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公开(公告)号：CN114923973B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202210543984.2
申请日：2022-05-18
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/409 , C23C14/58 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/08 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种高原制氧机专用小尺寸氧分压型氧传感器及其制备方法，其中，该氧传感器的结构自上而下依次为：顶层多孔Pt电极、上层钇稳定氧化锆固体电解质、第二层多孔Pt电极、回字形致密Pt电极层、第三层多孔Pt电极、下层钇稳定氧化锆固体电解质、底层多孔Pt电极、绝缘层和加热电极。本发明提供的氧传感器以氧化锆固体电解质作为功能层，可以测量氧分压，并进一步换算获得氧浓度，进而可以实时监控环境下的氧分压和氧浓度；本发明采用磁控溅射工艺制备传感器，整个传感器的厚度可降低至2.1～47μm，从而可以降低功耗，改善加热的均匀性，最终保持氧的输运特性一致，进一步提升测氧精度。
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公开(公告)号：CN115166008B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202210804629.6
申请日：2022-07-08
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/417 , G01N27/406 , G01N27/407 , G01N27/409
Abstract: 本发明公开了一种氧分压式型氧传感器及其制备方法，属于氧传感器技术领域。该氧分压型氧传感器的结构从上至下依次为：加热电极、氧化铝绝缘层、第一固体电解质、铂环、第二固体电解质和氧化铝保护层，其中，第一固体电解质和第二固体电解质的上下两面均涂有铂浆，加热电极、感应电极、铂环和泵电极上各引出一根铂丝，整个氧传感器通过这四根铂丝与外界进行电气连接。本发明的有益之处在于：仅保留内部一个作为空腔结构的铂环，无需内置有机浆料后期排胶烧结成空腔，既降低了物料成本，又保证了空腔结构的稳定性，进而保证了氧传感器的灵敏度；印刷有加热电极，简化了加热方式，减少了后期加工难度，更加有利于有效元件小型化。
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公开(公告)号：CN115060778B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202210666483.3
申请日：2022-06-13
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种宽域型氧传感器及其制备方法，本发明在满足宽域型氧传感器正常工作的条件下，对宽域型氧传感器的结构进行了简化，将其中的氧储存电池和氧泵电池由传统的垂直排列改为水平间隔排列，改进后的宽域型氧传感器仅需要一层YSZ固体电解质(氧储存电池和氧泵电池共享一个YSZ固体电解质)，且各功能结构后续无需再进行二次加工成型，不仅降低了宽域型氧传感器的生产成本，更重要的是，在生产过程中有效保证了宽域型氧传感器高的批量一致性，进而可以提升宽域型氧传感器的检测质量和可靠性。
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公开(公告)号：CN114923973A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210543984.2
申请日：2022-05-18
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/409 , C23C14/58 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/08 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种高原制氧机专用小尺寸氧分压型氧传感器及其制备方法，其中，该氧传感器的结构自上而下依次为：顶层多孔Pt电极、上层钇稳定氧化锆固体电解质、第二层多孔Pt电极、回字形致密Pt电极层、第三层多孔Pt电极、下层钇稳定氧化锆固体电解质、底层多孔Pt电极、绝缘层和加热电极。本发明提供的氧传感器以氧化锆固体电解质作为功能层，可以测量氧分压，并进一步换算获得氧浓度，进而可以实时监控环境下的氧分压和氧浓度；本发明采用磁控溅射工艺制备传感器，整个传感器的厚度可降低至2.1～47μm，从而可以降低功耗，改善加热的均匀性，最终保持氧的输运特性一致，进一步提升测氧精度。
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公开(公告)号：CN114062464B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202111489395.2
申请日：2021-12-08
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/409 , G01N27/417 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/35
