公开(公告)号：CN116053180A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202210984798.2

申请日：2022-08-17

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金锺浩 ,  李斗熙 ,  柳海容

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本申请提供一种基板测试装置，该基板测试装置通过添加能够沿垂直方向推动或拉动基板的垂直力测量部，能够测量可靠性高的脱附力。该装置包括：静电卡盘，其支承基板；垂直力测量部，布置在静电卡盘上，并沿垂直方向推动或拉动基板；静电卡盘电力施加部，向静电卡盘施加驱动电压和第一接地电压；以及基板电力施加部，向基板施加第二接地电压，其中，通过向静电卡盘施加驱动电压以及向基板施加第二接地电压，基板被充电(charging)；然后，通过向静电卡盘施加第一接地电压以及向基板施加第二接地电压，基板被放电(discharging)；之后，通过垂直力测量部在垂直方向上拉动基板来测量基板的脱附力(dechucking force)。

公开(公告)号：CN115385029A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202110564246.1

申请日：2021-05-24

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 明鲁勋 ,  林度延 ,  郑完熙 ,  柳海容 ,  李始映

IPC: B65G35/00 ,  B65G41/00

Abstract: 本发明提供一种输送单元。所述输送单元用于输送容纳有物品的容器并在轨道上行进，所述输送单元包括：具有驱动器的主体；以及联接至所述主体并在所述轨道上行进的轮组件，所述轮组件包括：轴承；以及围绕所述轴承的轮毂，并且所述轮毂可以具有缓冲结构。