微镜设备
    5.
    发明公开
    微镜设备 审中-公开

    公开(公告)号:CN118671961A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410318213.2

    申请日:2024-03-20

    Abstract: 提出一种微镜设备100,该微镜设备包括:罩105和功能层110,所述功能层在所述罩105的上方布置在主延伸平面5中,微镜115和框架结构120从所述功能层中结构化出来,所述框架结构包围所述微镜115,布置在所述功能层110的上方的窗口层125,其中,在包围微镜115的框架结构120上布置有至少一个第一止挡结构130,所述第一止挡结构构造为用于在垂直于所述主延伸平面15的方向上限制微镜115的偏移,并且其中,所述第一止挡结构139包括止挡元件135和在两侧与所述止挡元件135邻接的至少部分弧形的几何结构140,以便在所述微镜115撞击到所述第一止挡结构130上时限制机械应力峰值。

    微机械构件
    9.
    发明公开
    微机械构件 审中-公开

    公开(公告)号:CN118289699A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202410012124.5

    申请日:2024-01-04

    Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,具有尤其固定的第一保持装置;第二保持装置;第一弹簧和第二弹簧,用于将第二保持装置悬挂在第一保持装置上。能调节地布置在第二保持装置上的可调节件;第一弯曲促动器和用于第一弯曲促动器的第一承载结构。第一弯曲促动器构造为用于至少在布置在第一承载结构中或上的第一弯曲促动器的区域中这样地弯曲,使得可调节件能够相对于第一保持装置和第二保持装置绕着第一旋转轴线偏移。第二弯曲促动器和用于第二弯曲促动器的第二承载结构。第二弯曲促动器构造为用于至少在布置在第二承载结构中或上的第二弯曲促动器的区域中这样地弯曲,使得可调节件能够相对于第一保持装置和第二保持装置绕着第一旋转轴线偏移。

    微机械振动系统
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114721142A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202210005227.X

    申请日:2022-01-05

    Abstract: 本发明涉及一种微机械振动系统(6a),该微机械振动系统包括带有至少一个微镜(4)的微机械振动体。该微机械振动系统(6a)附加地包括具有线圈体(30a、30b)和至少一个磁铁(50a、50b)的电磁驱动单元。所述线圈体(30a、30b)相对于所述微镜(4)基本上在侧面延伸。所述至少一个磁铁(50a、50b)在所述线圈体(30a、30b)下方延伸。本发明还涉及一种所述微机械振动系统(6a)的微投影设备(220)。

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