Abstract: 本发明涉及氧传感器技术领域，特别涉及一种小尺寸极限电流型氧化锆氧传感器芯体，自上而下依次包括多孔Pt电极阳极层、YSZ固体电解质层、多孔Pt电极阴极层、绝缘层和加热电极层，多孔Pt电极阳极层、多孔Pt电极阴极层和加热电极层均连接有导电丝。以此减少YSZ固体电解质层的层数，减少测氧时氧气的扩散路径，进而降低响应时间，使其快速响应。同时，还提供了相应的制造方法，采用该方法可以制造微米级尺寸芯体；芯体各功能层的总厚度在1.1μm‑24μm，很大程度上降低了芯体的厚度，进而在后续加热处理时可以降低功耗并改善加热不均匀性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114812642A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210470410.7
申请日：2022-04-28
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种密封效果好的塑封传感器，包括底座、安装壳、传感器本体、导线、密封套、套壳、密封机构、防松动机构、收纳机构，所述底座的上端固定连接有安装壳，所述安装壳的内部设置有传感器本体，所述传感器本体上设置有导线，所述导线的外部滑动套接有密封套，所述安装壳的外部滑动套接有套壳，所述套壳的内侧顶部固定连接有密封垫，所述密封垫与安装壳接触，所述底座和安装壳上共同设置有密封机构，所述安装壳上设置有防松动机构，所述底座的底部设置有收纳机构。本发明涉及一种密封效果好的塑封传感器，具有密封性好以及导线接头受到保护的特点。
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公开(公告)号：CN114062464A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111489395.2
申请日：2021-12-08
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/409 , G01N27/417 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/35
Abstract: 本发明涉及氧传感器技术领域，特别涉及一种小尺寸极限电流型氧化锆氧传感器芯体，自上而下依次包括多孔Pt电极阳极层、YSZ固体电解质层、多孔Pt电极阴极层、绝缘层和加热电极层，多孔Pt电极阳极层、多孔Pt电极阴极层和加热电极层均连接有导电丝。以此减少YSZ固体电解质层的层数，减少测氧时氧气的扩散路径，进而降低响应时间，使其快速响应。同时，还提供了相应的制造方法，采用该方法可以制造微米级尺寸芯体；芯体各功能层的总厚度在1.1μm‑24μm，很大程度上降低了芯体的厚度，进而在后续加热处理时可以降低功耗并改善加热不均匀性。
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公开(公告)号：CN117147013A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311111662.1
申请日：2023-08-31
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器，涉及压力传感器技术领域，该压力传感器包括陶瓷基板，所述陶瓷基板包括基板第一面和基板第二面，所述基板第一面上设有塑料壳体，所述塑料壳体与基板第一面形成腔体，所述腔体内对应的基板第一面上开设有通孔，所述通孔的上端设有压力芯片，所述基板第一面上还设有调理芯片与焊盘，所述焊盘分别与调理芯片和压力芯片连接，本发明选用氧化铝成分的烧结陶瓷板来制作电路板，减小了高、低温环境下陶瓷基板的形变，增强了电路板的介质兼容性以减小温漂的影响，陶瓷基板的电路设计简单，通过优化焊盘布局和芯片连接方式来简化结构，提高性能的稳定性，降低了压力传感器的生产成本，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN116223590A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310348822.8
申请日：2023-04-04
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/409 , G01N27/30
Abstract: 本发明公开了一种监测残氧浓度的浓差式氧传感器及其制备方法，其中，浓差式氧传感器的结构自上而下依次为：Al2O3基片、上层多孔Pt电极、钇稳定氧化锆固体电解质、下层多孔Pt电极、回字形致密钇稳定氧化锆层、Al2O3绝缘层和加热电极，其中，上层多孔Pt电极和下层多孔Pt电极上各连接有一根导电丝、加热电极上连接有两根导电丝，加热电极呈S形排布。本发明的有益之处在于：该浓差式氧传感器结构简化，加热均匀，能够在低氧环境中准确监测残氧浓度。
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公开(公告)号：CN115166008A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210804629.6
申请日：2022-07-08
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/417 , G01N27/406 , G01N27/407 , G01N27/409
Abstract: 本发明公开了一种氧分压式型氧传感器及其制备方法，属于氧传感器技术领域。该氧分压型氧传感器的结构从上至下依次为：加热电极、氧化铝绝缘层、第一固体电解质、铂环、第二固体电解质和氧化铝保护层，其中，第一固体电解质和第二固体电解质的上下两面均涂有铂浆，加热电极、感应电极、铂环和泵电极上各引出一根铂丝，整个氧传感器通过这四根铂丝与外界进行电气连接。本发明的有益之处在于：仅保留内部一个作为空腔结构的铂环，无需内置有机浆料后期排胶烧结成空腔，既降低了物料成本，又保证了空腔结构的稳定性，进而保证了氧传感器的灵敏度；印刷有加热电极，简化了加热方式，减少了后期加工难度，更加有利于有效元件小型化。
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