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公开(公告)号:CN105570531A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201610131610.4
申请日:2016-03-08
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: F16K99/00
CPC classification number: F16K99/0015 , F16K99/0042 , F16K2099/0074 , F16K2099/0084
Abstract: 一种微流控芯片流量调节系统和方法,该系统包括初始流量供应装置和流量调节装置,初始流量供应装置的输出端连接流量调节装置,流量调节装置包括微流控芯片、薄膜滤波器、微芯片挤压装置以及控制单元,初始流量供应装置向微流控芯片供应恒定流量,微芯片挤压装置在控制单元的控制下对微流控芯片进行挤压,使微流道交替地关闭和打开,产生占空比可调的流量PWM波,薄膜滤波器具有微流道和位于微流道上的带弹性薄膜的腔体,腔体利用弹性薄膜的弹性可改变容积,当液体的输入流量增大时,腔体容纳多余的液体,当液体的输入流量减小时,腔体将容纳的液体排出以补充输出流量,从而稳定输出流量。本发明以简单的结构实现了微流控芯片的流量调节。
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公开(公告)号:CN102256690B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN200980150680.2
申请日:2009-06-17
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC classification number: B01F13/0809 , B01L3/502738 , B01L3/502792 , B01L2200/027 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , B01L2300/089 , B01L2300/161 , B01L2400/0406 , B01L2400/043 , B01L2400/0633 , B01L2400/0688 , B01L2400/088 , F16K99/0001 , F16K99/0021 , F16K99/0046 , F16K2099/0074 , Y10T137/0324 , Y10T436/2575
Abstract: 本发明涉及用于包括磁性颗粒的具有显著表面张力的液体的疏水阀,所述装置包括:至少两个平面的固体基体,各自具有功能化的表面,其中至少第一固体基体具有包括至少两个由至少一个疏水区域彼此分开的亲水区域的图案化表面,其中所述两个平面的基体彼此间隔一定距离以夹层平行方式设置,设置方式使得所述功能化的表面彼此面对,所述阀进一步包括磁致动器。
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公开(公告)号:CN1729369B
公开(公告)日:2010-04-28
申请号:CN200380106755.X
申请日:2003-12-19
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor: 马克·克罗克特 , 约翰·W·莱恩 , 迈克尔·J·德谢力斯 , 克里斯·梅尔塞 , 埃丽卡·R·波拉斯 , 阿尼什·胡勒 , 巴拉拉贝·N·穆罕默德
IPC: F16K27/00
CPC classification number: F16K99/0001 , F16K27/003 , F16K99/0015 , F16K99/0028 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , F16K2099/0076
Abstract: 本发明涉及一种节省空间的集成流体传送系统,其对于将气体散布在半导体处理设备中特别有用。本发明还涉及一种集成的流体流量网络架构,其除了具有包含流体流量信道的层迭式基材之外还包括不同的流体运送(handling)及监测构件。层迭式基材被扩散粘结,且这些不同的流体运送及监测构件可被部分地整合或全部整合至基材中,端视设计及材料要求而定。
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公开(公告)号:CN101512200A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780032495.4
申请日:2007-07-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: F16K7/00
CPC classification number: F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0057 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , F16K2099/0094 , Y10T29/49405
Abstract: 本发明涉及一种用于加工控制流体流的微机械结构部件的方法以及按照这种方法加工的结构部件。用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法包括下列步骤:通过在载体层(2)的表面(2a)上构成位于薄膜下面的从相同表面开始的空穴(3,3a)来加工可振动薄膜(4,4a),通过中间层(6)覆盖载体层(2),形成中间层(6)结构并通过封闭微机械结构部件(1)的盖层(11)而覆盖中间层(6)。其特征在于,这样形成中间层(16)的结构,使得在薄膜(4,4a)上产生流体阀(14,17)的密封部件(8,18),它封闭和/或包围在盖层(11)中构成的阀孔(12,22)。
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公开(公告)号:CN101300702A
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200680041263.0
申请日:2006-09-15
Applicant: 安格斯公司
Inventor: 查尔斯·W·艾克斯特德 , 迈克尔·莱特
CPC classification number: F15C5/00 , B82Y30/00 , F16K99/0001 , F16K99/0017 , F16K99/0055 , F16K2099/0074 , F16K2099/0076 , F16K2099/0078 , F16K2099/008 , F16K2099/0084
Abstract: 一种具有各向异性润湿表面的流体处理装置,包括其上具有多个不对称的、形状基本一致的不平整部的基部。各不平整部具有相对于基部的第一不平整部升角和第二不平整部升角。不平整部被构造成提供大于或小于1的期望固位力比率(f1/f2),该固位力比率(f3/f2)由第一粗糙部升角和第二粗糙部升角之间的不对称引起,由公式:f3/f2=sin(ω3+1/2Δθ0)/sin(ω2+1/2Δθ0)决定。
