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公开(公告)号：CN117410353A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311499378.6
申请日：2023-11-09
Applicant: 西安电子科技大学杭州研究院
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/032 , H01L31/108 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种电极光栅化氧化镓纳米腔日盲紫外光电探测器及制备方法，包括：自下而上依次布设的反射层、补偿层、有源层以及光栅电极，其中反射层为金属Al，补偿层采用Al2O3材料沉积在金属材质的反射层上，有源层采用β‑Ga2O3材料，光栅电极为Ti/Al电极叠层结构，且为周期排列的叉指电极形成的光栅结构，通过调整结构参数和周期调控表面等离激元，并在底部使用金属反射镜减少透射，辅助提升有源层光吸收，同时金属光栅作为插指电极降低载流子渡越时间，从光学和电学两方面改善探测器光电性能，为实现高性能日盲紫外光电探测器提供有效途径。
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