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公开(公告)号：CN116022723A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211604516.8
申请日：2022-12-13
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。
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公开(公告)号：CN117776091A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311833488.1
申请日：2023-12-27
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种集成抗弛豫OTS膜的MEMS碱金属气室结构及其制备方法，该气室结构采用玻璃‑高阻硅‑玻璃三层结构，高阻硅片上设有工作腔、辅助腔、连接通道以及碱金属通道，工作腔内表面制备有抗弛豫性能的OTS膜。辅助腔内填充碱金属后，高阻硅片与第一玻璃片键合在一起，之后再将第二玻璃片与高阻硅片键合，形成三层结构。结合OTS膜在无碱金属蒸汽作用时相比于有碱金属蒸汽作用时可耐更高温度的机制，在辅助腔中设计了隔膜结构，其作用是在第二次阳极键合时隔绝OTS膜和碱金属蒸汽，使得抗弛豫OTS膜与阳极键合温度兼容。本发明由于集成抗弛豫OTS膜、充入缓冲气体压力较低，从而减小了共振谱线的压力展宽，抑制了磁场梯度的影响，降低了泵浦光的功率。
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公开(公告)号：CN117254712A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311211696.8
申请日：2023-09-19
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器及其制备方法，属于自供电器件技术领域，复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器包括摩擦电层、热电层、压电层、保护层和柔性基底；按照柔性基底‑保护层‑压电层‑保护层‑热电层‑保护层‑摩擦电层自下而上的方式进行多层堆叠组装，当人体发生运动时，柔性基底和人体皮肤发生相对运动，摩擦电输出电压；柔性基底的自由垂坠块产生摆动，压电层输出电压；热电层感受到人体皮肤和外界环境的温差，热电层输出电压；能量收集器设计可以有效跟随人体运动，高效从人体运动中收集能量。
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公开(公告)号：CN117187744A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311149097.8
申请日：2023-09-06
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种具有保护层的T型薄膜热电偶及其制备方法，涉及温度传感器技术领域，采用保护层解决现有T型热电偶服役温度低的技术问题，T型薄膜热电偶包括陶瓷基底以及陶瓷基底上的正极敏感层Cu薄膜、负极敏感层Cu/Ni薄膜、敏感层薄膜上的保护层薄膜。当T型薄膜热电偶在高温下使用时，保护层能够阻止T型薄膜热电偶电极薄膜挥发以及防止氧气进入电极薄膜，减少薄膜的热挥发、氧化造成的电极损坏导致无法测温现象的出现。同时，保护层的存在使得金属热电偶能够在腐蚀性溶液或酸性、碱性溶液中使用。
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公开(公告)号：CN117232689A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311169458.5
申请日：2023-09-11
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
IPC: G01K17/06
Abstract: 本发明公开了一种多孔式柔性热流传感器，通过ITO与In2O3材料搭接形成热电堆的热节点，以聚酰亚胺作为传感器的热阻层与基底，通过在基底的小孔，串联起上下表面的热电堆，热电堆延伸至聚酰亚胺底部并引出，ITO与In2O3材料通过丝网印刷制备形成热电堆阵列，能够实现低温至高温下的热流测量，制备封装方法简单，可贴附于复杂表面，且成本较低，可应用于液氮等低温冷却、高温传热等热流测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116655977A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310072601.2
申请日：2023-01-28
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
IPC: C08J7/04 , C08J7/043 , C09D105/08 , C09D7/61 , C09D5/24 , C09D11/52 , C09D11/14 , H05K9/00 , H05B3/34 , H05B3/03 , G01B7/16 , C08L79/08
Abstract: 本发明公开了一种基于可靠界面结合的柔性多功能薄膜的制备方法及器件，制备方法包括以下步骤：首先将含有氨基的聚合物改性，在其分子链上引入巯基，并将其溶解在去离子水中；将金属纳米颗粒加入含巯基聚合物的溶液中，均匀分散后静置；将改性后的含巯基的聚合物和所制备的导电油墨分层涂覆在清洁的柔性基板上；经低温干燥和高温烧结后，得到具有可靠结合力的柔性多功能薄膜，所制备的柔性多功能薄膜具有多种功能，可作为电磁屏蔽薄膜、弯曲应变传感器和电热器件使用。
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公开(公告)号：CN114812642A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210470410.7
申请日：2022-04-28
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种密封效果好的塑封传感器，包括底座、安装壳、传感器本体、导线、密封套、套壳、密封机构、防松动机构、收纳机构，所述底座的上端固定连接有安装壳，所述安装壳的内部设置有传感器本体，所述传感器本体上设置有导线，所述导线的外部滑动套接有密封套，所述安装壳的外部滑动套接有套壳，所述套壳的内侧顶部固定连接有密封垫，所述密封垫与安装壳接触，所述底座和安装壳上共同设置有密封机构，所述安装壳上设置有防松动机构，所述底座的底部设置有收纳机构。本发明涉及一种密封效果好的塑封传感器，具有密封性好以及导线接头受到保护的特点。
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公开(公告)号：CN114894237A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210471880.5
申请日：2022-04-29
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明公开了一种智能传感器封装测试装置，包括底板，所述底板上固定连接有两个对称的支撑板，所述支撑板上固定连接有固定板，所述底板上固定连接有底座，所述底座与支撑板固定连接。本发明通过设计夹块与智能传感器本体的接触，可对智能传感器本体起到一个夹持定位的目的，可防止智能传感器本体移动影响测试效果，且操作便捷，方便进行智能传感器本体的定位操作，通过设计电机的作用，电机可带动转动杆转动，从而可使导块带动工作台水平移动，从而可带动智能传感器本体移动，可将不同的智能传感器本体与测试装置接触，方便对工作台上多个不同的智能传感器本体进行测试，提高了装置使用效果。
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公开(公告)号：CN117147013A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311111662.1
申请日：2023-08-31
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器，涉及压力传感器技术领域，该压力传感器包括陶瓷基板，所述陶瓷基板包括基板第一面和基板第二面，所述基板第一面上设有塑料壳体，所述塑料壳体与基板第一面形成腔体，所述腔体内对应的基板第一面上开设有通孔，所述通孔的上端设有压力芯片，所述基板第一面上还设有调理芯片与焊盘，所述焊盘分别与调理芯片和压力芯片连接，本发明选用氧化铝成分的烧结陶瓷板来制作电路板，减小了高、低温环境下陶瓷基板的形变，增强了电路板的介质兼容性以减小温漂的影响，陶瓷基板的电路设计简单，通过优化焊盘布局和芯片连接方式来简化结构，提高性能的稳定性，降低了压力传感器的生产成本，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN114899135A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210470427.2
申请日：2022-04-28
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L41/23 , B07B13/00
Abstract: 本发明公开了一种器件级压力传感器生产用封装设备，包括底座箱、下料机构、防护罩、上料机构、安装板、伸缩气缸、限位机构、控制模块、箱门、防护门、工件、压合封装板，所述底座箱上设置有下料机构，所述底座箱的上端固定连接有防护罩，所述防护罩上设置有上料机构，所述防护罩的内部固定连接有安装板，所述安装板的内部固定连接有伸缩气缸，所述防护罩的内部设置有限位机构，所述底座箱的内部固定连接有控制模块，所述底座箱上铰接有箱门，所述防护罩上铰接有防护门，所述伸缩气缸的输出端固定连接有压合封装板。本发明涉及一种器件级压力传感器生产用封装设备，具有便于上料与便于下料收集的特点。
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