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公开(公告)号：CN111183112B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201880062686.3
申请日：2018-09-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。
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公开(公告)号：CN112689784B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201980059926.9
申请日：2019-08-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。
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公开(公告)号：CN116391116A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202180074512.0
申请日：2021-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01L3/10
Abstract: 本发明涉及一种磁致弹性扭矩传感器(10)，其具有分析处理单元(6)和至少三个磁场传感器。所述分析处理单元(6)设置为用于：检测所述磁致弹性扭矩传感器(10)的第一磁场传感器(1)的至少一个测量信号、第二磁场传感器(2)的至少一个测量信号和第三磁场传感器(3)的至少一个第三测量信号，并且，借助所述第一磁场传感器的所述至少一个测量信号、所述第二磁场传感器的所述至少一个测量信号、所述第四磁场传感器的所述至少一个测量信号、以及在所述第二磁场传感器(2)和所述第三磁场传感器(3)之间在所述轴向方向(111)上的距离(23)与在所述第一磁场传感器(1)和所述第二磁场传感器(2)之间在所述轴向方向(111)上的距离(12)的比值来确定施加到所述轴(5)上的扭矩。本发明还涉及一种用于在使用此类磁致弹性扭矩传感器(10)的情况下确定扭矩的方法。
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公开(公告)号：CN115428158A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029849.X
申请日：2021-03-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L27/20 , H01L41/311 , B81B7/02
Abstract: 提出一种用于制造微电子设备(10)、尤其是MEMS芯片设备的方法，所述微电子设备具有至少一个载体衬底(12)，其中，在至少一个方法步骤中，将由金属导体制成的至少一个电动力学致动器(14)施加到所述载体衬底(12)上，所述金属导体至少大部分由铜构造，其中，在至少一个另外的方法步骤中，将至少一个压电致动器(16)施加到所述载体衬底(12)上。
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公开(公告)号：CN114286971A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202080058729.8
申请日：2020-07-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G05D25/02
Abstract: 本发明涉及一种用于操控二维微型扫描仪设备的至少一个偏转单元(25)的、尤其是微镜的至少一个驱动单元(30)的方法。在此，首先借助至少一个计算单元(10)产生用于操控偏转单元(25)的驱动单元(30)的第一控制信号(11)和第二控制信号(12)。接着将第一控制信号(11)和第二控制信号(12)从计算单元(10)传递(120)到驱动单元(30。随后在第一时间点根据所传递的控制信号(11，12)执行偏转单元(25)的围绕第一轴的正弦形的第一运动和偏转单元(25)的围绕第二轴的正弦形的第二运动。然后以这样的方式匹配从计算单元(25)传递到驱动单元(30)的第一控制信号(11)，使得在第一时间点之后的第二时间点将周期性的第三运动叠加在第一运动上。替代地，以这样的方式匹配从计算单元(25)传递到驱动单元(30)的第二控制信号(12)，使得在第一时间点之后的第二时间点将周期性的第四运动叠加在第二运动上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102570766A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110404045.1
申请日：2011-12-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B26/085 , G02B26/105 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 本发明涉及一种具有板(3)和磁体弓形件的磁性致动器，板绕至少一个第一旋转轴线(4)可旋转地被支承，磁体弓形件设置在板(3)下方，其中，板(3)具有主延伸平面，旋转轴线(4)平行于主延伸平面，板(3)平行于主延伸平面具有至少一个导体回线(10，10a，10b)，磁体弓形件具有U形的、传导磁通的轨(1)和硬磁体(2)，硬磁体的磁化垂直于U形开口，磁体弓形件和板(3)相互对齐，使得磁体弓形件的开口指向板(3)的主延伸平面，U形的、传导磁通的轨(1)具有平行于第一旋转轴线(4)的主延伸方向，板(3)通过对至少一个导体回线(10，10a，10b)的通电能绕至少一个旋转轴线(4)偏转。本发明此外涉及一种具有这样的磁性致动器的微镜以及一种具有至少一个这样的微镜的双镜系统。
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公开(公告)号：CN101750182A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910246376.X
申请日：2009-11-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01L9/16
CPC classification number: G01L9/0004 , G01L9/16
Abstract: 本发明涉及一种传感器装置，其具有用于测量由流体引起的压力的至少部分地磁弹性的变形元件、通过磁通反馈装置构成的磁路、传感器单元和分析单元。传感器单元定位在变形元件上，分析单元借助分析线圈在构造上分离地、电感地与传感器单元耦合。传感器单元具有定位在变形元件上的传感器线圈，分析单元具有与传感器线圈电感耦合的分析线圈。传感器线圈与自身寄生电容或附加电容构成振荡回路，通过分析线圈以自由谐振借助强的或弱的电感耦合通过包围两个线圈的磁路激励振荡回路。替代地，传感器单元和分析单元借助磁通反馈装置通过磁路耦合，分析线圈绕固定或可安装的磁通反馈装置缠绕，其中可确定由变形元件的压力加载引起的导磁率变化及分析线圈的电感变化。
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公开(公告)号：CN115735148A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202180046535.0
申请日：2021-05-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 提出一种微机械设备(1a)、尤其是微镜设备，该微机械设备具有至少一个第一微机械部件(2a)和第二微机械部件(3a)。第一部件(2a)和第二部件(3a)直接地或者间接地相互连接。第一微机械部件(2a)具有第一子主体(4a)和至少一个第二子主体(5a)。第一子主体(4a)在第一平面(20a)中伸展，第二子主体(5a)在第二平面(21a)中伸展，所述第二平面与第一平面(20a)不同。第一平面(20a)和第二平面(21a)彼此平行地伸展，并且第一平面(20a)在第二平面(21a)上方伸展。在此，第二子主体(5a)布置在到第二微机械部件(3a)的过渡区域中。第二子主体(5a)在纵向方向上的第二延展尺度(26a)大于第一子主体(4a)在纵向方向上的第一延展尺度(25a)。
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公开(公告)号：CN111183112A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201880062686.3
申请日：2018-09-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。
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公开(公告)号：CN106030327B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201480076280.2
申请日：2014-12-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种传感器装置，其具有：布置在至少一个承载面(16)上的至少一个磁芯(10)，所述至少一个磁芯包括至少一种软磁材料(12)，并且对于所述至少一个磁芯(10)能够分别限定一个中间纵向平面(18)，所述中间纵向平面垂直于所述承载面(16)地定向并且将相应的磁芯(10)分为具有相同质量的两个半部，其中，在所述至少一个磁芯(10)上、环绕所述至少一个磁芯(10)和/或与所述至少一个磁芯(10)相邻地布置有至少一个线圈，其中，所述至少一个磁芯(10)在其内部具有部分区域，借助于所述部分区域能够有针对性地局部控制相应磁芯(10)再磁化的开始，其方式是，提高为了使磁畴壁传播而要施加的驱动能量。同样，本发明涉及一种用于具有至少一个磁芯(10)的传感器装置的制造方法。此外，本发明涉及一种用于求取沿至少一个空间方向的磁场的场强的方法。
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