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公开(公告)号:CN1968754A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580020319.X
申请日:2005-05-09
Applicant: E2V生物传感器有限公司
CPC classification number: F16K99/0001 , B01L3/502738 , B01L2400/0677 , F16K99/0019 , F16K99/003 , F16K99/0044 , F16K99/0061 , F16K2099/0074 , F16K2099/0078 , F16K2099/0084 , Y10T137/1797
Abstract: 提供一种在微流体器件中控制流体流动的阀。所述阀包括在基材(24)上形成的腔室(26)、加热盘管(42)和包含在腔室(26)内的阀材料(30)。当阀关闭时,激活加热盘管引起阀材料膨胀出腔室,通过颈状部分(28),进入主通道(22),将其阻塞。优选阀材料是石蜡,并且通过加热盘管(42)以引起其熔化。在熔化时,熔化的石蜡流入主通道并在那里冷却和固化。带有轴环(36)的缩颈(34)提供冷的表面,固化的蜡在该表面上积聚。
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公开(公告)号:CN1572717A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410046586.1
申请日:2004-06-11
Applicant: LG电子有限公司
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B7/04 , B81B2201/038 , F15C5/00 , F16K99/0009 , F16K99/0046 , F16K2099/0074 , F16K2099/008
Abstract: 本发明公开了一种微致动器及其制造方法,以及一种微驱动阀。该微驱动阀包括:在其中部具有一个流体入口的第一阀套;与第一阀套装配在一起以在其中形成一个空间部分并具有一个与第一阀套的流体入口相连通的流体出口的第二阀套;一个安装在该空间部分并在其一侧具有一个微通道用于与流体出口相连通的薄板;多个微驱动构件靠近薄板安装,用于通过有选择的开启和关闭薄板的微通道将从第一阀套的流体入口引入的流体排放到第二阀套的流体出口;一个安装在薄板上用于支撑微动件的微动件悬架;一个安装在微动件上的线圈;一个距线圈一定间隙安装的磁铁;及一个形成于薄板上用于为线圈提供电源的电极部分。
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公开(公告)号:CN1178272C
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN00102737.9
申请日:2000-02-23
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: F15C5/00 , F16K99/0001 , F16K99/0009 , F16K99/0044 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , H01H2061/006
Abstract: 一种半导体装置是由半导体基板(3)、可挠区域(2)、连接半导体基板(3)和可挠区域(2)的热绝缘区域(7)构成。所述热绝缘区域由热绝缘材料聚酰亚胺或氟系树脂构成。所述可挠区域连设的可动元件(5),由具有不同热膨胀系数的薄壁部(2S)和薄膜部(2M)构成。在所述可挠区域(2)设置加热部件,例如扩散电阻(6),当加热部件进行加热使所述可挠区域的温度变化时,所述可动元件(5)相对于所述半导体基板(3)变位。
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公开(公告)号:CN1540192A
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN200410032770.0
申请日:2004-04-21
Applicant: LG电子有限公司
Inventor: 李泳柱
CPC classification number: F16K31/0655 , F15C5/00 , F16K31/0651 , F16K31/082 , F16K99/0001 , F16K99/0009 , F16K99/0046 , F16K2099/0074 , F16K2099/0076 , F25B41/062 , F25B2341/0653 , Y02B30/72
Abstract: 一种流量控制阀装置及其制造方法和采用该装置的热交换器。该流量控制阀装置包括:具有纵向轴的流体通道,其包括上流体通道和下流体通道,用于导引流体;安装在与流体通道垂直的平面中且具有流体通过的孔的密封装置;开启/关闭装置,用于控制孔的开启/关闭;沿流体通道外围安装的加载装置,电流被加载以控制所述孔的开启/关闭。按照本发明的流量控制阀装置,采用加入到电磁线圈的电流改变永久磁铁阀部件的移位,从而线性控制通孔的开启范围和/或进行孔的开启/关闭操作。该阀装置可以低成本实现微型化。在热交换器中采用该阀装置,易于控制冷却效率。
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公开(公告)号:CN1460036A
公开(公告)日:2003-12-03
申请号:CN01815910.9
申请日:2001-03-01
Applicant: 财团法人川村理化学研究所
CPC classification number: B81B1/00 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/0086 , B01J2219/00891 , B01L3/502738 , B01L2300/0887 , B01L2400/0655 , B01L2400/082 , F16K99/0001 , F16K99/0017 , F16K99/0023 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , F16K2099/0084 , G01N30/6095 , G01N2030/324 , G01N2030/6008 , Y10T137/1624 , Y10T137/1842 , Y10T137/206 , Y10T436/2575
Abstract: 一种微型化学装置以及流量调节方法,其中,耐压性高、流路截面积不依赖于液体压力并且能够抑制生物成分的吸附、容易生成并且具有阀功能。在形成表面具有槽的构件(A)的槽的表面上,粘接其它构件(B),在构件(A)和构件(B)的粘接面上由构件(A)的槽和构件(B)形成宽1~1000μm、高1~1000μm的毛细管状流路,在该流路的路径上具有空隙部,该空隙部的宽为毛细管状流路宽的0.5~100倍,该空隙部的最大高度/最大宽度的比为1以下,构件(A)和构件(B)中的任何一方至少在相对于空隙部的部分由拉伸弹性率0.1MPa以上700MPa以下的软质材料构成,具有通过从构件(A)和/或构件(B)的外侧选择性地压迫空隙部能够可逆性地减少空隙部容积的阀功能。
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