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公开(公告)号:CN104237894A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410273031.4
申请日:2014-06-18
Applicant: 赫克斯冈技术中心
IPC: G01S17/08
CPC classification number: G01B5/008 , G01B9/02002 , G01B9/02048 , G01B9/0207 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B11/026 , G01S7/4812 , G01S7/4915 , G01S17/32 , G01S17/50 , G01S17/325
Abstract: 距离改变的干涉测量确定。通过干涉测量法确定到对象的距离的改变的方法包括:从激光二极管发射测量激光;接收测量激光的至少一部分;使反射的测量激光与基准激光叠加而提供干涉测量相位;根据叠加确定到对象的距离的改变。利用低相干性和宽光谱带宽发射测量激光,其中测量激光的发射波长在光谱带宽内无跳变地波动,导致干涉测量相位波动。以第一检测速率连续检测干涉测量相位,该检测速率高以致连续地增量跟踪干涉测量相位波动,使得由干涉测量相位的连续检测提供的连续干涉测量相位状态相差低于π的相移。此外,检测到的相位波动在限定的平均时段内被平均并得到平均相位。根据平均相位以与平均时段相关的第二检测速率确定到对象的距离的改变。
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公开(公告)号:CN116148955A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211402475.4
申请日:2022-11-10
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Abstract: 用于液体透镜的温度补偿。一种光学组件,包括可变焦距透镜组件,可变焦距透镜组件包括可变焦距透镜和致动单元,可变焦距透镜组件吸收能量的能量吸收速率取决于所施加的控制信号。光学组件包括控制单元,其被配置成通过提供相应的控制信号来控制可变焦距透镜的焦距设置,并且施加默认控制信号以提供默认焦距和默认能量吸收速率。控制单元提供热稳定功能,热稳定功能通过施加与变化焦距相关的变化控制信号并施加与补偿焦距相关的补偿控制信号来限定,其中,变化控制信号或补偿控制信号被提供为使得相应相关的能量吸收速率大于默认能量吸收速率,并且提供变化控制信号或补偿控制信号中的另一者,使得相应相关的能量吸收速率小于默认能量吸收速率。
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公开(公告)号:CN109990728B
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN201811530297.7
申请日:2018-12-14
Applicant: 赫克斯冈技术中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及机器几何形状监测。用于循环地确定机器(1)的几何形状的静态和/或动态特性的变化的机器状态监测系统(2)。所述机器(1)构造有位置编码器(4)以相对于第二机器部分(3)得出至少第一机器部分(5)的坐标信息,所述第一机器部分(5)和所述第二机器部分(3)可借助机动化驱动单元(13)相对于彼此移动。根据本发明,所述监测系统(2)包括至少一个校准监测单元(6),该校准监测单元(6)具有光学的至少二维测量位置感测单元,所述感测单元固定到所述第一机器部分(5)并且构造成光学地感测设置在所述第二机器部分(3)处的人工制品(3)的至少二维位置信息。
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公开(公告)号:CN111536878A
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN202010079701.4
申请日:2020-02-04
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Abstract: 通过将测量结果分类成有效或无效来估测表面的方法。一种用于测量表面(24)的方法,具体地根据光学相干层析成像的原理,由此基于干涉图(2)通过基于对相应干涉图(2)的相位变化(4)和幅度变化(4')的评价(7)将测量结果(2、11、13、19)分类(6a、6b、6b')成无效(6a)或有效(6b、6b')来基于干涉图测量到表面(24)的点的距离(D)。
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公开(公告)号:CN104620074A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201380044259.X
申请日:2013-08-14
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B11/005 , G01B21/045 , G01B11/2441
Abstract: 本发明涉及一种用于通过坐标测量仪来检测物体表面(2)的坐标测量方法,坐标测量仪包括用于容纳传感器的测量头、用于产生测量头关于物体表面沿着至少一个方向的相对运动的引导单元、用于检测物体表面(2)的光学传感器、以及控制单元,在坐标测量方法期间,物体表面(2)由光学传感器光学地检测,并且产生代表在物体轮廓域中的表面轮廓的数据集。通过模拟由该数据集代表的表面轮廓与虚拟触觉传感器(8)的接触对该数据集滤波,并且从所模拟的接触导出触觉数据集使得该触觉数据集代表在虚拟传感器域中的虚拟触觉表面轮廓(8b)。此外,从触觉数据集导出表面坐标。
