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公开(公告)号:CN101468787B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200710305435.7
申请日:2007-12-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种电声感知微机电系统的超薄型封装结构,包含基板,其具有第一基板表面,及相对于该第一基板表面的第二基板表面;至少一导电凸块,位于该基板第二表面上;以及电声传感器芯片,具有第一芯片表面,及相对于该第一芯片表面的第二芯片表面,该第一芯片表面与该导电凸块电性连接,其中该导电凸块位于该第二基板表面与该第一芯片表面之间,以形成间隙空间,且其中该金属凸块用以传送该电声传感器芯片的信号至该基板。
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公开(公告)号:CN101725492A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200810170535.8
申请日:2008-10-17
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明提供一种摆动装置及其猎能装置,于能量供应体上设置-摆动机构。通过调整该摆动机构的尺寸与形状以及该摆动机构与该能量供应体的距离,使该摆动机构与该能量供应体间的距离与该摆动机构的一特征量间的比值介于4和0.25之间,以使该摆动机构的摆动频率可以随该能量供应体的运动频率的变化而自动调整。本发明还提供一猎能装置,将该摆动装置与线圈结合,使得该摆动机构在摆动的过程中,可以和线圈产生感应电流以进行发电。本发明的摆动结构的自然频率可以随能量供应体的转速而调整,使得摆动机构随时处于共振状态,因此该摆动机构可以产生最大位移与速度以增加机械能-电能的转换效率。
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公开(公告)号:CN104977713B
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:CN201410133720.5
申请日:2014-04-03
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/10 , G02B26/105 , H04N1/047
Abstract: 一种扫描镜驱动装置与驱动方法及扫描装置,该扫描镜驱动装置包括累加单元与处理单元。累加单元用以接收频率控制字与第一累加值,并对频率控制字与第一累加值进行累加,以产生第二累加值。处理单元耦接累加单元,用以接收第二累加值,并依据第二累加值与预设值,以产生驱动信号,并调整第二累加值,以输出第一累加值。
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公开(公告)号:CN104977713A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201410133720.5
申请日:2014-04-03
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/10 , G02B26/105 , H04N1/047
Abstract: 一种扫描镜驱动装置与驱动方法及扫描装置,该扫描镜驱动装置包括累加单元与处理单元。累加单元用以接收频率控制字与第一累加值,并对频率控制字与第一累加值进行累加,以产生第二累加值。处理单元耦接累加单元,用以接收第二累加值,并依据第二累加值与预设值,以产生驱动信号,并调整第二累加值,以输出第一累加值。
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公开(公告)号:CN102650736B
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201110087476.X
申请日:2011-04-06
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H01L41/0933 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H02N2/0015 , H02N2/108
Abstract: 二维扫描反射装置,包括振动构件与扫描构件。振动构件具有一自由端。扫描构件包括框架体、质量块与反射镜。框架体连接于振动构件的自由端。反射镜的自然频率对应第二频率。质量块以偏心方式设置于框架体,且质量块与反射镜的自然频率对应第一频率。振动构件接收具有第一频率与第二频率的复频信号时,反射镜以第一频率在一轴向上振动,且以第二频率在另一轴向上振动。
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公开(公告)号:CN102193189B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201010124864.6
申请日:2010-03-01
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种光学多环扫描元件,包含一基板、一外环驱动元件、至少一内环驱动元件及一镜面,该外环驱动元件设置于该基板内,该外环驱动元件左右两侧对称设有第一扭转臂连接于该基板,该至少一内环驱动元件包括一第一内环驱动元件,该第一内环驱动元件设置于该外环驱动元件内,该第一内环驱动元件上下两侧对称设有第二扭转臂连接于该外环驱动元件,该镜面设置于该第一内环驱动元件内,该镜面上下两侧对称各设有一第三扭转臂连接于该内环驱动元件,该第三扭转臂与该第二扭转臂同轴,该第一扭转臂垂直于该第二扭转臂及第三扭转臂。
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公开(公告)号:CN102650736A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201110087476.X
申请日:2011-04-06
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: H01L41/0933 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H02N2/0015 , H02N2/108
Abstract: 二维扫描反射装置,包括振动构件与扫描构件。振动构件具有一自由端。扫描构件包括框架体、质量块与反射镜。框架体连接于振动构件的自由端。反射镜的自然频率对应第二频率。质量块以偏心方式设置于框架体,且质量块与反射镜的自然频率对应第一频率。振动构件接收具有第一频率与第二频率的复频信号时,反射镜以第一频率在一轴向上振动,且以第二频率在另一轴向上振动。
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公开(公告)号:CN102468817A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201010535550.5
申请日:2010-11-04
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明公开了一种微机电滤波器。此微机电滤波器包括一输入电极、一输出电极、一个或多个压电谐振器、一个或多个高品质因子谐振器以及一个或多个耦合梁。压电谐振器上方具有输入电极与输出电极。高品质因子谐振器的材质为硅或压电材料,且上方不具有金属电极。在压电谐振器与高品质因子谐振器之间以耦合梁作为连接。耦合梁用于谐振器间传递声波,并可控制滤波器的频宽。
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公开(公告)号:CN102101636A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200910259221.X
申请日:2009-12-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种共振器,至少由共振体和至少一周期性结构所组成。周期性结构的一端连结共振体,且至少由重复的两个基本结构单元所组成。周期性结构可用于阻挡共振体震荡时所产生的波传。其中,共振体具有共振频率f0,周期性结构在特定频段内具有频沟特性或哑频特性,且共振频率f0落在周期性结构的特定频段内。
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