薄膜晶体管、显示装置以及电子单元

    公开(公告)号:CN102214698A

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN201110082455.9

    申请日:2011-04-01

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/517

    Abstract: 本发明提供了薄膜晶体管、显示装置以及电子单元,该薄膜晶体管使用用于沟道的氧化物半导体,其可以被控制为使得阈值电压为正并且可以改善可靠性。该薄膜晶体管包括:栅电极;一对源电极/漏电极;氧化物半导体层,形成沟道并设置在栅电极和一对源电极/漏电极之间;作为栅极绝缘膜的第一绝缘膜,设置在氧化物半导体层上靠近栅电极的一侧;以及第二绝缘膜,设置在氧化物半导体层上靠近一对源电极/漏电极的一侧,其中,第一绝缘膜和第二绝缘膜中的一个或两个包含膜密度为2.70g/cm3以上且小于2.79g/cm3的氧化铝。

    薄膜晶体管、显示装置以及电子装置

    公开(公告)号:CN102082180A

    公开(公告)日:2011-06-01

    申请号:CN201010553213.9

    申请日:2010-11-22

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/4908 H01L29/78606

    Abstract: 本发明公开了薄膜晶体管、显示装置以及电子装置。该薄膜晶体管使用氧化物半导体作为沟道,将阈值电压朝正方向控制,并且提高了可靠性。该薄膜晶体管包括:栅极电极;一对源极/漏极电极;设于所述栅极电极与所述一对源极/漏极电极之间并形成沟道的氧化物半导体层;作为栅极绝缘膜且设于所述氧化物半导体层的所述栅极电极侧的第一绝缘膜;以及设于所述氧化物半导体层的所述一对源极/漏极电极侧的第二绝缘膜。所述第一绝缘膜和/或所述第二绝缘膜含有氟(F)。由于在含有氟的绝缘膜中产生了负的固定电荷,从而使阈值电压朝正方向漂移。即使由于氧化物半导体层中氧的解吸而出现晶格缺陷,该缺陷也被氟弥补,因此氧化物半导体的电特性保持稳定。

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