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公开(公告)号：CN113063965B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202110310728.4
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。
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公开(公告)号：CN113063964A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110310726.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。
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公开(公告)号：CN112180119A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011034217.6
申请日：2020-09-27
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计、伺服电路及加速度信号转换方法，差动电容转换器与石英表头中的差动电容信号连接，差动电容转换器信号与电流积分器的信号连接；电流积分器的信号输出端同时与跨导/补偿放大器的信号输入端以及阻容反馈网络的信号连接；跨导/补偿放大器的一端与石英表头的力矩器连接，另一端与阻容反馈网络连接；石英表头力矩器与精密采样电阻一端连接，精密采样电阻的另一端连接模拟信号地线；力矩器与巴特沃兹低通滤波器连接，巴特沃兹低通滤波器与A/D转换器连接，A/D转换器的数字信号与伺服电路相连。提升信号处理的速率，减小了功耗并且可以缩小体积，拓展整个导航系统的内部空间。
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公开(公告)号：CN110579626A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201911008464.6
申请日：2019-10-22
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供了一种微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；伺服电路全部元器件采用厚膜混合集成工艺集成在陶瓷基片上，伺服电路采用金属全密封封装。本发明采用金属平行缝焊封装形式的石英挠性加速度计伺服电路，实现了伺服电路全密封化，解决了伺服电路在极端环境下可靠性问题和散热问题。
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公开(公告)号：CN110579625A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201911008457.6
申请日：2019-10-22
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供了一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，所述电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；反馈网络与跨导/补偿放大器连接；所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃高温元器件，全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。通过与耐高温加速度传感器匹配，可提升加速度系统模块器件的耐高温能力，完成极端环境下对加速度的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119690181A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411843790.X
申请日：2024-12-14
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G05F1/56
Abstract: 本发明公开了一种过流保护的恒流源，属于精密测量技术领域。包括串联的镜像恒流源和可控精密电压基准；所述镜像恒流源连接有电流检测单元，用于进行电流检测并输出检测信号；所述电流检测单元中预先设置有过流保护阈值电流；所述电流检测单元连接有开断控制单元；所述开断控制单元信号连接有外部使能端，用于接收外部使能端信号；所述开断控制单元中预先设置有外部使能阈值；所述开断控制单元与所述可控精密电压基准连接；所述镜像恒流源连接外部电源；所述检测信号和外部使能端信号通过所述开断控制单元后，开断控制单元发出控制信号控制可控精密电压基准使能，实现对镜像恒流源的通断控制，本发明可输出高精度电流基准。
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公开(公告)号：CN118300567A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410589928.1
申请日：2024-05-13
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: H03H11/12
Abstract: 本发明公开了一种用于传感器的输出可调的恒流滤波模块，包括：电压基准源通过电压跟随器产生的电压基准作为正恒流源的电压基准，控制调整电路外接传感器，为传感器供电，然后，传感器输出信号依次通过高通滤波器和二阶有源低通滤波器，输出滤除直流高通的传感器信号。本发明可实现恒流从0开始到饱和的线性输出，解决了传统恒流源由于运放失调电压难以实现输出从0开始的难题。频率可调隔直滤波子模块实现低通滤波器可调的功能。本发明可广泛应用在各种传感器的供电及信号处理方面，具有推广应用价值，可降低生产成本、带来可观的经济效益。
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公开(公告)号：CN114994366A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210630589.8
申请日：2022-06-06
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P21/00 , G01P15/097 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英振梁加速度计控制电路，本发明将温度传感器采集到的石英振梁加速度计内部原始温度场变换为温度补偿电压，与多谐振荡器、F/V转换器检测到的原始加速度信息通过加法器进行融合后，通过V/F转换器输出温度补偿后的频率信号。本发明可实现对石英振梁加速度计零偏、标度因数温度系数的综合补偿，本发明还可以通过改变F/V转换器、V/F转换器和加法器转换系数来调整石英振梁加速度计零偏和标度因数。本发明可广泛应用于飞行器自主导航、石油随钻测斜系统以及微重力场测量等军事民生领域，具有极大的经济、社会效益。本发明可应用于其他类型振梁加速度计控制，具有普遍适用性。
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公开(公告)号：CN111983259A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010858409.2
申请日：2020-08-24
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN109186638B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201811210146.3
申请日：2018-10-17
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺，差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制，采用厚膜混合集成电路工艺制造电路，金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装，使电路具有更高可靠性，更优散热性能。
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