公开(公告)号：CN106920734A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201611204971.3

申请日：2016-12-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴世真 ,  禹济宪 ,  赵忠镐 ,  成德镛 ,  梁章奎 ,  郑在哲

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32146 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32963 ,  H01J37/3299 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67069 ,  H01J37/32 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32137

Abstract: 一种等离子体系统，包括：源电极、RF源功率生成单元、RF源功率输出单元以及源功率输出管理单元。源功率输出管理单元基于关于连续波RF源功率的幅度的信息来确定脉冲RF源功率的幅度和占空比。