公开(公告)号：CN116022723A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211604516.8

申请日：2022-12-13

Applicant: 西安交通大学 ,  明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 ,  山东明石微纳技术研究院

Inventor： 赵立波 ,  王延斌 ,  秦广照 ,  于明智 ,  陈瑶 ,  张赟 ,  马银涛 ,  路舜 ,  郭举 ,  杨萍 ,  林启敬 ,  王建鲁 ,  张南 ,  蒋庄德

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。

公开(公告)号：CN117776091A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311833488.1

申请日：2023-12-27

Applicant: 西安交通大学 ,  明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司

Inventor： 赵立波 ,  路舜 ,  秦广照 ,  陈瑶 ,  王建鲁 ,  王延斌 ,  于明智 ,  马银涛 ,  郭举 ,  杨萍 ,  林启敬 ,  蒋庄德

IPC: B81B7/02 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明公开了一种集成抗弛豫OTS膜的MEMS碱金属气室结构及其制备方法，该气室结构采用玻璃‑高阻硅‑玻璃三层结构，高阻硅片上设有工作腔、辅助腔、连接通道以及碱金属通道，工作腔内表面制备有抗弛豫性能的OTS膜。辅助腔内填充碱金属后，高阻硅片与第一玻璃片键合在一起，之后再将第二玻璃片与高阻硅片键合，形成三层结构。结合OTS膜在无碱金属蒸汽作用时相比于有碱金属蒸汽作用时可耐更高温度的机制，在辅助腔中设计了隔膜结构，其作用是在第二次阳极键合时隔绝OTS膜和碱金属蒸汽，使得抗弛豫OTS膜与阳极键合温度兼容。本发明由于集成抗弛豫OTS膜、充入缓冲气体压力较低，从而减小了共振谱线的压力展宽，抑制了磁场梯度的影响，降低了泵浦光的功率。

公开(公告)号：CN116430072A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202211715305.1

申请日：2022-12-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 夏勇 ,  王延斌 ,  赵立波 ,  于明智 ,  卢德江 ,  贾琛 ,  韩香广 ,  李支康 ,  林启敬 ,  杨萍 ,  蒋庄德

IPC: G01P15/12 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法，子单元为一轴对称结构，第一支撑梁的一端与芯片外框连接，第一支撑梁的另一端与第一质量块一端的中部连接，第一质量块的另一端与第二质量块的一端之间通过第一敏感梁和第二敏感梁连接，第二质量块另一端的中部与第二支撑梁的一端连接，第二支撑梁的另一端与芯片外框连接；第一支撑梁和第二支撑梁关于子单元对称轴对称，第一质量块和第二质量块关于子单元对称轴对称，第一敏感梁和第二敏感梁关于第一支撑梁以及第二支撑梁的轴线对称。该芯片支撑梁和敏感梁通过质量块分离设置，极大弱化了灵敏度与谐振频率之间的直接耦合关系。

公开(公告)号：CN113740786A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111022979.9

申请日：2021-09-01

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵立波 ,  马银涛 ,  陈瑶 ,  乔智霞 ,  罗国希 ,  李伟 ,  于明智 ,  王延斌 ,  林启敬 ,  杨萍 ,  王久洪 ,  蒋庄德

IPC: G01R33/032

Abstract: 本发明公开了一种单光束SERF原子磁强计及碱金属原子密度测量方法，所述方法包括以下步骤：首先，将单光束SERF原子磁强计中心位置三个方向的磁场强度补偿到零，加热碱金属气室，使碱金属原子达到SERF态；然后沿一个敏感轴方向施加恒定的直流磁场，沿另一个敏感轴方向施加带调制的偏置磁场，连续变化且过零点的偏置磁场，记录磁强计的输出信号，会得到具有色散线型的磁场共振曲线，进而得到沿X轴方向上不同直流磁场下的磁场共振线宽大小；通过二次函数拟合得到磁场共振线宽与直流磁场大小的关系；最后利用二次函数的二次项系数计算得到碱金属原子密度，从而实现碱金属原子密度的原位测量。

公开(公告)号：CN114527414A

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202210143097.6

申请日：2022-02-16

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 陈瑶 ,  蒋庄德 ,  赵立波 ,  马银涛 ,  于明智 ,  王延斌 ,  郭举 ,  林启敬

IPC: G01R33/032 ,  A61B5/245

Abstract: 本发明公开了一种自动补偿外干扰磁场的生物磁测量原子磁强计系统及方法，所述系统通过超极化核自旋产生磁场，同时施加外界恒定磁场，恒定磁场的大小使得核自旋感受到和自己产生的磁场大小相等，此时核自旋可以自动跟踪补偿外界低频干扰磁场，保护电子自旋免于外界低频干扰磁场的侵扰，使电子自旋只敏感快速变化的极弱生物磁场，使得磁强计中的电子自旋只对高频的脑磁信号敏感，大幅提高原子磁强计进行脑磁测量的可用性，有效地解决当前脑磁测量中背景低频干扰磁场太大所导致的脑磁信号测量较差的问题，有望突破现有头部静态状态下的脑磁测量局限，使得脑磁可以在头部运动的状态下有效地进行测量。