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公开(公告)号：CN118687377A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410187683.X
申请日：2024-02-20
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可减小工件的面内的温度的偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室，在内部具有对工件进行加热处理的加热区域；至少一个第一加热器，在所述腔室的内部设置于所述加热区域的上方及下方中的至少任一者，且沿第一方向延伸；以及至少一个第二加热器，在所述腔室的内部以沿和所述第一方向交叉的第二方向与所述第一加热器并排的方式存在，且比所述第一加热器短。所述第一加热器由单一或一对组构成，并且配置成在所述第一方向上对所述加热区域的中央区域及所述加热区域的周缘区域进行加热。所述第二加热器配置成在所述第一方向上对所述加热区域的所述周缘区域进行加热。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115722425B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202210878151.1
申请日：2022-07-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 黒泽雅彦
Abstract: 本发明提供一种可抑制工件的面内的温度分布产生偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室；第一加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第二加热器，并且与所述第一加热部相向；处理部，呈箱状，且在内部具有支撑工件的空间，并且装卸自如地设置于所述第一加热部与所述第二加热部之间；面板，设置于所述处理部的外部的所述第一加热部侧及所述处理部的外部的所述第二加热部侧中的至少任一者；喷嘴，向所述面板与所述处理部之间供给温度控制气体；以及阀，与所述喷嘴连接。
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公开(公告)号：CN115780171A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211077702.0
申请日：2022-09-05
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查的方法。实施方式的涂布装置利用从喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置包括：涂布头，对检查用介质喷出涂布液；液滴拍摄部，对从涂布头喷出的、检查用介质上的涂布液的液滴进行拍摄；以及控制装置，基于由液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对喷嘴施加的喷出电压的控制，液滴拍摄部包括：罩，覆盖由从涂布头的各喷嘴喷出至检查用介质上的涂布液所形成的液滴喷出区域；以及摄像机，设在罩的上方，能够经由罩来拍摄检查用介质上的液滴，罩与摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与检查用介质相对地移动。
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公开(公告)号：CN115722425A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210878151.1
申请日：2022-07-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 黒泽雅彦
Abstract: 本发明提供一种可抑制工件的面内的温度分布产生偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室；第一加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第二加热器，并且与所述第一加热部相向；处理部，呈箱状，且在内部具有支撑工件的空间，并且装卸自如地设置于所述第一加热部与所述第二加热部之间；面板，设置于所述处理部的外部的所述第一加热部侧及所述处理部的外部的所述第二加热部侧中的至少任一者；喷嘴，向所述面板与所述处理部之间供给温度控制气体；以及阀，与所述喷嘴连接。
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公开(公告)号：CN118268215A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202311543732.0
申请日：2022-07-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 黒泽雅彦
Abstract: 本发明提供一种可抑制工件的面内的温度分布产生偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室；第一加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述腔室的内部，且具有至少一个第二加热器，并且与所述第一加热部相向；处理部，呈箱状，且在内部具有支撑工件的空间，并且装卸自如地设置于所述第一加热部与所述第二加热部之间；面板，设置于所述处理部的外部的所述第一加热部侧及所述处理部的外部的所述第二加热部侧中的至少任一者；喷嘴，向所述面板与所述处理部之间供给温度控制气体；以及阀，与所述喷嘴连接。
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公开(公告)号：CN116546866A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202211708245.0
申请日：2022-12-29
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 黒泽雅彦
Abstract: 本发明提供一种有机膜形成装置，可相对于腔室容易地进行加热器的装卸。实施方式的有机膜形成装置是如下有机膜形成装置：可将包括基板、以及涂布于所述基板的上表面的包含有机材料与溶剂的溶液的工件在相对于大气压而减压的环境下进行加热。所述有机膜形成装置包括：腔室，可维持所述相对于大气压而减压的环境；第一排气部，可对所述腔室的内部进行排气；引导部，与支撑于所述腔室内的所述工件相向，具有呈筒状且沿单向延伸的形状结构，已开口的两侧的端部设于所述腔室的内部；支撑部，设于所述引导部的内部，具有沿轴向贯穿的第一孔；以及加热器，具有装卸自如地设于所述第一孔且沿所述引导部延伸的发热部。
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