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公开(公告)号:CN109799606A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201811365018.6
申请日:2018-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a,14b),其中,所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a,14b)这样与所述保持装置(12)连接,使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整,其中,所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上,并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外,本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号:CN104843629A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201510079599.7
申请日:2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括:密封封闭的壳体(10);第一功能构件(12),所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内;经结构化的第一导电层(14),所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内;和经结构化的第二导电层(24),其中,所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通,并且,其中,所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i,26-i)电接通。
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公开(公告)号:CN104678551A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410708648.4
申请日:2014-11-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10),所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14),其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a,18b),其中如此成型所述背侧(14),使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接,所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20),其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外,本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
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公开(公告)号:CN103787265A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201310756891.9
申请日:2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/008 , B81B2203/0109 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , G02B26/0858 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种机械部件,所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b),所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接,其中,所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b),所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和/或中的第一电阻,所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和/或中的第二电阻,其中,所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b),其中,所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。
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公开(公告)号:CN118671961A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202410318213.2
申请日:2024-03-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 提出一种微镜设备100,该微镜设备包括:罩105和功能层110,所述功能层在所述罩105的上方布置在主延伸平面5中,微镜115和框架结构120从所述功能层中结构化出来,所述框架结构包围所述微镜115,布置在所述功能层110的上方的窗口层125,其中,在包围微镜115的框架结构120上布置有至少一个第一止挡结构130,所述第一止挡结构构造为用于在垂直于所述主延伸平面15的方向上限制微镜115的偏移,并且其中,所述第一止挡结构139包括止挡元件135和在两侧与所述止挡元件135邻接的至少部分弧形的几何结构140,以便在所述微镜115撞击到所述第一止挡结构130上时限制机械应力峰值。
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公开(公告)号:CN109799606B
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN201811365018.6
申请日:2018-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a,14b),其中,所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a,14b)这样与所述保持装置(12)连接,使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整,其中,所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上,并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外,本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号:CN104678551B
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201410708648.4
申请日:2014-11-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10),所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14),其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a,18b),其中如此成型所述背侧(14),使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接,所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20),其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外,本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
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公开(公告)号:CN104418293A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201410426178.2
申请日:2014-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/0019 , B81B2201/042 , B81C99/005
Abstract: 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括:至少一个第一区域(1),所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接;一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R;R1;R″;R″';R1、R2、R0),所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b;2a'、2a″、2b'、2b″;22-25)损坏时至少部分被中断;一检测装置(50;50'),所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接,用于检测所述电阻装置(R;R1;R″;R″';R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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公开(公告)号:CN118289699A
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202410012124.5
申请日:2024-01-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,具有尤其固定的第一保持装置;第二保持装置;第一弹簧和第二弹簧,用于将第二保持装置悬挂在第一保持装置上。能调节地布置在第二保持装置上的可调节件;第一弯曲促动器和用于第一弯曲促动器的第一承载结构。第一弯曲促动器构造为用于至少在布置在第一承载结构中或上的第一弯曲促动器的区域中这样地弯曲,使得可调节件能够相对于第一保持装置和第二保持装置绕着第一旋转轴线偏移。第二弯曲促动器和用于第二弯曲促动器的第二承载结构。第二弯曲促动器构造为用于至少在布置在第二承载结构中或上的第二弯曲促动器的区域中这样地弯曲,使得可调节件能够相对于第一保持装置和第二保持装置绕着第一旋转轴线偏移。
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公开(公告)号:CN114721142A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202210005227.X
申请日:2022-01-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械振动系统(6a),该微机械振动系统包括带有至少一个微镜(4)的微机械振动体。该微机械振动系统(6a)附加地包括具有线圈体(30a、30b)和至少一个磁铁(50a、50b)的电磁驱动单元。所述线圈体(30a、30b)相对于所述微镜(4)基本上在侧面延伸。所述至少一个磁铁(50a、50b)在所述线圈体(30a、30b)下方延伸。本发明还涉及一种所述微机械振动系统(6a)的微投影设备(220)。
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