公开(公告)号：CN119092582A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411192367.8

申请日：2024-08-28

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 方慈浙 ,  杨家泳 ,  王轶博 ,  刘艳 ,  郝跃 ,  韩根全

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0224 ,  G01J1/42 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明公开了一种声表面波增强的Ga2O3日盲紫外探测器，包括衬底以及在衬底表面设置的压电半导体层；位于压电半导体层表面设置有金属电极和叉指换能器；所述叉指换能器作为SAW的输入端，产生声表面波；金属电极作为探测器的电极，用于载流子的收集。所述金属电极和叉指换能器分别置于压电半导体层两端，两者之间距离为l。本发明将声表面波与探测器光电机制进行深度耦合，通过声‑光‑电的物理机制以及通过优化叉指换能器的设计产生声表面波，有效调控Ga2O3能带并抑制载流子复合，实现Ga2O3探测器性能的提升，从而推动高性能Ga2O3日盲紫外光电探测器的发展。

公开(公告)号：CN118588723A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410632867.2

申请日：2024-05-21

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 方慈浙 ,  杨家泳 ,  曾翔宇 ,  王轶博 ,  李晓茜 ,  赵若乔 ,  刘艳 ,  郝跃 ,  韩根全

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了一种石墨烯与Ga2O3集成的探测器阵列及其制备方法，包括：衬底、有源层、石墨烯层、第一金属电极和第二金属电极；所述有源层通过光刻和刻蚀形成隔离，构成N x N线性阵列；在石墨烯层与有源层界面处形成石墨烯/Ga2O3异质结，结区内形成内建电场；所述金属电极电流的流动方向与有源层保持平行形成横向导电。本发明采用透明电极石墨烯解决透光率低的问题；石墨烯与Ga2O3形成纵向异质结，配合横向结构设计，实现大面积透光从而提高有源层光吸收。此外，异质结区电场能够加快光生载流子分离，提高响应速度。

公开(公告)号：CN117410353A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311499378.6

申请日：2023-11-09

Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院

Inventor： 方慈浙 ,  杨家泳 ,  刘艳 ,  韩根全 ,  郝跃

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/108 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种电极光栅化氧化镓纳米腔日盲紫外光电探测器及制备方法，包括：自下而上依次布设的反射层、补偿层、有源层以及光栅电极，其中反射层为金属Al，补偿层采用Al2O3材料沉积在金属材质的反射层上，有源层采用β‑Ga2O3材料，光栅电极为Ti/Al电极叠层结构，且为周期排列的叉指电极形成的光栅结构，通过调整结构参数和周期调控表面等离激元，并在底部使用金属反射镜减少透射，辅助提升有源层光吸收，同时金属光栅作为插指电极降低载流子渡越时间，从光学和电学两方面改善探测器光电性能，为实现高性能日盲紫外光电探测器提供有效途径。