公开(公告)号：CN111983259A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010858409.2

申请日：2020-08-24

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  万欢欢 ,  张明 ,  阮晓明 ,  刘发 ,  夏瑱超

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。

公开(公告)号：CN111983259B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202010858409.2

申请日：2020-08-24

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  万欢欢 ,  张明 ,  阮晓明 ,  刘发 ,  夏瑱超

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。

公开(公告)号：CN110286313B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201910523545.3

申请日：2019-06-17

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 夏瑱超 ,  刘晖 ,  邵领会 ,  薛亚慧

IPC: G01M3/20

Abstract: 本发明公开了一种高温环境下密封电路模块间歇性密封失效分析方法，将电路模块和稀有气体封装入腔体工装中，并对封装好的腔体工装进行加热存贮或功率老炼实验，对实验后的电路模块进行水汽检测，判断电路模块是否存在高温间歇性密封失效，能够对密封电路模块是否因存在密封不良而导致的内外气体交换进行定性分析，针对不合格的电路模块进行定位分析，将存在高温间歇性密封失效的电路模块的外壳切割成两部分，一部分在空气气氛中进行加热存贮，另一部分不做处理，将电路模块外壳上的引脚和绝缘子取出，对电路模块外壳上与绝缘子接触的部位进行分析，找出具体的密封不良的失效部位，以便对该失效部位的具体原因进行分析，并将结果反馈生产厂家。

公开(公告)号：CN110286313A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201910523545.3

申请日：2019-06-17

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 夏瑱超 ,  刘晖 ,  邵领会 ,  薛亚慧

IPC: G01R31/28 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/20091 ,  G01M3/22

Abstract: 本发明公开了一种高温环境下密封电路模块间歇性密封失效分析方法，将电路模块和稀有气体封装入腔体工装中，并对封装好的腔体工装进行加热存贮或功率老炼实验，对实验后的电路模块进行水汽检测，判断电路模块是否存在高温间歇性密封失效，能够对密封电路模块是否因存在密封不良而导致的内外气体交换进行定性分析，针对不合格的电路模块进行定位分析，将存在高温间歇性密封失效的电路模块的外壳切割成两部分，一部分在空气气氛中进行加热存贮，另一部分不做处理，将电路模块外壳上的引脚和绝缘子取出，对电路模块外壳上与绝缘子接触的部位进行分析，找出具体的密封不良的失效部位，以便对该失效部位的具体原因进行分析，并将结果反馈生产厂家。