公开(公告)号：CN109425334B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN201810986948.7

申请日：2018-08-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  G01P15/125

Abstract: 一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元，使检测灵敏度和可靠性提高。物理量传感器(100)包括：可动体(20)，呈平板状，在贯穿该平板状的平板面(28)的方向上具有多个开口(26)，能够以转动轴为中心摆动；支承基板(10)，通过支柱(14)与平板面(28)的一部分连结而成，使得隔开间隔地支承可动体的平板面；以及突起(15)，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板(10)的与可动体(20)隔开间隔而重叠的区域，向可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口(26)设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。

公开(公告)号：CN109425333B

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN201810984424.4

申请日：2018-08-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明涉及物理量传感器、复合传感器、惯性计测单元及电子设备，其耐冲击性优异、提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部、与连结部连接的第一质量部和第二质量部；第一固定电极和第二固定电极，设置于支承基板上，与第一质量部、第二质量部相对；以及突起，设置于设置有第一固定电极、第二固定电极的区域，并从支承基板朝向第一质量部、第二质量部突出，在交叉方向上，将从连结部与第一质量部、第二质量部的连接位置到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L、将从突起到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1是0.5L以上3.1L以下。

公开(公告)号：CN116068223A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211317024.0

申请日：2022-10-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01C21/16 ,  G01C21/18

Abstract: 本发明提供物理量传感器及惯性测量装置，能够同时实现小型化和高精度化。物理量传感器包括：设置于基板的第一固定电极部及第二固定电极部；以可动电极与第一固定电极部的固定电极对置的方式设置的第一可动电极部；以可动电极与第二固定电极部的固定电极对置的方式设置的第二可动电极部；固定于基板的第一固定部及第二固定部；一端与第一固定部连接的第一支撑梁；连结第一支撑梁的另一端与第一可动电极部的第一连结部；一端与第二固定部连接的第二支撑梁；以及连结第二支撑梁的另一端与第二可动电极部的第二连结部。在从与基板正交的第三方向俯视时，第一可动电极部、第二固定部、第一固定部、第二可动电极部按此顺序沿第一方向排列配置。

公开(公告)号：CN109839516B

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN201811423681.7

申请日：2018-11-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。物理量传感器包括：基板；固定部，固定于基板；可动部，包括包围固定部的框部，与固定部连接，并能相对于基板在X轴方向上位移；以及可动电极，支承于可动部。另外，框部包括：第一外缘部，位于X轴方向的一侧，并沿着Y轴方向配置；以及第二外缘部，位于X轴方向的另一侧，并沿着Y轴方向配置。另外，相比第一外缘部，固定部更靠第二外缘部一侧而配置，基板包括：第一凸部，与第一外缘部重叠，并与第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，与第二外缘部重叠，并与第二外缘部相分离地配置。

公开(公告)号：CN108663540B

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201810238485.6

申请日：2018-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及物理量传感器及其制造方法、电子设备、移动体。物理量传感器的制造方法具有在基板上形成第一固定电极、第二固定电极和虚拟电极的电极形成工序、以及可动体形成工序，电极形成工序具有以下工序：在基板上形成第一掩模层；在基板上以及第一掩模层上成膜第一导电层并去除第一掩模层而形成第一电极材料层；在基板上以及第一电极材料层上成膜第二导电层；在第二导电层上成膜掩模材料层并将俯视观察时掩模材料层的未与第一电极材料层重叠的部分的局部去除而形成第二掩模层；以及以使第二导电层设于第一电极材料层上及基板上的方式将第二掩模层作为掩模对第二导电层进行蚀刻而形成第二电极材料层。

公开(公告)号：CN112129972A

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN202010572531.3

申请日：2020-06-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P15/097

Abstract: 一种惯性传感器、电子设备以及移动体。所述惯性传感器具有：基板；可动体，绕摇动轴摇动；以及电极，配置于基板。可动体具有设置为夹着摇动轴的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有：对称部，与第二可动部相对于摇动轴对称；以及非对称部，位于比对称部离摇动轴更远侧。电极具有：第一检测电极，与对称部重叠；以及第一虚设电极，与可动体为同电位，且与对称部以及非对称部重叠。对称部具有：第一开口，设置于与第一检测电极重叠的第一部分；以及第二开口，设置于与第一虚设电极重叠的第二部分。并且，第一开口相对于第一部分的开口率比第二部分相对于第二开口的开口率小。

公开(公告)号：CN105021177B

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201510218740.7

申请日：2015-04-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

Abstract: 本发明提供了一种功能元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。作为功能元件的加速度传感器具有：在Y轴方向上延伸的支承梁；与支承梁的一个端部相连接并以可在Z轴方向上摆动的方式而被支承梁支承的质量体；与支承梁的另一个端部相连接并被固定于基板上的固定部；以从两侧夹持支承梁的方式被配置于质量体与支承梁之间并被固定于基板上的卡止部，质量体以支承梁为界被区分为彼此质量不同的第一质量部和第二质量部，第一质量部及第二质量部具有与卡止部的支承梁侧的相反侧相对的对置部，将在与Y轴方向交叉的X轴方向上，卡止部的靠一个端部的支承梁侧的角部与支承梁之间的距离设为L1并将卡止部与对置部之间的距离设为L2时，满足L1＞L2的关系。

公开(公告)号：CN110806497A

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201910717650.0

申请日：2019-08-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明提供了一种物理量传感器、电子设备以及移动体，通过能够确保韧性的突起部，能够抑制可动体和基板的粘附。物理量传感器(1)具备：基板(2)；可动体，以相对于基板(2)对置并能够位移的方式设置，设置有作为贯通孔的第一贯通孔(35a)以及第二贯通孔(35b)；突起部(6a)、(6b)，在基板(2)的可动体(32)侧，与基板(2)构成为一体，突起部(6a)、(6b)在俯视下设置在与贯通孔以及可动体32重合的位置。

公开(公告)号：CN110346603A

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201910251468.0

申请日：2019-03-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 一种物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备，具有优异的检测灵敏度。物理量传感器包括：基板；与基板相对的可动体；固定于基板的固定部；连接可动体和固定部的支承梁。另外，可动体能够将支承梁作为旋转轴而进行位移，在俯视时，可动体包括相对于旋转轴位于第二方向的一侧的第一质量部和位于另一侧的第二质量部。另外，第一质量部以及第二质量部分别具有贯通可动体并且开口形状为正方形状的多个贯通孔。另外，将阻尼设为C、将阻尼的最小值设为Cmin时，满足C≤1.5×Cmin。

公开(公告)号：CN105387851B

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201510531820.8

申请日：2015-08-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)、和在施加了加速度时所产生的转矩与第一可动部(421)不同的第二可动部(422)，并且以能够绕位于所述第一可动部(421)与所述第二可动部(422)之间的轴J而进行摆动的方式而被支承；第一检测电极(511)，其以与第一可动部(421)对置的方式而被配置；第二检测电极(512)，其以与第二可动部(422)对置的方式而被配置；框状部(6)，其在对可动部(42)进行俯视观察时，以包围可动部(42)的周围的至少一部分的方式而被配置，并且与可动部(42)等电位。