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公开(公告)号：CN119182363A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410798313.X
申请日：2024-06-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动器件。抑制与盖体的接触。振动器件具有：底座基板，其具有处于正反关系的第1面和第2面；振动元件，其搭载于底座基板的第1面侧；以及盖体，其具有在底座基板侧开口的凹部，在凹部内收纳有振动元件的状态下与第1面侧接合，盖体具有底部和从底部的外缘部朝向底座基板侧竖立设置的框状的侧壁部，侧壁部的内周面具有第1倾斜部，第1倾斜部以随着从底部侧朝向底座基板侧远离穿过盖体的中心的第1假想中心线的方式倾斜，振动元件在俯视时具有：与第1倾斜部对置的第1边、沿着与第1边交叉的方向的第2边、位于第1边与第2边之间的第1角部、位于第2边的相反侧的第3边以及位于第1边与第3边之间的第2角部，第1角部和第2角部分别被切除。
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公开(公告)号：CN117792318A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311268674.5
申请日：2023-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够容易地形成深度不同的槽。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备具有处于正反关系的第一面和第二面的石英基板；第一成膜工序，在所述第一面依次重叠第一基底膜、第二基底膜和第一保护膜而形成第一层叠体；第一构图工序，对所述第一层叠体进行构图，在元件形成区域的除了第一槽形成区域和第二槽形成区域以外的区域上保留第一基底膜、第二基底膜和第一保护膜，在所述第一槽形成区域保留所述第一基底膜和所述第二基底膜，在所述第二槽形成区域保留所述第一基底膜；以及第一干式蚀刻工序，隔着所述第一层叠体从所述第一面侧对所述石英基板进行干式蚀刻。
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公开(公告)号：CN111682847B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202010156758.X
申请日：2020-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且能够搭载更大的振动元件。振动器件具有：基座；中继基板，其被支承于所述基座；以及振动元件，其被支承于所述中继基板，所述中继基板具有：固定部，其直接或间接地固定于所述基座；载置部，其载置有所述振动元件；以及梁部，其连接所述固定部和所述载置部，所述载置部的与所述振动元件连接的部分在俯视观察以之间夹着所述固定部夹的方式位于所述固定部的两侧。
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公开(公告)号：CN116781028A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310743336.6
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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公开(公告)号：CN116599482A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310559452.2
申请日：2020-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116527007A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310674085.0
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN116260411A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211561611.4
申请日：2022-12-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。在振动元件的制造方法中，振动元件包括具有第1面和第2面的第1振动臂和第2振动臂，该制造方法包括：准备工序，准备石英基板；第1保护膜形成工序，在石英基板的第1基板面形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜进行干蚀刻；第2保护膜形成工序，在石英基板的第2基板面形成第2保护膜；以及第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜进行干蚀刻，在第1干蚀刻工序中，从第1面到第2面形成第1振动臂和第2振动臂的外形，在第2干蚀刻工序中，不形成第1振动臂和第2振动臂的外形。
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公开(公告)号：CN112311348B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202010729813.X
申请日：2020-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。
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公开(公告)号：CN115483886A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210596852.6
申请日：2022-05-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动器件，具有优异的振荡特性。振动器件具有：振动元件；基座，其具有处于正反关系的第一面和第二面，所述振动元件配置在该基座的所述第一面侧；集成电路，其配置于所述基座；盖，其具有与所述振动元件对置的内表面和与所述内表面处于正反关系的外表面，该盖以收纳所述振动元件的方式与所述基座接合；以及放射层，其配置于所述盖的所述内表面，具有比所述盖的放射率高的放射率。
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公开(公告)号：CN115372649A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210996339.6
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外，从所述支承件的厚度方向俯视时，支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且，在俯视时，将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时，满足W12/L1＜30。
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