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公开(公告)号：CN1660690A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200510063942.5
申请日：2001-05-02
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/14427 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1648 , B81B3/007 , B81B2201/031 , B81B2201/036 , B81B2201/052 , Y10T29/42 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，在横截面中，上支臂和下支臂具有构造成用于在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性的第二力矩区。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
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公开(公告)号：CN105045292A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510205381.1
申请日：2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G05D3/12
CPC classification number: G05B11/14 , B81B2201/031 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/505 , G02B5/286 , G02B5/288 , G02B26/001 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15)，偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称，并且能够分别独立地驱动，电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸，导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。
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公开(公告)号：CN1700986A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN00819706.7
申请日：2000-06-30
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 卡·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/14427 , B41J2002/14346 , B81B3/0024 , B81B2201/031 , B81B2203/0136 , B81B2203/0307 , F03G7/06
Abstract: 本发明涉及一种热弯作动器(7)，它包括：固定到一个固定基片(2)上的第一制动器组件(9)；一端固定在所述的第一制动器组件上，另一端为活动端，延伸到远处的第一热传导性主动传导束(10)；一端也同样固定在第一制动器组件上，以便能够与第一主动传导束(10)平行的第二传导束(12)，上述第一、第二传导束的远制动器9端直接或间接地相互连接；其中，第一热传导性主动传导束(10)能够确定一条曲折的传导路径(14)，它在固定近端和活动远端之间形成的总有效长度大于二者之间的直线路径形成的有效长度。
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公开(公告)号：CN1126135C
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN98810552.7
申请日：1998-08-28
Applicant: JDS尤尼费斯公司
Inventor： 威加亚库玛尔R·胡勒尔 , 罗伯特L·伍德 , 拉玛斯瓦敏·玛哈德曼
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0024 , B81B3/0054 , B81B2201/031 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , F03G7/06 , F15C5/00 , F16K99/0011 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K2099/0071 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H61/02 , H01H67/26 , H01H2001/0042 , H01H2001/0047 , H01H2001/0068 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁，金属拱形梁在上方延伸，并且轻微地与加热器隔开。像这样，MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置，如继电器、切换阵列及阀，以便具有其高效操作特性的优点。另外，进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。
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公开(公告)号：CN1205112C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN01810071.6
申请日：2001-05-02
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/14427 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1648 , B81B3/007 , B81B2201/031 , B81B2201/036 , B81B2201/052 , Y10T29/42 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，它们是非平面的，以便增大支臂的刚度。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1558868A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN01823833.5
申请日：2001-11-29
Applicant: 四国技术网络株式会社 , 青井电子株式会社
CPC classification number: B81C99/002 , B25J7/00 , B25J9/0015 , B25J15/0253 , B81B2201/031 , F03G7/06 , Y10S977/962
Abstract: 本发明提供纳米夹具及其制造方法。该纳米夹具包括相对置的一对臂杆(71、71)和一对凸起部(72、72)，该凸起部分别形成在这一对臂杆(71、71)的尖端部上的对置面上，使尖端相对置，该凸起部(72)的尖端的曲率不大于50纳米。并且，上述凸起部(72)是硅的晶体，是顶点由(100)面、(001)面和(111)面构成的三角锥体形状。再者，设置了硅制的伸缩自如的一对热膨胀致动机构(75、76)，用于使上述一对臂杆(71、71)尖端部之间互相接近或分离。
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公开(公告)号：CN1319558A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN01112014.2
申请日：2001-03-27
Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司
Inventor： 拉马斯瓦米·马哈德范 , 爱德华·阿瑟·希尔 , 罗伯特·L·伍德 , 艾伦·布鲁斯·考恩
CPC classification number: B81B3/0024 , B81B2201/031 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , F03G7/06 , H01H1/0036 , H01H61/02 , H01H2001/0068 , H01H2061/006
Abstract: 改进的结构,包括位于微电子基片上的相间隔的支承件以及一在该支承件间延伸并在将热量加于其上时膨胀的梁,从而使该梁在支承件之间位移。位于该梁上的加热器将热量加于该梁并在其位移时随其位移。故可将热量直接加于拱形梁上,从而减少其与加热器间的热损失。此外,不需加热加热器与拱形梁之间的间隙,从而有改进的瞬时热响应。而且,在拱形梁位移时使加热器位移还能通过减少其间的间隔而进一步减少热损失和瞬时热响应。
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公开(公告)号：CN1277731A
公开(公告)日：2000-12-20
申请号：CN98810552.7
申请日：1998-08-28
Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司
Inventor： 威加亚库玛尔R·胡勒尔 , 罗伯特L·伍德 , 拉玛斯瓦敏·玛哈德曼
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0024 , B81B3/0054 , B81B2201/031 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , F03G7/06 , F15C5/00 , F16K99/0011 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K2099/0071 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H61/02 , H01H67/26 , H01H2001/0042 , H01H2001/0047 , H01H2001/0068 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁,金属拱形梁在上方延伸,并且轻微地与加热器隔开。像这样,MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置,如继电器、切换阵列及阀,以便具有其高效操作特性的优点。另外,进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。
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公开(公告)号：CN107934909B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201610890804.2
申请日：2016-10-12
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: B81B3/0024 , B01J21/185 , B01J23/8472 , B01J23/888 , B81B2201/031 , C01B32/162 , F03G7/005 , F03G7/08 , F05B2250/84 , H01M4/48
Abstract: 本发明涉及一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一碳纳米管层；在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用碳纳米管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，响应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的响应速率。
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公开(公告)号：CN107934904B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201610890254.4
申请日：2016-10-12
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: F03G7/005 , B01J23/22 , B81B3/0018 , B81B3/0024 , B81B2201/031 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , F03G7/06 , H01L41/45 , H01M4/583 , H01M2200/10 , H02N11/006
Abstract: 本发明涉及一种基于碳纳米管的致动器，其包括：一碳纳米管层；其中，进一步包括一与该碳纳米管层层叠设置的二氧化钒层。本发明的致动器采用碳纳米管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，响应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的响应速率。本发明还涉及一种采用该致动器的致动系统。
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