公开(公告)号：CN108807122B

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201810383774.5

申请日：2018-04-26

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： H·梅里克延 ,  O·噶尔斯特延 ,  李贞焕 ,  安宗奂 ,  南信祐

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 所公开的发明为供电装置和包括该供电装置的基板处理装置。所述供电装置包括高频电源，其提供高频功率；等离子体源，其包括通过使用所述高频功率产生等离子体的第一天线和第二天线；以及功率分配器，其连接在所述高频电源和所述等离子体源之间，用于分配供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率。所述功率分配器包括第一可变器件，其控制供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率；以及第二可变器件，其对供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率的非线性进行补偿。

公开(公告)号：CN108807122A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810383774.5

申请日：2018-04-26

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： H·梅里克延 ,  O·噶尔斯特延 ,  李贞焕 ,  安宗奂 ,  南信祐

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/321 ,  H03H7/40 ,  H01J37/32798 ,  H01J37/32431 ,  H01L21/67011

Abstract: 所公开的发明为供电装置和包括该供电装置的基板处理装置。所述供电装置包括高频电源，其提供高频功率；等离子体源，其包括通过使用所述高频功率产生等离子体的第一天线和第二天线；以及功率分配器，其连接在所述高频电源和所述等离子体源之间，用于分配供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率。所述功率分配器包括第一可变器件，其控制供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率；以及第二可变器件，其对供应给所述第一天线和所述第二天线的所述高频功率的非线性进行补偿。