；在其中施加正脉冲的正脉冲持续时间；以及其中负脉冲和正脉冲均截止的无脉冲持续时间。正脉冲持续时间在负脉冲持续时间与无脉冲持续时间之间。无脉冲持续时间可包括其幅值低于正脉冲的电压的幅值的电压，诸如地电压。