公开(公告)号：CN1126135C

公开(公告)日：2003-10-29

申请号：CN98810552.7

申请日：1998-08-28

Applicant: JDS尤尼费斯公司

Inventor： 威加亚库玛尔R·胡勒尔 ,  罗伯特L·伍德 ,  拉玛斯瓦敏·玛哈德曼

IPC: H01H61/00 ,  F15C5/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  F03G7/06 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0071 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  G02B6/3803 ,  G02B6/4226 ,  H01H1/0036 ,  H01H9/14 ,  H01H61/00 ,  H01H61/02 ,  H01H67/26 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0047 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006 ,  Y10T29/49105

Abstract: 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁，金属拱形梁在上方延伸，并且轻微地与加热器隔开。像这样，MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置，如继电器、切换阵列及阀，以便具有其高效操作特性的优点。另外，进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。