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公开(公告)号：CN109843787B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201780064777.6
申请日：2017-09-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： R·施特劳布 , A·芬恩 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , J·穆霍 , H·格鲁茨埃克
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，具有夹持装置(10)，借助至少一个线圈支架(12)保持的并且包括由至少一种导电材料制成的印制导线(22)的至少一个线圈绕组(14)，其中，所述至少一个线圈绕组(14)的至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，和能变换位置的部件(16)，其中，所述至少一个线圈支架(12)和所述能变换位置的部件(16)相互连接并且通过至少一个弹簧元件(18)与所述夹持装置(10)连接，使得所述能变换位置的部件(16)相对于所述夹持装置(10)围绕至少一个旋转轴线(20)能变换位置，并且其中，所述至少一个线圈绕组(14)的所述至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上，而同一所述线圈绕组(14)的至少一个第二部分区段(14b)作为悬置的部分区段(14b)跨越在配属的线圈支架(12)中构造的至少一个中间空隙(24)。
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公开(公告)号：CN109799606A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201811365018.6
申请日：2018-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号：CN104843634B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510079465.5
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于通过以下方式结构化由两个半导体层与位于两个半导体层之间的绝缘层和/或蚀刻停止层组成的层结构的方法：在两个半导体层中的第一半导体层的第一侧上构造第一蚀刻掩膜；实施从第一外侧出发的用于结构化第一半导体层的第一蚀刻步骤，在两个半导体层中的第二半导体层的第二侧上构造第二蚀刻掩膜；实施从第二外侧出发的用于结构化第二半导体层的第二蚀刻步骤，其中，在实施第一蚀刻步骤之后并且在实施第二蚀刻步骤之前，在至少一个在第一蚀刻步骤中蚀刻的第一沟槽的至少一个沟槽壁上沉积至少一种蚀刻保护材料。本发明同样涉及一种用于微机械部件的制造方法。此外，本发明涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号：CN107835788A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680041349.7
申请日：2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00103 , B81B7/0058 , B81B2201/042 , B81B2203/0384 , B81C1/00317 , B81C2201/0133 , B81C2201/0143 , B81C2201/0154 , B81C2203/0136 , G02B1/14 , G02B26/0833
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械窗结构的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：提供衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)；在所述正面(4)上形成第一凹部(6)；在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8；8‘、8“)；并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7)，使得所述覆层(8)至少局部地露出，由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。
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公开(公告)号：CN104843629A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079599.7
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i，26-i)电接通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111629991B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201880086088.X
申请日：2018-11-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种内插器衬底、一种MEMS设备以及一种相应的制造方法。内插器衬底(1)配备有前侧(VS)和后侧(RS)；从所述后侧(RS)出发的腔(K1a；K1b)，该腔延伸直至第一深度(t1)；贯通开口(V)；和布置在所述腔(K1a；K1b)和所述贯通开口(V)之间的沉降区域(ST1；ST2)，所述沉降区域从所述后侧(RS)出发相对于所述后侧(RS)沉降直至第二深度(t2)；其中，所述第一深度(t1)大于所述第二深度(t2)。
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公开(公告)号：CN106030374B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580008827.X
申请日：2015-01-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： R·施特劳布 , K·德塞尔 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , H·格鲁茨埃克 , Z·莱什詹 , J·巴德尔 , J·穆霍 , F·沙茨 , S·安布鲁斯特 , S·莱迪克 , J·佛伦茨
Abstract: 本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
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公开(公告)号：CN104418293B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201410426178.2
申请日：2014-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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公开(公告)号：CN103787265B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310756891.9
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种机械部件，所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b)，所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接，其中，所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b)，所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和／或中的第一电阻，所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和／或中的第二电阻，其中，所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b)，其中，所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。
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公开(公告)号：CN106458576A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580030617.0
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C3/00
CPC classification number: B81C1/00801 , B81B7/0025 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81C3/001 , B81C2201/014 , B81C2203/0145 , G02B26/0833
Abstract: 一种微机械层组件(100)，其具有：-至少两个彼此无关地构造的机械的活性的功能层(10、20)，所述功能层(10、20)垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。
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