公开(公告)号：CN116022723A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211604516.8

申请日：2022-12-13

Applicant: 西安交通大学 ,  明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 ,  山东明石微纳技术研究院

Inventor： 赵立波 ,  王延斌 ,  秦广照 ,  于明智 ,  陈瑶 ,  张赟 ,  马银涛 ,  路舜 ,  郭举 ,  杨萍 ,  林启敬 ,  王建鲁 ,  张南 ,  蒋庄德

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。

公开(公告)号：CN117776091A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311833488.1

申请日：2023-12-27

Applicant: 西安交通大学 ,  明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司

Inventor： 赵立波 ,  路舜 ,  秦广照 ,  陈瑶 ,  王建鲁 ,  王延斌 ,  于明智 ,  马银涛 ,  郭举 ,  杨萍 ,  林启敬 ,  蒋庄德

IPC: B81B7/02 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明公开了一种集成抗弛豫OTS膜的MEMS碱金属气室结构及其制备方法，该气室结构采用玻璃‑高阻硅‑玻璃三层结构，高阻硅片上设有工作腔、辅助腔、连接通道以及碱金属通道，工作腔内表面制备有抗弛豫性能的OTS膜。辅助腔内填充碱金属后，高阻硅片与第一玻璃片键合在一起，之后再将第二玻璃片与高阻硅片键合，形成三层结构。结合OTS膜在无碱金属蒸汽作用时相比于有碱金属蒸汽作用时可耐更高温度的机制，在辅助腔中设计了隔膜结构，其作用是在第二次阳极键合时隔绝OTS膜和碱金属蒸汽，使得抗弛豫OTS膜与阳极键合温度兼容。本发明由于集成抗弛豫OTS膜、充入缓冲气体压力较低，从而减小了共振谱线的压力展宽，抑制了磁场梯度的影响，降低了泵浦光的功率。