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公开(公告)号：CN107094371A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201580067666.1
申请日：2015-12-28
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1475 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/1478 , H01J37/3171 , H01J2237/0458 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/24528 , H01J2237/30455 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701
Abstract: 离子注入系统(110)使用质量分析器(126)来进行质量分析和角度校正。离子源沿束路径产生离子束(124)。质量分析器放置在离子源的下游，所述质量分析器对离子束执行质量分析和角度校正。位于孔径组件(133)内的分辨孔径(134)位于质量分析器部件的下游并位于束路径上。分辨孔径具有根据所选择的质量分辨率以及离子束的束包络的尺寸和形状。角度测量系统(156)位于分辨孔径的下游并获得离子束的入射角值。控制系统(154)根据来自角度测量系统的离子束的入射角值导出针对质量分析器的磁场调整。
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公开(公告)号：CN103311080A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310083996.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/21 , H01J37/30 , H01J37/304
CPC classification number: H01J3/14 , H01J37/304 , H01J2237/0458 , H01J2237/30433 , H01J2237/30472 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法。聚焦离子束装置包括控制部，其用于预先在聚束电压表中存储针对多个孔阑中的所有孔阑的用于获得基准束电流的聚束电压的计算值；对于基准孔阑获得用于获得基准束电流的聚束电压的实验值；通过从用于基准孔阑的实验值减去为基准孔阑存储的计算值来获得聚束电压的校正值；通过将校正值与为各孔阑存储的计算值相加来获得聚束电压的设置值；以及将所获得的设置值存储在聚束电压表中。
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公开(公告)号：CN108666192A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810233827.5
申请日：2018-03-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 岩堀敏行
IPC: H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/09 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/0458 , H01J2237/04756 , H01J2237/202 , H01J2237/20207 , H01J2237/28 , H01J2237/31749 , H01J37/04 , H01J37/1471
Abstract: 本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有电极部件(45)。该电极部件(45)设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位，并形成有使电子束通过的电极贯通孔。带电粒子束装置(10)具有使电极部件(45)移位的驱动机构(42)、对电极部件(45)施加负电压的电源(20)、以及对试样室(11)和驱动机构(42)与电极部件(45)进行电绝缘的绝缘部件(43)。
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公开(公告)号：CN102301453B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201080005824.8
申请日：2010-02-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 詹姆士·S·贝福 , 史费特那·瑞都凡诺史费特那 , 具本雄 , 威尔汉·P·普拉托 , 法兰克·辛克莱 , 杰弗里·D·里斯查尔 , 奎格·R·钱尼 , 史蒂芬·C·鲍里雪柏史凯 , 捷葛泰普·玫尔 , 艾利克·R·科步 , 肯尼夫·H·普许尔 , 沙杜·佩特尔 , 维克多·M·本夫尼斯特
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/024 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/304 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/083 , H01J2237/24542
Abstract: 揭示一种使用高透明电极改善撷取的离子束的品质的技术。在一特定的示例实施例中，技术可以实现为一种用于离子植入的装置。装置可包括用以产生离子束的离子源，离子源包括具有孔径的面板，且离子束行进通过所述孔径。装置亦可包括撷取电极组，撷取电极组包括至少一抑制电极与一高透明接地电极，其中撷取电极组可经由面板从离子源撷取离子束，以及其中高透明接地电极可经组态以最佳化抑制电极与高透明接地电极之间的气体传导，以改善撷取的离子束的品质。
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公开(公告)号：CN101438368A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680047932.5
申请日：2006-12-06
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·J·罗 , 乔纳森·G·英格兰 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/18 , H01J37/302 , H01J37/3023 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/1503 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/30488 , H01J2237/31705 , H01L21/266
Abstract: 本发明揭示用于防止寄生的子波束影响离子植入的技术。在一个特定的示范性实施例中，所述技术可实现为一种用于防止寄生的子波束影响离子植入的设备。所述设备可包括经配置以来回地扫描点波束进而形成横跨预定宽度的离子波束的控制器。所述设备还可包括小孔机构，其在保持固定时允许点波束穿过。所述设备可进一步包括同步机构，其耦合到控制器和小孔机构，且经配置以致使小孔机构与经扫描的点波束同步地移动，从而允许经扫描的点波束穿过，但阻挡与点波束相关联的一个或一个以上寄生的子波束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1988107A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610168622.0
申请日：2006-12-19
Applicant: 日新意旺机械股份有限公司
Inventor： 池尻忠司
IPC: H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/09 , H01J37/304 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24535 , H01J2237/30455 , H01J2237/31703
Abstract: 离子束照射装置具有：射束剖面监视器14，其在目标8的附近测量离子束4在y方向中的射束电流密度分布；可移动屏蔽板组18a、18b，它们分别具有在y方向中安置的以便在该目标的位置的上游侧上横跨离子束路径彼此相对的多个可移动屏蔽板16，该可移动屏蔽板可在x方向中相互独立地移动；屏蔽板驱动设备22a、22b，它们以相互独立的方式在x方向中往复驱动构成该组的可移动屏蔽板16；以及屏蔽板控制设备24，其基于由该监视器14获得的测量数据控制屏蔽板驱动设备22a、22b以便相对增加对应于所测量的y方向射束电流密度相对大的位置的相对可移动屏蔽板16阻挡离子束4的量，从而提高在y方向中的射束电流密度分布的均匀性。
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公开(公告)号：CN107104029A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610905526.3
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作模式中将第一多孔径选择器板布置在系统带电粒子束路径中源的下游，且使在系统的第二操作模式中将第一多孔径选择器板布置在带电粒子束路径之外。源、第一多孔径板和载体被布置为使在第一操作模式中，在第一多孔径板和第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，且使在第二操作模式中，在位置处产生第二数量的带电粒子小波束，小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN103238202B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201180057076.2
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN103238202A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201180057076.2
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: H01J37/09
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN102301453A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080005824.8
申请日：2010-02-12
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 詹姆士·S·贝福 , 史费特那·瑞都凡诺史费特那 , 具本雄 , 威尔汉·P·普拉托 , 法兰克·辛克莱 , 杰弗里·D·里斯查尔 , 奎格·R·钱尼 , 史蒂芬·C·鲍里雪柏史凯 , 捷葛泰普·玫尔 , 艾利克·R·科步 , 肯尼夫·H·普许尔 , 沙杜·佩特尔 , 维克多·M·本夫尼斯特
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/024 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/304 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/083 , H01J2237/24542
Abstract: 揭示一种使用高透明电极改善撷取的离子束的品质的技术。在一特定的示例实施例中，技术可以实现为一种用于离子植入的装置。装置可包括用以产生离子束的离子源，离子源包括具有孔径的面板，且离子束行进通过所述孔径。装置亦可包括撷取电极组，撷取电极组包括至少一抑制电极与一高透明接地电极，其中撷取电极组可经由面板从离子源撷取离子束，以及其中高透明接地电极可经组态以最佳化抑制电极与高透明接地电极之间的气体传导，以改善撷取的离子束的品质。
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