-
公开(公告)号：CN101468787A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200710305435.7
申请日：2007-12-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种电声感知微机电系统的超薄型封装结构，包含基板，其具有第一基板表面，及相对于该第一基板表面的第二基板表面；至少一导电凸块，位于该基板第二表面上；以及电声传感器芯片，具有第一芯片表面，及相对于该第一芯片表面的第二芯片表面，该第一芯片表面与该导电凸块电性连接，其中该导电凸块位于该第二基板表面与该第一芯片表面之间，以形成间隙空间，且其中该金属凸块用以传送该电声传感器芯片的信号至该基板。
-
公开(公告)号：CN103175552A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210065463.7
申请日：2012-03-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H04R19/04 , B06B1/0292 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , G01D5/2417 , H04R19/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开一种电容传感器、其制造方法以及具此种电容传感器的多功能元件。其中的电容传感器包括一基材、第一电极与第二电极与至少一支承梁结构。上述基材具有一开口，而第二电极是相对基材配置，其中第二电极具有相对上述开口的一中央部位及其周围的一周边部位，且中央部位与周边部位是不连续结构。至于第一电极是悬置于基材的开口与第二电极之间，且第一电极与上述第二电极之间具有一间隙。支承梁结构则连结基材并支撑第二电极的中央部位及第一电极。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1506705A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02156053.6
申请日：2002-12-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明是有关于一种电磁驱动的光开关及其制作方法，该开关包括有一悬臂(cantilever)，其上方设有一镜面，悬臂下方设有一磁膜，在其相对位置处有一平面线圈，线圈与磁膜共同组成一电磁驱动单元，配合悬臂上的一扭力杆，使得悬臂可进行如跷跷板般的运动，带动镜面上下移动作为光开关；本发明所公开的光开关是利用IC制作过程以微机电技术制造而成，首先在一第一基板上形成悬臂、扭力杆、磁膜与镜面，接着在一第二基板上形成上述之线圈，最后再由第一基板与第二基板上定位沟的精确对位结合，完成光开关的结构。
-
公开(公告)号：CN101468787B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200710305435.7
申请日：2007-12-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种电声感知微机电系统的超薄型封装结构，包含基板，其具有第一基板表面，及相对于该第一基板表面的第二基板表面；至少一导电凸块，位于该基板第二表面上；以及电声传感器芯片，具有第一芯片表面，及相对于该第一芯片表面的第二芯片表面，该第一芯片表面与该导电凸块电性连接，其中该导电凸块位于该第二基板表面与该第一芯片表面之间，以形成间隙空间，且其中该金属凸块用以传送该电声传感器芯片的信号至该基板。
-
公开(公告)号：CN103175552B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210065463.7
申请日：2012-03-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H04R19/04 , B06B1/0292 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , G01D5/2417 , H04R19/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开一种电容传感器、其制造方法以及具此种电容传感器的多功能元件。其中的电容传感器包括一基材、第一电极与第二电极与至少一支承梁结构。上述基材具有一开口，而第二电极是相对基材配置，其中第二电极具有相对上述开口的一中央部位及其周围的一周边部位，且中央部位与周边部位是不连续结构。至于第一电极是悬置于基材的开口与第二电极之间，且第一电极与上述第二电极之间具有一间隙。支承梁结构则连结基材并支撑第二电极的中央部位及第一电极。
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.045 seconds)
