-
公开(公告)号：CN102104817A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910260840.0
申请日：2009-12-21
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H04R7/00
Abstract: 本发明公开一种声学感测器，其包括支撑基板，具有一上表面及一下表面，上表面包括第一部分及第二部分，第二部分围绕第一部分；凹槽，自上表面朝下表面延伸，凹槽位于上表面的第一部分与第二部分之间；可震动薄膜，设置于凹槽的正上方，可震动薄膜包括固定部分及悬空部分，固定部分固定于支撑基板上，悬空部分的边缘大抵顺应着凹槽的开口的边缘延伸，悬空部分与上表面的第一部分之间隔有内间隙，且悬空部分与上表面的第二部分之间隔有外间隙；以及背板，设置于支撑基板之上而与可震动薄膜以一间距相对设置。
-
公开(公告)号：CN104066040A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201310135879.6
申请日：2013-04-18
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种压力传感器及其制造方法。该压力传感器包括一基材、一介电氧化层、一第一电极层、一介电连接层以及一第二电极层。介电氧化层形成于基材上，第一电极层形成于介电氧化层上，介电连接层形成于第一电极层上，第二电极层形成于介电连接层上。第二电极层包括一图案化导电层及一介电层，图案化导电层具有多个穿孔，介电层形成于图案化导电层上且包覆该些穿孔的内壁。第一电极层、介电连接层及第二电极层定义一第一腔室于第一电极层和第二电极层之间。
-
公开(公告)号：CN101734606A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200810178203.4
申请日：2008-11-14
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: B81B7/00 , G01P15/097
Abstract: 一种应用于一微机电系统装置中的感测薄膜，包括一本体、一应力分散结构以及一连接部。应力分散结构围绕本体，用以分散一薄膜残留应力(residual？stress)。应力分散结构具有多个第一贯穿孔(perforation)及多个第二贯穿孔，第一贯穿孔位于本体与第二贯穿孔之间。连接部连接应力分散结构及微机电系统装置的一基板。
-
公开(公告)号：CN106707415B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510940019.9
申请日：2015-12-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种可调式光学装置，包括基板、至少一支持构件、可挠性框架、弹性元件、第一反射元件以及至少一致动元件。支持构件固定于基板上。可挠性框架连接支持构件，且悬空于基板。弹性元件连接可挠性框架。弹性元件在Z轴方向上的刚性小于可挠性框架在Z轴方向上的刚性。Z轴方向垂直通过基板。第一反射元件连接弹性元件。致动元件位于可挠性框架与基板之间或第一反射元件与基板之间。
-
公开(公告)号：CN103175552B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210065463.7
申请日：2012-03-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H04R19/04 , B06B1/0292 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , G01D5/2417 , H04R19/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开一种电容传感器、其制造方法以及具此种电容传感器的多功能元件。其中的电容传感器包括一基材、第一电极与第二电极与至少一支承梁结构。上述基材具有一开口，而第二电极是相对基材配置，其中第二电极具有相对上述开口的一中央部位及其周围的一周边部位，且中央部位与周边部位是不连续结构。至于第一电极是悬置于基材的开口与第二电极之间，且第一电极与上述第二电极之间具有一间隙。支承梁结构则连结基材并支撑第二电极的中央部位及第一电极。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104066040B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201310135879.6
申请日：2013-04-18
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种压力传感器及其制造方法。该压力传感器包括一基材、一介电氧化层、一第一电极层、一介电连接层以及一第二电极层。介电氧化层形成于基材上，第一电极层形成于介电氧化层上，介电连接层形成于第一电极层上，第二电极层形成于介电连接层上。第二电极层包括一图案化导电层及一介电层，图案化导电层具有多个穿孔，介电层形成于图案化导电层上且包覆该些穿孔的内壁。第一电极层、介电连接层及第二电极层定义一第一腔室于第一电极层和第二电极层之间。
-
公开(公告)号：CN106707415A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510940019.9
申请日：2015-12-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: G02B26/001 , G02B6/29359 , G02B6/29395 , G02B26/0841
Abstract: 本发明公开一种可调式光学装置，包括基板、至少一支持构件、可挠性框架、弹性元件、第一反射元件以及至少一致动元件。支持构件固定于基板上。可挠性框架连接支持构件，且悬空于基板。弹性元件连接可挠性框架。弹性元件在Z轴方向上的刚性小于可挠性框架在Z轴方向上的刚性。Z轴方向垂直通过基板。第一反射元件连接弹性元件。致动元件位于可挠性框架与基板之间或第一反射元件与基板之间。
-
公开(公告)号：CN102104817B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN200910260840.0
申请日：2009-12-21
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H04R7/00
Abstract: 本发明公开一种声学感测器，其包括支撑基板，具有一上表面及一下表面，上表面包括第一部分及第二部分，第二部分围绕第一部分；凹槽，自上表面朝下表面延伸，凹槽位于上表面的第一部分与第二部分之间；可震动薄膜，设置于凹槽的正上方，可震动薄膜包括固定部分及悬空部分，固定部分固定于支撑基板上，悬空部分的边缘大抵顺应着凹槽的开口的边缘延伸，悬空部分与上表面的第一部分之间隔有内间隙，且悬空部分与上表面的第二部分之间隔有外间隙；以及背板，设置于支撑基板之上而与可震动薄膜以一间距相对设置。
-
公开(公告)号：CN101734606B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200810178203.4
申请日：2008-11-14
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: B81B7/00 , G01P15/097
Abstract: 一种应用于一微机电系统装置中的感测薄膜，包括一本体、一应力分散结构以及一连接部。应力分散结构围绕本体，用以分散一薄膜残留应力(residual stress)。应力分散结构具有多个第一贯穿孔(perforation)及多个第二贯穿孔，第一贯穿孔位于本体与第二贯穿孔之间。连接部连接应力分散结构及微机电系统装置的一基板。
-
公开(公告)号：CN103175552A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210065463.7
申请日：2012-03-13
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H04R19/04 , B06B1/0292 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , G01D5/2417 , H04R19/00 , H04R2201/003 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开一种电容传感器、其制造方法以及具此种电容传感器的多功能元件。其中的电容传感器包括一基材、第一电极与第二电极与至少一支承梁结构。上述基材具有一开口，而第二电极是相对基材配置，其中第二电极具有相对上述开口的一中央部位及其周围的一周边部位，且中央部位与周边部位是不连续结构。至于第一电极是悬置于基材的开口与第二电极之间，且第一电极与上述第二电极之间具有一间隙。支承梁结构则连结基材并支撑第二电极的中央部位及第一电极。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.025 seconds)
