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公开(公告)号：CN117396281A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280038385.3
申请日：2022-04-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明涉及一种用于制造微电子机械振动系统、尤其是压电微加工超声换能器(20a)的方法。在此，首先提供具有第一表面(3)的载体衬底(1)，并且接下来将第一钝化层(7)施加到所述第一载体衬底(1)的第一表面(3)上。接下来，第一多晶硅层(7)生长到所述第一钝化层(2)和/或所述第一载体衬底(1)的第一表面(3)上，并且接下来将第二钝化层(5)施加到所述第一多晶硅层(7)的第二表面(6)上。随后，第二多晶硅层(11)生长到所述第一多晶硅层(7)和/或所述第二钝化层(5)上。接下来，将微电子机械振动系统的换能器元件(10)施加到所述第二多晶硅层(11)的第三表面(8)上。此外，完全穿过所述载体衬底(1)并且穿过所述第一多晶硅层(7)在朝着所述换能器元件(10)的方向上产生所述第一槽(14)。在此，所述第一槽(14)延伸直至所述第二钝化层(5)，使得与所述第一槽(14)邻接地借助所述第二多晶硅层(11)产生所述微电子机械振动系统的能够振动的换能器板(19)。
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公开(公告)号：CN110997555B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201880051381.2
申请日：2018-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2)；罩衬底(2a)，其中，在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3)；其中，所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a)；其中，所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖，使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径；并且，其中，在所述沟槽(3)的区域中在所述基础衬底(2)和所述罩衬底(2a)之间构造有封闭介质、尤其是密封玻璃封闭部(5)。
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公开(公告)号：CN104678551B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201410708648.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
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公开(公告)号：CN106461936A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580031689.7
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B26/085 , B81B3/004 , B81B3/0051 , B81B2201/042 , G02B26/105 , H04N9/312 , B81B2201/04
Abstract: 本发明公开了一种微镜组件，所述微镜组件具有弹性悬挂的镜；具有至少一个止挡装置，该止挡装置构造成用于在所述镜从该镜的静止位置出发沿预给定方向运动时限制所述镜的运动。此外，本发明公开了一种投影装置。
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公开(公告)号：CN104418293A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410426178.2
申请日：2014-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/0019 , B81B2201/042 , B81C99/005
Abstract: 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22-25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104843634B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510079465.5
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于通过以下方式结构化由两个半导体层与位于两个半导体层之间的绝缘层和/或蚀刻停止层组成的层结构的方法：在两个半导体层中的第一半导体层的第一侧上构造第一蚀刻掩膜；实施从第一外侧出发的用于结构化第一半导体层的第一蚀刻步骤，在两个半导体层中的第二半导体层的第二侧上构造第二蚀刻掩膜；实施从第二外侧出发的用于结构化第二半导体层的第二蚀刻步骤，其中，在实施第一蚀刻步骤之后并且在实施第二蚀刻步骤之前，在至少一个在第一蚀刻步骤中蚀刻的第一沟槽的至少一个沟槽壁上沉积至少一种蚀刻保护材料。本发明同样涉及一种用于微机械部件的制造方法。此外，本发明涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号：CN104843629A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079599.7
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i，26-i)电接通。
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公开(公告)号：CN114721142A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210005227.X
申请日：2022-01-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械振动系统(6a)，该微机械振动系统包括带有至少一个微镜(4)的微机械振动体。该微机械振动系统(6a)附加地包括具有线圈体(30a、30b)和至少一个磁铁(50a、50b)的电磁驱动单元。所述线圈体(30a、30b)相对于所述微镜(4)基本上在侧面延伸。所述至少一个磁铁(50a、50b)在所述线圈体(30a、30b)下方延伸。本发明还涉及一种所述微机械振动系统(6a)的微投影设备(220)。
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公开(公告)号：CN106030374B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580008827.X
申请日：2015-01-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： R·施特劳布 , K·德塞尔 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , H·格鲁茨埃克 , Z·莱什詹 , J·巴德尔 , J·穆霍 , F·沙茨 , S·安布鲁斯特 , S·莱迪克 , J·佛伦茨
Abstract: 本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
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公开(公告)号：CN104418293B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201410426178.2
申请日：2014-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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