公开(公告)号：CN116364639A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202210454974.1

申请日：2022-04-27

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金局生 ,  崔峻赫 ,  郑完熙 ,  林度延

IPC: H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种升降销组件及高度调整方法及、基板支承单元及处理装置。升降销组件包括：多个升降销，上端与基板接触而支承所述基板；以及销驱动部，结合于所述多个升降销而使所述多个升降销升降，所述销驱动部包括在所述各个升降销的下方各提供一个的多个压电马达。

公开(公告)号：CN115483141A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202210672231.1

申请日：2022-06-14

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 林度延 ,  郑然赫 ,  金应锡 ,  郑炳浩

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60

Abstract: 本发明构思提供了一种引导单元、传送组件和包括引导单元和传送组件的管芯键合装置。具体的，该传送组件包括：用于取出储存在盒处的传送对象、且在第一方向上传送至目标位置的传送机械手；以及设置有用于传送该传送对象的传送通道的引导单元，并且其中，引导单元包括：设置为使其纵向方向在第一方向上的第一引导构件；以及设置为使其纵向方向在第一方向上、且在垂直于第一方向的第二方向上与第一引导构件间隔开的第二引导构件，在第一引导构件与第二引导构件之间限定传送通道，并且其中，第一引导构件的至少一部分为可移动的，使得传送通道的宽度通过第一引导构件的至少一部分的移动为可改变的。

公开(公告)号：CN116403933A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202210445480.7

申请日：2022-04-26

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 林度延 ,  金局生 ,  郑完熙

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的实施例的目的在于提供一种能够均匀地扩张裸片之间间隔的晶圆扩张机以及具备其的裸片供应模组及裸片绑定设备。根据本发明的晶圆扩张机用于支承粘接有多个裸片的划片带，并扩张所述多个裸片之间间隔，所述晶圆扩张机包括：扩张圈，构成为固定结合于固定所述划片带的边缘的晶圆圈，并能够升降；以及底座圈，构成为支承所述划片带的下部，并至少一部分区间能够升降。

公开(公告)号：CN107993959A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201711014536.9

申请日：2017-10-26

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 林度延 ,  元俊皓 ,  严基象 ,  金鹏 ,  朴舟楫

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B5/04 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明构思的实施例涉及一种用于在高压气体中处理基板的装置。该装置包括：工艺腔室，该工艺腔室具有上主体和下主体，上主体和下主体彼此组合以在其中提供处理空间；升降构件，该升降构件配置成将上主体和下主体中的任一个升降到打开位置或关闭位置，在打开位置将上主体从下主体分隔开或将下主体从上主体分隔开，在关闭位置将上主体贴合到下主体或将下主体贴合到上主体；夹紧构件，该夹紧构件配置成夹紧位于关闭位置的上主体和下主体；和可动构件，该可动构件配置成将夹紧构件移动到锁定位置或者释放位置，在锁定位置所述夹紧构件夹紧工艺腔室，在释放位置所述夹紧构件与工艺腔室分隔开。

公开(公告)号：CN112992726B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202011458403.2

申请日：2020-12-11

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 高定奭 ,  李在晟 ,  林度延 ,  金局生 ,  郑暎大 ,  金泰信 ,  李智暎 ,  金源根 ,  郑智训 ,  金光燮 ,  许弼覠 ,  史允基 ,  延蕊林 ,  尹铉 ,  金度延 ,  徐溶晙 ,  金昺槿 ,  严永堤

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明公开了用于蚀刻薄层的方法和设备，所述薄层包括形成在基板上的氮化硅。在所述基板上供应包括磷酸和水的蚀刻剂，使得在所述基板上形成液层。通过在所述薄层和所述蚀刻剂的反应来蚀刻所述薄层。测量所述液层的厚度，以在蚀刻所述薄层的同时检测所述液层的所述厚度的变化。基于所述液层的所述厚度的所述变化来计算所述磷酸和所述水的浓度的变化。基于所述磷酸和所述水的所述浓度的所述变化在所述基板上供应水，使得所述磷酸和所述水的所述浓度变为预定值。

公开(公告)号：CN116936448A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310383088.9

申请日：2023-04-11

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 郑载勳 ,  申哲榕 ,  郑完熙 ,  林度延

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 一种支承结构，包括：支承板，其支承基板；下盖，其覆盖所述支承板的下部；以及扣接单元，其包括具有彼此对应的部分的凹凸结构，使得所述支承板和所述下盖旋转且彼此组装。

公开(公告)号：CN116864412A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202210315991.7

申请日：2022-03-28

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 高定奭 ,  金局生 ,  林度延 ,  郑完熙

IPC: H01L21/67 ,  B01D36/00

Abstract: 本发明提供一种液体供应单元和液体供应方法。该液体供应单元包括：喷嘴；液体供应管，该液体供应管用于向喷嘴供应处理液；杂质去除单元，该杂质去除单元安装在液体供应管中以去除处理液中的杂质，其中杂质去除单元包括：测量单元，该测量单元用于测量处理液中杂质的特性并形成杂质数据；振动单元，该振动单元用于对处理液施加振动；捕获单元，该捕获单元配置为吸附被施加振动的处理液中的杂质；以及控制单元，该控制单元用于控制测量单元和振动单元，以及当杂质数据超过参考数据范围时，控制单元运行振动单元。

公开(公告)号：CN116409636A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202211157720.X

申请日：2022-09-22

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 郑完熙 ,  金局生 ,  林度延 ,  明鲁勋

IPC: B65G54/02 ,  B65G43/00

Abstract: 本发明的实施例的目的在于提供能够在制造工厂中实现高速化以及低振动化的物品搬运车辆、轨道结构体以及包括其的物品搬运系统。根据本发明的一种物品搬运车辆在制造工厂中，在制造设备之间传送物品，所述物品搬运车辆包括：框架部件，提供用于容纳所述物品的空间；主体部件，在所述框架部件的上方以能够旋转的方式结合；磁浮致动器，配置于所述主体部件，并通过对配置于所述物品搬运车辆的两侧的侧导轨部件产生牵引力而控制对所述侧导轨部件的间距；以及磁悬浮线圈部件，通过与设置于所述侧导轨部件的上方的磁悬浮磁铁部件的相互作用而产生驱动力。

公开(公告)号：CN116280976A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211435510.2

申请日：2022-11-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 林度延 ,  金局生 ,  郑完熙

IPC: B65G35/06 ,  B65G47/90 ,  B65G47/69

Abstract: 本发明构思提供了一种传送设备。所述传送设备包括传送车；以及缓冲器装置，所述缓冲器装置安置在所述传送车的前部部件和后部部件中的任一者处，并且其中所述缓冲器装置包括：缓冲器，所述缓冲器设置成与所述传送车间隔开；以及冲击衰减单元，所述冲击衰减单元设置在所述缓冲器与所述传送车之间并且被配置为通过摩擦力衰减从所述缓冲器传递到所述传送车的冲击力。

公开(公告)号：CN115385029A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202110564246.1

申请日：2021-05-24

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 明鲁勋 ,  林度延 ,  郑完熙 ,  柳海容 ,  李始映

IPC: B65G35/00 ,  B65G41/00

Abstract: 本发明提供一种输送单元。所述输送单元用于输送容纳有物品的容器并在轨道上行进，所述输送单元包括：具有驱动器的主体；以及联接至所述主体并在所述轨道上行进的轮组件，所述轮组件包括：轴承；以及围绕所述轴承的轮毂，并且所述轮毂可以具有缓冲结构。