公开(公告)号：CN103238202A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180057076.2

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN107104029B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201610905526.3

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源(301)；具有多个孔的第一多孔径板(320)，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板(313)，具有多个孔；载体(340)，其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器(350)，构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN107104029A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201610905526.3

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J37/09 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作模式中将第一多孔径选择器板布置在系统带电粒子束路径中源的下游，且使在系统的第二操作模式中将第一多孔径选择器板布置在带电粒子束路径之外。源、第一多孔径板和载体被布置为使在第一操作模式中，在第一多孔径板和第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，且使在第二操作模式中，在位置处产生第二数量的带电粒子小波束，小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN103238202B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201180057076.2

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN112805747A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201980065284.3

申请日：2019-10-01

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.柯布 ,  P.休思沃尔 ,  J.T.纽曼 ,  C.里德塞尔 ,  C.沃杰克 ,  J.科雷亚 ,  W.霍格尔

IPC: G06T7/246

Abstract: 一种使用粒子显微镜来记录图像的方法，该方法包括：记录物体的多个图像，其中，图像数据的强度值与所记录图像的坐标系中的位置和该物体上的位置相关联；确定与位置相关联的关注区域；确定包含关注区域的图像区域；确定与这些图像区域相关联的位移矢量，这些位移矢量是通过将与给定图像区域相关联的图像数据与也同给定关注区域相关联的其他图像区域的图像数据进行相关来确定的；以及基于所记录图像的图像数据来生成所得图像，其中，该所得图像的坐标系中的位置是基于与这些图像区域相关联的位移矢量来确定的。