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公开(公告)号：CN102749091A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210116661.1
申请日：2012-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/12
CPC classification number: G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , H05K1/118
Abstract: 本发明提供功能元件、传感器元件、电子设备和功能元件的制造方法，可抑制制造效率降低。所述功能元件的特征是具备：具有主面(16)的基板(12)；在上述主面(12)上配置的槽部(第1槽部(24)、第2槽部(26))；和跨越上述基板(12)上的上述槽部进行配置的固定电极部(第1固定电极指(78)、第2固定电极指(80))，在上述槽部的内部中，在俯视时与上述固定电极部重叠的位置上设置有采用上述基板以及上述固定电极部的至少一方形成的凸部(54、56)，上述凸部(54、56)具有接合面(端面(82))，在该接合面侧配置有布线(第1布线(30)、第2布线(36))，并经由上述布线连接上述基板(12)与上述固定电极部。
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公开(公告)号：CN102375229A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110227662.9
申请日：2011-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎成二
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T428/24479 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器制造方法以及光设备。该滤光器包括：具有支撑部的第一基板、通过支撑部支撑的第二基板、设置在第一基板上的第一光学膜以及设置在第二基板上的与第一光学膜相对的第二光学膜。通过接合设置在支撑部的支撑第二基板的支撑面的整个区域上的第一接合膜和设置在第二基板的被支撑面中的至少与支撑面的整个区域相对的区域(相对面)上的第二接合膜，从而固定第一基板和第二基板。
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公开(公告)号：CN102193187B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201110069658.4
申请日：2011-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及光滤波器及分析设备，该光滤波器的特征在于，具有：第1基板；第1反射镜，其被设置于所述第1基板；第1电极，其被设置于所述第1基板；第2基板，其与所述第1电极对置设置；第2反射镜，其被设置于所述第2基板，且与所述第1反射镜对置；以及第2电极，其被设置于所述第2基板，且与所述第1电极对置，所述第2基板在俯视图中，具有包围所述第2反射镜的槽，所述槽在剖视图中，具有第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于所述第1侧面部与所述底面部之间的第1端部以及位于所述第2侧面部与所述底面部之间的第2端部，所述第1端部以及所述第2端部具有曲面。
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公开(公告)号：CN105182527A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510587533.9
申请日：2011-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎成二
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T428/24479 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供了一种滤光器以及光设备。该滤光器包括：具有支撑部的第一基板；以与第一基板相对的方式配置的第二基板；配置在第一基板和第二基板之间的第一反射镜材料；配置在第二基板和第一反射镜材料之间的第二反射镜材料；以及配置在支撑部和第二基板之间的第一接合部件，支撑部具有以与第二基板相对的方式配置的第一面和与第一面相交的第二面和第三面，当从第二基板侧看第一基板时，第三面位于第二面和第一反射镜材料之间，第一接合部件配置于第一面以及越第一面和第三面相交的位置。
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公开(公告)号：CN102538830A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110340071.2
申请日：2011-11-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/12
CPC classification number: G01P15/125 , G01P3/44 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , Y10T29/49002
Abstract: 功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备。本发明提供一种实现了高灵敏度化、制造效率的改善、低成本化、高可靠性化中的至少一个的功能元件、功能元件的制造方法、物理量传感器以及电子设备。本发明的功能元件(1)具有：绝缘基板(2)、可动部(33)、设置在可动部(33)上的可动电极指(361～365)、以及设置在绝缘基板(2)上且与可动电极指(361～365)相对地配置的固定电极指(381～388)，固定电极指(381～388)包含配置在可动电极指(361～365)的一侧的第1固定电极指(382、384、386、388)和配置在另一侧的第2固定电极指(381、383、385、387)，第1固定电极指与第2固定电极指相互离开地配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105182527B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201510587533.9
申请日：2011-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎成二
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T428/24479 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供了一种滤光器以及光设备。该滤光器包括：具有支撑部的第一基板；以与第一基板相对的方式配置的第二基板；在第一基板和第二基板之间配置于第一基板的第一反射镜材料；在第二基板和第一反射镜材料之间配置于第二基板的第二反射镜材料；以及配置在支撑部和第二基板之间的第一接合膜，支撑部具有以与第二基板相对的方式配置的第一面和与第一面相交的第二面和第三面，当从第二基板侧看第一基板时，第三面位于第二面和第一反射镜材料之间，第一接合膜配置于第一面以及在第一面延伸的方向上一直到越过第一面和第三面相交的位置为止的位置。
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公开(公告)号：CN102375229B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201110227662.9
申请日：2011-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎成二
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T428/24479 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器制造方法以及光设备。该滤光器包括：具有支撑部的第一基板、通过支撑部支撑的第二基板、设置在第一基板上的第一光学膜以及设置在第二基板上的与第一光学膜相对的第二光学膜。通过接合设置在支撑部的支撑第二基板的支撑面的整个区域上的第一接合膜和设置在第二基板的被支撑面中的至少与支撑面的整个区域相对的区域(相对面)上的第二接合膜，从而固定第一基板和第二基板。
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公开(公告)号：CN102193183A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110049729.4
申请日：2011-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎成二
CPC classification number: G01J3/46 , G01J3/26 , G02B1/105 , G02B1/14 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及滤光器及其制造方法、分析设备以及光设备。本发明的滤光器具有对置的第1、第2基板、在第1、第2基板上设置的第1、第2反射膜、在第1、第2基板上设置的第1、第2接合膜、以及在第1、第2反射膜的表面形成的第1、第2阻隔膜，第1阻隔膜的臭氧或紫外线的透射率比第1反射膜低，第2阻隔膜的臭氧或紫外线的透射率比第2反射膜低，在制造或实际使用滤光器时，保护反射膜免受臭氧或紫外线的影响，不会使滤光器特性变差。
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公开(公告)号：CN113899354B
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202110764282.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
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公开(公告)号：CN102193187A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110069658.4
申请日：2011-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284 , G02F1/21 , G02F2001/213 , G03F7/70575
Abstract: 本发明涉及光滤波器及分析设备，该光滤波器的特征在于，具有：下部基板；下部反射镜，其被设置于所述下部基板；下部电极，其被设置于所述下部基板；上部基板，其与所述下部电极对置设置；上部反射镜，其被设置于所述上部基板，且与所述下部反射镜对置；以及上部电极，其被设置于所述上部基板，且与所述下部电极对置，所述上部基板在俯视图中，具有包围所述上部反射镜的槽，所述槽在剖视图中，具有第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于所述第1侧面部与所述底面部之间的第1端部以及位于所述第2侧面部与所述底面部之间的第2端部，所述第1端部以及所述第2端部具有曲面。
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