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公开(公告)号:CN104011500A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201380004420.0
申请日:2013-01-16
Applicant: 赫克斯冈技术中心
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26 , G01B9/02027 , G01B9/021 , G01C15/002 , G03H1/0005 , G03H1/30 , G03H2001/0033
Abstract: 本发明涉及一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法,该方法具有以下步骤:a)制备具有多个干涉图案(31,31',31")的多重全息图(3),至少两个干涉图案(31,31',31")具有到全息图平面(30)上的物光波(401)的不同的入射角(32,32',32"),干涉图案(31,31',31")的所述入射角(32,32',32")被存储为机器可读数据;b)将多重全息图(3)布置在第一元件(1)上的第一元件平面(10)中;c)使用参考光波(400)照射多重全息图(3);d)将光检测器(6)布置在第二元件(2)上的第二元件平面(20)中;e)使用光检测器(6)来检测在干涉图案(31,31',31")上折射的参考光波(400');f)从检测到的折射参考光波(400')创建强度图案(61,61',61");g)将存储为机器可读数据的入射角(32,32',32")分配给强度图案(61,61',61");以及h)根据分配的入射角(32,32',32")来计算第一元件平面(10)与第二元件平面(20)之间的角度。
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公开(公告)号:CN119223157A
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202410809967.8
申请日:2024-06-21
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Abstract: 本发明涉及具有可调聚焦透镜的坐标测量机。一种用于测量表面上的多个测量点的坐标测量机(1)包括基座(2)、具有光学探针(41)的探头(4)、用于将探头(4)连接到基座(2)的机器结构(3)、用于提供探头(4)相对于基座(2)的移动性的至少一个驱动机构、至少一个编码单元、布置在机器结构(3)处的光学概观传感器单元(50)以及至少适于控制驱动机构的控制和处理单元。光学探针(41)包括光学检测单元、能够修改其焦距的可变焦距透镜(42)以及致动单元,该致动单元构造和相对于可变焦距透镜(42)布置成使得致动单元根据控制信号提供焦距的设定和改变。
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公开(公告)号:CN104011500B
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201380004420.0
申请日:2013-01-16
Applicant: 赫克斯冈技术中心
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26 , G01B9/02027 , G01B9/021 , G01C15/002 , G03H1/0005 , G03H1/30 , G03H2001/0033
Abstract: 本发明涉及一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法,具有以下步骤:a)制备具有多个干涉图案的多重全息图,至少两个干涉图案具有到全息图平面上的物光波的不同的入射角,干涉图案的入射角被存储为机器可读数据;b)将多重全息图布置在第一元件上的第一元件平面中;c)使用参考光波照射多重全息图;d)将光检测器布置在第二元件上的第二元件平面中;e)使用光检测器来检测在干涉图案上折射的参考光波;f)从检测到的折射参考光波创建强度图案;g)将存储为机器可读数据的入射角分配给强度图案;h)根据分配的入射角来计算第一元件平面与第二元件平面之间的角度。
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公开(公告)号:CN111536878B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202010079701.4
申请日:2020-02-04
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Abstract: 本公开提供用于测量表面的方法、干涉测量装置、机器可读介质。通过将测量结果分类成有效或无效来估测表面的方法。一种用于测量表面(24)的方法,具体地根据光学相干层析成像的原理,由此基于干涉图(2)通过基于对相应干涉图(2)的相位变化(4)和幅度变化(4')的评价(7)将测量结果(2、11、13、19)分类(6a、6b、6b')成无效(6a)或有效(6b、6b')来基于干涉图测量到表面(24)的点的距离(D)。
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