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公开(公告)号：CN101788351B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200910002974.2
申请日：2009-01-23
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 一种具耦合型与多向性的软性应力传感装置，包括一软性基板、一支撑层、一薄膜基材、多个薄膜传感部、多个传感电极、多个传感块、多个凸块物、以及一填充物。支撑层设置在软性基板上，薄膜基材由支撑层所支撑，薄膜传感部由薄膜基材延伸而出，传感电极对应设置在薄膜传感部上，传感块对应涂布在传感电极上，而填充物包覆支撑层、薄膜基材、薄膜传感部、传感电极、以及传感块。
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公开(公告)号：CN101776496A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200910001643.7
申请日：2009-01-09
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 一种可大面积感测与低成本制作的柔性电子压力感测装置及其制作方法，该装置包括多层柔性薄膜、多个电极、多个感测块及多个凸块。这些柔性薄膜有间隔地设置而定义出二个空间。这些电极及这些感测块配置在这些柔性薄膜上而位于空间内，且这些凸块配置在这些柔性薄膜上而位于另一空间内。这些空间内的空气维持配置有这些电极及这些感测块的二个柔性薄膜之间的相对距离。当柔性电子压力感测装置产生形变时，可避免因分别配置于不同柔性薄膜上的感测块与电极或两感测块的相互接触而产生的误感测信号。此外，一种柔性电子压力感测装置的制作方法亦被提出。
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公开(公告)号：CN101139079A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200610128690.4
申请日：2006-09-08
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微机电感测元件的塑料构装方法及其结构，其工艺包含：首先提供一载体，具有一表面。再提供至少一微机电感测元件，微机电感测元件具有一主动表面与一背面，且主动表面上具有一作用区域及多个焊垫。续而进行光阻工艺形成一牺牲层于作用区域上。再将该微机电感测元件粘结并电性连接于该载体表面上。接着形成至少一封胶体，其具有一表面使牺牲层的上表面暴露出来。最后以溶剂自然分解牺牲层，使微机电感测元件作用区域外露，以使作用区域与大气环境接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1932441A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200510102835.9
申请日：2005-09-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G01C17/32
Abstract: 本发明提出一种结合电子罗盘指向且可以自动水平调整方向定位，能自动解说的数字式电子罗盘装置及电子罗盘仪。电子罗盘仪包括一电子罗盘装置、一水平自动调整器、一旋转器及一光学对准器；其中该电子罗盘装置包括了一电源单元、一输入接口单元、一地球磁场感测单元、一显示单元、一单片机控制单元及一卦象数据库。本发明可大幅降低人为判断误差及缩减堪舆所须花费的时间。
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公开(公告)号：CN101139079B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200610128690.4
申请日：2006-09-08
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微机电感测元件的塑料构装方法及其结构，其工艺包含：首先提供一载体，具有一表面。再提供至少一微机电感测元件，微机电感测元件具有一主动表面与一背面，且主动表面上具有一作用区域及多个焊垫。续而进行光阻工艺形成一牺牲层于作用区域上。再将该微机电感测元件粘结并电性连接于该载体表面上。接着形成至少一封胶体，其具有一表面使牺牲层的上表面暴露出来。最后以溶剂自然分解牺牲层，使微机电感测元件作用区域外露，以使作用区域与大气环境接触。
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公开(公告)号：CN1506705A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN02156053.6
申请日：2002-12-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明是有关于一种电磁驱动的光开关及其制作方法，该开关包括有一悬臂(cantilever)，其上方设有一镜面，悬臂下方设有一磁膜，在其相对位置处有一平面线圈，线圈与磁膜共同组成一电磁驱动单元，配合悬臂上的一扭力杆，使得悬臂可进行如跷跷板般的运动，带动镜面上下移动作为光开关；本发明所公开的光开关是利用IC制作过程以微机电技术制造而成，首先在一第一基板上形成悬臂、扭力杆、磁膜与镜面，接着在一第二基板上形成上述之线圈，最后再由第一基板与第二基板上定位沟的精确对位结合，完成光开关的结构。
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公开(公告)号：CN101776496B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200910001643.7
申请日：2009-01-09
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 一种可大面积感测与低成本制作的柔性电子压力感测装置及其制作方法，该装置包括多层柔性薄膜、多个电极、多个感测块及多个凸块。这些柔性薄膜有间隔地设置而定义出二个空间。这些电极及这些感测块配置在这些柔性薄膜上而位于空间内，且这些凸块配置在这些柔性薄膜上而位于另一空间内。这些空间内的空气维持配置有这些电极及这些感测块的二个柔性薄膜之间的相对距离。当柔性电子压力感测装置产生形变时，可避免因分别配置于不同柔性薄膜上的感测块与电极或两感测块的相互接触而产生的误感测信号。此外，一种柔性电子压力感测装置的制作方法亦被提出。
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公开(公告)号：CN101788351A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200910002974.2
申请日：2009-01-23
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 一种具耦合型与多向性的软性应力传感装置，包括一软性基板、一支撑层、一薄膜基材、多个薄膜传感部、多个传感电极、多个传感块、多个凸块物、以及一填充物。支撑层设置在软性基板上，薄膜基材由支撑层所支撑，薄膜传感部由薄膜基材延伸而出，传感电极对应设置在薄膜传感部上，传感块对应涂布在传感电极上，而填充物包覆支撑层、薄膜基材、薄膜传感部、传感电极、以及传感块。
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