公开(公告)号：CN115428116A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202180027392.9

申请日：2021-04-06

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 刘学东 ,  周为民 ,  陈晓雪 ,  季晓宇 ,  李衡 ,  沙赫杜尔·霍克 ,  李宗肴 ,  刘书豪 ,  任伟明

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/145

Abstract: 公开了使用带电粒子束装置对样品进行成像的系统和方法。带电粒子束装置可以包括复合物镜，该复合物镜包括磁透镜和静电透镜，该磁透镜包括空腔，以及位于紧邻磁透镜的极片的上游并且在磁透镜的空腔内部的电子检测器。在一些实施例中，偏转器可以位于电子检测器和与样品相邻的极片的开口之间以实现大视场。通过改变静电物镜中的(多个)控制电极的电位，可以在不改变着陆能量的情况下操纵检测器之间的电子分布。电子源可以用若干离散电位来操作以覆盖不同的着陆能量，而电子源和提取器之间的电位差是固定的。

公开(公告)号：CN115151997A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202080084220.0

申请日：2020-09-30

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 任伟明 ,  刘学东 ,  陈仲玮 ,  季晓宇 ,  陈晓雪 ,  周为民 ,  张楠

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26

Abstract: 公开了在带电粒子束设备的多种操作模式中提供探测斑的系统和方法。该方法可以包括：激活带电粒子源以生成初级带电粒子束，并且在带电粒子束设备的第一操作模式和第二操作模式之间进行选择。在泛射模式中，聚束透镜可以使通过孔径板中的孔径的初级带电粒子束的至少第一部分聚焦，以形成初级带电粒子束的第二部分，并且第二部分中的基本上所有带电粒子被用来泛射样品的表面。在检查模式中，聚束透镜可以使初级带电粒子束的第一部分聚焦，使得孔径板中的孔径阻挡外围带电粒子束，以形成用于检查样品表面的初级带电粒子束的第二部分。