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公开(公告)号：CN106243357A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610389823.7
申请日：2016-06-02
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
CPC classification number: G03F7/091 , C08G77/14 , C08G77/18 , C08G77/26 , C08G77/28 , C08G77/80 , C09D183/06 , C09D183/08 , G03F7/0752 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/32
Abstract: 提供包含一或多种含硅聚合物的可湿式剥去的抗反射组合物，所述含硅聚合物不含作为聚合单元的Q单体和氢化硅烷。这些组合物适用于制造多种电子装置。
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公开(公告)号：CN107797380A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710741024.6
申请日：2017-08-24
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: G03F7/00 , C08G77/20 , C08F220/28 , C08F220/18 , C08F220/14 , C08F234/00
CPC classification number: G03F7/11 , C08F20/10 , C08F20/14 , C08F20/28 , C08F20/32 , C08F24/00 , C08F220/14 , C08F220/20 , C08F220/24 , C08F222/06 , C08F222/40 , C08F230/08 , C08F2220/1825 , C08F2220/1858 , C08F2220/1891 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C08F2220/325 , C08F2800/10 , C08G67/00 , C08G73/128 , C08G77/04 , C08G77/20 , C08G77/80 , C09D5/20 , C09D183/04 , G03F7/0752 , G03F7/161 , G03F7/20 , G03F7/30 , G03F7/422 , G03F7/423 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0035 , C08F2220/281 , C08F234/00
Abstract: 本发明提供包含一种或多种包含含Si-O键的主链的含硅聚合物、一种或多种有机掺合物聚合物和固化催化剂的可湿剥离底层组合物。这些组合物适用于制造各种电子装置。
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公开(公告)号：CN106243357B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201610389823.7
申请日：2016-06-02
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
CPC classification number: G03F7/091 , C08G77/14 , C08G77/18 , C08G77/26 , C08G77/28 , C08G77/80 , C09D183/06 , C09D183/08 , G03F7/0752 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/32
Abstract: 提供包含一或多种含硅聚合物的可湿式剥去的抗反射组合物，所述含硅聚合物不含作为聚合单元的Q单体和氢化硅烷。这些组合物适用于制造多种电子装置。
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公开(公告)号：CN107797386A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710744762.6
申请日：2017-08-25
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: G03F7/16 , G03F7/20 , C09D183/07 , C09D133/10 , C09D133/12 , C09D133/14 , C09D125/18
Abstract: 本发明提供包含一种或多种包含含Si-O键的主链的含硅聚合物、一种或多种有机掺合物聚合物和固化催化剂的可湿剥离底层组合物。这些组合物适用于制造多种电子装置。
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